作者：维尔克斯 时间：2025-8-12 11:43:13
面对工业与科研领域日益多样化的精密应用需求，客户对纳米定位设备的体积、行程、运动方向及成本等参数提出了各异的要求。为此，法国PIEZOCONCEPT推出了高性价比的C系列紧凑型纳米压电载物台。该系列专为满足这些差异化需求而设计，为各类精密应用提供了灵活且理想的解决方案。为了满足客户对狭窄实验空间的测试需求，PIEZOCONCEPT推出了小型压电柔性铰链平台C系列。从单轴到三轴控制均有对应的产品可选择。
PIEZOCONCEPTC系列高性价比纳米定位平台与PIEZOCONCEPT其他的纳米压电平台使用的传感器类型相同，均使用了PIEZOCONCEPT的Silicon HR传感器技术。这种技术与电容式传感器相比对环境的适应性会有更好的表现。PIEZOCONCEPT紧凑型纳米压电载物台C系列还允许客户与PIEZOCONCEPT其他的纳米压电平台进行组合，从而满足用户多轴，多范围的纳米精度位置调整需求。
高性价比纳米定位平台C系列中心不带有通孔，体积十分紧凑。适合在光纤对准，双光子聚合，激光加工中进行使用，C系列紧凑型纳米压电载物台体积小巧，放置在狭窄的实验空间内也能保证运行的行程和精度。C系列小型压电柔性铰链平台通过标准控制器进行控制，并且性价比高。很适合在工业应用中和部分简易实验室中进行使用。
C系列高性价比纳米定位平台主要参数指标：
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型号 |
CX/CZ.100(200) |
C2.100 |
C2.200 |
C3.100 |
C3.200 |
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行程（um） |
100（200） |
100 |
200 |
100 |
200 |
|
分辨率（nm） |
0.1（0.2） |
0.1 |
0.2 |
0.1 |
0.2 |
|
噪声基底（典型值nm） |
0.01（0.02） |
0.01 |
0.02 |
0.01 |
0.02 |
|
重复精度（nm） |
0.2（0.4） |
0.2 |
0.4 |
0.2 |
0.4 |
|
谐振频率（Hz） |
400（300） |
400/250(X/Y) |
300/200(X/Y) |
400/250/220 |
300/200/180 |
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线性度（N/um） |
0.3（0.2） |
0.3 |
0.2 |
0.3/0.3/0.6 |
0.2/0.2/0.4 |
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水平最大负载（kg） |
0.5 |
||||
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垂直最大负载（kg） |
0.1 |
||||
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规格W×L×H（mm） |
48.5×48.5×25.7 |
48.5×48.5×30.3 |
48.5×48.5×48.7 |
||
小型压电柔性铰链平台（Nano-positioning Stage）C系列在平台的高度上会根据轴向和轴数需求产生一定的变动，纳米压电平台机身主体采用铝制材料。此外允许客户根据自己的应用选择环境适应性更高或者载重性能更好的材料来满足部分特殊需求。
