EUV光刻机的13.5nm光源是如何实现的，中国光刻机的追赶现状

中国省略了光刻机光源的选择，直接在最新技术上开展实用工程化研究，在起步上就节省了大量成本，在可供查询的公开信息上显示，哈尔滨工业大学的DPP-EUV光源已经达到实用化的120W的水平。

可快速装配的变倍显微镜，西格玛光机超长工作距离变倍显微镜组合，OptoSigma变倍显微镜介绍

SIGMAKOKI的这两款变焦显微镜在半导体行业具有广泛的应用价值。特别是超长工作距离变倍显微镜（组合），其最大工作距离能够达到500mm，非常适合于从外部对高温炉或真空腔内部物体进行细致观察。这种设计特别适合那些需要保持一定观测距离的物体。换句话说，这款显微镜能够满足对一定距离外物体进行精密观测的需求。

AC伺服电机驱动平台拥有自动调谐机能，SGMV20系列与SGMV26系列, optosigma

西格玛光机推出的SGMV伺服电机平台是一款具备高精度与高刚性的电动位移系统，其设计集成了精密导轨和精密滚珠丝杠，实现了功能的一体化。此外，SGMV自动平台的导轨、滑块（台面）以及驱动用的滚珠丝杠均位于相近的位置。

OptoSigma SIZM远心变倍显微镜筒，SIGMAKOKI远心变倍显微镜筒参数介绍

西格玛光推出的远心变倍显微镜筒SIZM具备高达14倍的最大变倍比，与SIGMAKOKI系列中的其他变倍显微镜产品一样，具备便携性和轻便性特点，并配备了标准的同轴落射照明接口。这款显微镜能够实现从低倍到高倍的连续观察，无需更换设备。

现货销售尼康 LV150N金相显微镜现货，我司目前售卖Nikon LV150N明场显微镜

金相显微镜是一种专门用于分析和探究金属及其合金微观结构的仪器，它通过分析材料表面的微观特征来研究金属的组织结构和性能特点。金相显微镜在材料科学、冶金、质量控制以及故障分析等多个领域得到了广泛的应用。

真空电动平台推荐使用的真空度在10-4~10-5Pa，VTAMM60S系列和VSGSP直线/转动系列, sigmakoki

SIGMAKOKI真空自动平台采用不锈钢或铝合金的整体架构，并使用专为真空环境设计的润滑油脂。该平台搭载了在真空环境下污染较少的电机，并配备了接触式或机械式真空开关。此外，平台内部使用了特氟隆绝缘电线。

德克萨斯大学达拉斯分校使用MinusK原子力显微镜隔振平台进行DNA超结构研究，AFM隔震台

负刚度隔振技术，作为一种领先的振动控制手段，通过独特的机械设计，使得其在低频区域展现出极小的刚度特性，进而达到高效的振动隔绝效果。该技术在精密设备、科学探索和制造业等多个领域都有着重要的应用价值。

使用紫外分束器进行晶圆激光开槽，衍射UV分束器提高开槽速度

本文回顾了衍射型紫外分束器，亦称为紫外激光分束器或多点衍射光学元件（DOE），是如何在半导体封装产业中用于实现高效批量晶圆开槽的。换句话说，文章探讨了紫外激光分束器在半导体封装行业中的应用，它如何通过衍射技术提升晶圆开槽的效率。

Asphericon开发设计用于激光加工的自由曲面镜-线光斑整形模组，振镜扫描实测验证

研究提出了一种结合可变形镜技术和自由曲面光学的新型紫外线线性结构加工方法，目的在于提升大面积基材的加工效率，特别是针对M12型号太阳能电池板的加工。采用自由曲面透镜和Zwobbel可变形镜技术，我们成功扩大了加工区域并提高了扫描速度。文章详细讨论了光学设计、其稳定的机械光学实现方式，以及原型机的制作和调试特性。

更稳定，使用寿命更长的固态光源，Lumencor光引擎在半导体工艺上的应用

美国Lumenco固态光源是将激光器，导光管，LED整合在一起的完整照明光源，可以提供精确稳定，长寿命等特点。​用于半导体工艺有许多优势，不限于半导体光刻、覆盖、计量、缺陷检测，与封装检测​​​。

电动角位台/电动俯仰台/电动弧摆台，OSMS-60A60姿态精度、位置精度、最小位移量，OptoSigma

最小位移量（MIM）是在特定位置通过精密设备和专门技术进行测量的。以OSMS-60A60型号为例，提供了详细的数据，这为客户理解摆动平台的精度测量提供了宝贵的参考，有助于客户更深入地了解西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki公司产品在精度测量方面的优异性能。

西格玛光机偏振片的偏振轴确认方法和偏振轴坐标的决定方法 Sigmakoki偏振片、偏振轴、偏振轴坐标

在OptoSigma的产品线中，常见的偏振光学元件包括波片、偏振片、分光镜、滤光片、格兰-汤姆森棱镜等。以下内容将基于OptoSigma的产品信息，重点阐述西格玛光机偏光镜的偏光轴和坐标确认方法。

自动转动平台/自动旋转台/电动旋转滑台定位精度、传动副间隙、空行程、平行度测量，参考自西格玛光机

西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki的旋转平台在精度测量方面的技术规格包括多个关键指标，这些数据对于光学设备和精密仪器领域的技术人员、研究人员以及那些对产品精度有严格要求的用户来说，是理解产品性能和技术规格的关键，并为产品的使用、开发及选择提供了重要的参考信息。

自动转动平台/自动旋转台/电动旋转滑台定位精度、传动副间隙、空行程、平行度测量，参考自西格玛光机

西格玛光机（OptoSigma/Sigmakoki）的旋转平台在精度测量方面的技术规格涉及多个维度，包括位置精度，涉及定位精度、重复定位精度、空行程、传动间隙等为产品的应用、研发和选购提供了关键的参考信息。

同轴照明观察装置OUCI-3-M1M1，PFU，（NIR/NUV），SIGMAKOKI紧凑型轻量化显微镜

同轴照明观察装置OUCI-3是西格玛光机推出的一款轻量化显微镜，在科研，工业等应用中都频繁使用，特别是对于空间有苛刻要求的环境，OptoSigma的这款轻量化显微镜有容易搭建，紧凑切轻便的特点，对于特殊要求还有大量选购件可添加。

简述基板和窗口的选型指南_ 日本SigmaKoki,OptoSigma

SigmaKoki生产反射镜和低散乱窗口的基材表面粗糙度Ra小于0.2nm，这种超光滑表面的基材是重要的光学部件，低散乱平行平面基板可以用于X线反射镜和高能量激光反射镜等基材

SigmaKoki电介质膜(多层电介质反射膜，多层防反射膜和单层防反射膜)结构和特性的介绍

西格玛光机SigmaKoki的镀膜反射镜以高质量和技术服务在国际市场上远近闻名，并广泛用于医疗，科研，工业等领域，Optosigma的镀膜反射镜得益于镀膜，损伤阈值高，可以选择想要的透过率或fanshe​，本文围绕镜片的镀膜展开介绍。

金属膜反射率比较(45°入射,金膜99%,铝膜97%,保护铝膜97%)和简单介绍_西格玛光机SigmaKoki

SigmaKoki日本西格玛光机的金属膜有高导电性和反射率，广泛用于电子、光学器械等领域，可满足各种高精度应用的需求，在这种金属材料构成的薄膜上，SigmaKoki具备丰富的经验和专业的技术​​。

特殊薄膜和镀膜定制的介绍_ 西格玛光机SigmaKoki,OptoSigma

超级反射镜的技术工艺_IBS镀膜技术，低散乱研磨技术和检测技术，SigmaKoki,OptoSigma

日本SigmaKoki西格玛光机的超级反射镜是用来满足什么应用的，研发生产都用了哪些技术，本文围绕西格玛光机的超级反射镜产品所用的3个技术来介绍西格玛光机的技术和产品！