作者：维尔克斯 时间：2026-7-28 6:01:40
LAYERTEC提供适用于193nm ArF准分子激光的完整氟化物镀膜光学产品线，包括谐振腔高反镜、输出耦合镜及铝膜反射镜。镜片基底选用氟化钙和熔融石英，所有元件均采用全氟化物膜层设计，兼具高反射率与出色的抗激光损伤能力。产品涵盖各膜系的反射光谱数据，并遵循严格的加工公差标准；单波长增透膜的剩余反射损耗极低，增强型铝镜在偏振反射特性上表现优异。附表1汇总了不同193nm反射镜膜型及基底组合的激光损伤阈值，以及从百万次到数十亿次脉冲的长寿命测试结果，这些数据均经德国多家权威激光实验室验证标定。LAYERTEC支持定制ArF准分子反射镜、分光镜、可调衰减片，同款镀膜工艺可用于200nm钛宝石四倍频光学元件，整体适配深紫外光刻、精密微加工等高功率ArF激光场景，产品稳定性与耐辐照性能突出。
铝膜反射镜Aluminum Mirrors：
图1：铝反射镜的反射率光谱
a)针对193nm波长优化的带保护层铝镜 b)针对193nm波长优化的增强型铝镜，AOI=45°
增强型铝反射镜在不同偏振下的反射率：Rp>93%，Rs>98%，Ru>96%
LAYERTEC准分子激光镜/193nm反射镜：
图2：193nm波长下反射镜的反射率和透射率光谱
a)谐振腔镜(AOI=0°) b)转向镜(AOI=45°，非偏振光)
- 准分子激光镜全氟化物膜(Fluoride Coating)系统可确保高反射率和高损伤阈值
- 由CaF₂（193nm准分子级，HELLMA Materials GmbH）和熔融石英制成的高品质镜片基板、窗口和透镜
- 可根据客户需求，定制分光镜、可变衰减片等特定用途的光学元件
ArF准分子反射镜/输出耦合镜Output Couplers：
图3：R(0°，193nm)=50%±3%和R(0°，193nm)=25%±2%(仅镀膜面)的输出耦合镜的反射率光谱
PR镀膜的公差:
- ±2% for R=10%…30%
- ±3% for R=30%…75%
- ±2% for R=75%…90%
- ±1% for R>90%
单波长AR镀膜的残余反射率值如下：
- R<0.25% at AOI=0°和
- R<0.6% at AOI=45°(非偏振光)
宽带和多波长增透镀膜
标准ArF准分子反射镜/193nm反射镜的技术参数：
表1：标准ArF激光器组件的技术参数
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镀膜/反射率 氟化物膜Fluoride Coating |
基底 |
损伤阈值* |
寿命测试 |
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AR (0°, 193nm) R<0.25 % |
CaF2 |
4–5J/cm² |
108pulses, 无损坏** |
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AR (0°, 193nm) R<0.25 % |
Fused Silica |
2–3J/cm² |
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PR (0°, 193nm) R=25 % |
CaF2 |
3–4J/cm² |
1010pulses, 无损坏** |
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PR (0°, 193nm) R=50 % |
CaF2 |
2–3J/cm² |
1010pulses** |
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HR (0°, 193nm) R>97 % (typically R>98 %) |
CaF2 |
2–3 J/cm² |
1010pulses**, 无损坏 4×109pulses***,无损坏 |
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HRu(45°, 193 nm)R>97 %(通常R>98 %) |
CaF2 |
2–3J/cm² |
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*1000-on-1，脉冲持续时间14ns；测量在哥廷根激光实验室、汉诺威激光中心以及耶纳弗里德里希·席勒大学进行 |
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**能量密度55mJ/cm²，重复频率1kHz，脉冲持续时间15ns；在慕尼黑COHERENT AG公司进行测试 |
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***能量密度80 mJ/cm²，重复频率1 kHz，脉冲持续时间12 ns；在慕尼黑COHERENT AG公司进行测试 |
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波长范围在200nm左右的Ti:Sapphire激光器四倍频反射镜和分光镜，采用专为ArF激光器镀膜技术开发的镀膜工艺制造。
