作者：维尔克斯 时间：2025-12-11 10:38:36
阿秒科学使得对人类自然界中最快速的动力学过程之一——物质中的电子动力学——进行时间层面的研究成为可能。这些动力学过程是化学与生物过程的本质基础，因此，理解和控制它们的能力为基础科学研究开启了一扇新的大门。多层膜色散光学元件是阿秒实验中的关键部件；它们被用于定制具有明确特征的阿秒脉冲，从而为深入精确地研究诸如光电发射、俄歇衰变或（核心）激子等过程提供支持。正因如此，超短脉冲的产生与其色散控制技术已从可见光/红外光谱领域的飞秒量级，推进到了覆盖极紫外直至水窗波段的软X射线光子能量范围的阿秒量级。
<220nm的XUV反射镜/EUV反射镜/极紫外阿秒多层反射镜产品列表：
本表格系统呈现了多类XUV反射镜/EUV反射镜/极紫外阿秒多层反射镜的核心技术指标，包括中心波长、带宽范围、反射率、群延迟色散（GDD）、入射角及偏振类型等光学参数。这些高精度反射光学元件面向阿秒脉冲控制、XUV光谱研究等前沿领域开发，能够满足自由电子激光、高次谐波等先进光源系统的应用需求。
|
型号 |
CW（nm） |
最小（nm） |
最大（nm） |
反射率（%） |
GDD(fs2) |
AOI(°) |
偏振 |
备注 |
|
XUV22BW7 |
56.4 |
38.7 |
72.9 |
18 |
0.023 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV25BW10 |
49.6 |
22.5 |
65.3 |
12 |
0.035 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV26BW6 |
47.7 |
40 |
62 |
25 |
0.007 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV28BW2 |
44.3 |
35.4 |
51.7 |
11 |
-0.01 |
15 |
p |
XUV反射镜 |
|
XUV32BW2 |
38.7 |
31 |
45.9 |
22 |
0.04 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV35BW3 |
35.4 |
28.8 |
41.3 |
23 |
-0.028 |
4 |
p |
XUV反射镜 |
|
XUV35BW4 |
35.4 |
31 |
41.3 |
19 |
0.006 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV37BW2 |
33.5 |
27.6 |
41.3 |
15 |
-0.002 |
15 |
p |
XUV反射镜 |
|
XUV38BW3 |
32.6 |
27.6 |
41.3 |
23 |
0.025 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV41BW17 |
30.2 |
22.5 |
49.6 |
11 |
0.008 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV42BW4 |
29.5 |
25.3 |
35.4 |
18 |
-0.017 |
5 |
p |
XUV反射镜 |
|
XUV43BW2 |
28.8 |
25.8 |
32.6 |
19 |
0.005 |
10 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV46BW17 |
27 |
17.2 |
38.7 |
11 |
0.003 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV50BW5 |
24.8 |
22.5 |
31 |
12 |
0.005 |
0 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV50BW4 |
24.8 |
20.7 |
31 |
30 |
0.019 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV53BW2 |
23.4 |
21.8 |
27.6 |
20 |
-0.06 |
15 |
p |
XUV反射镜 |
|
XUV54BW4 |
23 |
21 |
25.3 |
13 |
0.005 |
0 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV57BW10 |
21.8 |
17.2 |
31 |
23 |
0.004 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV59BW4 |
21 |
17.7 |
24.8 |
31 |
0.023 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV60BW5 |
20.7 |
18.2 |
25.8 |
31 |
-0.019 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV63BW7 |
19.7 |
16.5 |
31 |
35 |
0.008 |
0 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV66BW13 |
19.1 |
14.6 |
32.6 |
39 |
0.003 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV65BW6 |
19.1 |
15.9 |
31 |
38 |
0.015 |
2 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV65BW5 |
19.1 |
16.5 |
22.5 |
40 |
0.03 |
5 |
p |
XUV反射镜 |
|
XUV67BW2 |
18.5 |
17.7 |
20 |
25 |
-0.03 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV67BW3 |
18.5 |
17 |
20.7 |
38 |
0.02 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV68BW30 |
18.2 |
12.4 |
37.6 |
5 |
0.001 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV70BW9 |
17.7 |
15.7 |
20.3 |
30 |
-0.001 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV70BW6 |
17.7 |
15.5 |
20.7 |
44 |
0.01 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV75BW16 |
16.5 |
13.8 |
20.7 |
12 |
-0.001 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV82BW9 |
15.1 |
13.6 |
17 |
25 |
-0.002 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV82BW8 |
15.1 |
12.4 |
17.7 |
66 |
0.013 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV83BW8 |
14.9 |
13.5 |
16.5 |
27 |
-0.002 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV85BW10 |
14.6 |
13.1 |
16.5 |
18 |
-0.002 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV87BW18 |
14.3 |
11.7 |
17.7 |
8 |
-0.001 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV90BW5 |
13.8 |
13.1 |
14.6 |
51 |
-0.006 |
5 |
p |
XUV反射镜 |
|
XUV90BW6 |
13.8 |
13.1 |
14.6 |
41 |
-0.004 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV90BW10 |
13.8 |
12.5 |
15.3 |
18 |
-0.002 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV90BW8 |
13.8 |
12.4 |
15.5 |
67 |
0.001 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV92BW17 |
13.5 |
10.3 |
41.3 |
68 |
-0.01 |
66 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV92BW10 |
13.5 |
12.4 |
14.8 |
53 |
-0.002 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV92BW8 |
13.5 |
12.5 |
14.6 |
26 |
-0.002 |
2 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV92BW7 |
13.5 |
12.2 |
15.5 |
69 |
0.002 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV93BW5 |
13.3 |
12.8 |
13.9 |
52 |
-0.006 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV93BW2 |
13.3 |
12.9 |
13.8 |
29 |
-0.005 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV93BW16 |
13.3 |
11.3 |
16.1 |
7 |
-0.005 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV93BW7 |
13.3 |
12.4 |
14.3 |
28 |
-0.002 |
5 |
p |
XUV反射镜 |
|
XUV93BW10 |
13.3 |
12.2 |
15.1 |
16 |
-0.001 |
0 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV94BW3 |
13.2 |
12.7 |
13.8 |
48 |
-0.024 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV95BW5 |
13.1 |
12.5 |
13.6 |
53 |
-0.004 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV95BW8 |
13.1 |
12.2 |
14.1 |
24 |
0.004 |
2 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV100BW10 |
12.4 |
11.3 |
13.6 |
42 |
-0.01 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV101BW10 |
12.3 |
11.2 |
13.8 |
15 |
0.001 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV105BW5 |
11.8 |
10.2 |
12.9 |
40 |
-0.014 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV107BW2 |
11.6 |
11.3 |
11.9 |
25 |
-0.01 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV109BW10 |
11.4 |
9.9 |
12.8 |
15 |
-0.006 |
2 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV112BW2 |
11.1 |
10.8 |
11.4 |
27 |
-0.02 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV112BW5 |
11.1 |
9.7 |
12 |
33 |
-0.017 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV115BW11 |
10.8 |
9.5 |
11.5 |
15 |
0.001 |
0 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV125BW2 |
9.9 |
9.5 |
10.3 |
19 |
0.006 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV130BW8 |
9.5 |
8.9 |
10.2 |
13 |
-0.002 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV130BW4 |
9.5 |
8.7 |
10.3 |
6 |
0.003 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV134BW5 |
9.3 |
8.9 |
9.7 |
9 |
-0.01 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV135BW3 |
9.2 |
8.7 |
10.3 |
9 |
-0.001 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV145BW3 |
8.6 |
8.2 |
9.5 |
8 |
0.008 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV150BW3 |
8.3 |
7.8 |
9 |
9 |
0.001 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV155BW5 |
8 |
7.7 |
8.9 |
6 |
0.005 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV170BW3 |
7.3 |
7.1 |
7.5 |
20 |
-0.008 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV180BW2 |
6.7 |
6.9 |
7.3 |
8 |
-0.015 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV200BW7 |
6.2 |
6 |
6.7 |
5 |
0.003 |
45 |
s |
XUV反射镜 |
|
XUV300BW1 |
4.1 |
4.1 |
4.2 |
8 |
-0.15 |
5 |
s |
XUV反射镜 |
GDD (fs²) = Group Delay Dispersion 群延迟色散 (fs²)：衡量超短激光脉冲中不同频率成分在时间上散开程度的物理量，单位为飞秒平方 (fs²)。正值和负值表示不同类型的色散。
AOI = Angle of Incidence入射角 (度)：指入射光线与光学元件表面法线（垂直于表面的假想线）之间的夹角，单位为度 (°)。您写的 "Angle of normal Incidence" 是 "Angle of Incidence" 的另一种说法，意为“相对于法线的入射角”。
图：Ultrafast Innovations（UFI）XUV反射镜/EUV反射镜/极紫外阿秒多层反射镜/远紫外镜
Ultrafast Innovations（UFI）的提供56.4nm-4.1nm的XUV反射镜/EUV反射镜/极紫外阿秒多层反射镜/远紫外镜，其中XUV定义为0.1-10nm ，EUV定义为10-121nm（EUV光刻波长=13.5 nm）。其系列产品GDD值-0.15fs2到0.04fs2。
