作者：维尔克斯 时间：2026-7-21 11:36:23
德国LAYERTEC推出的低损耗高反射镜，波长覆盖340至3000纳米，主打超高反射性能。在可见-近红外波段，其反射率普遍高于99.99%，部分特定波段更可达99.999%，因此光学损耗可低至ppm量级。该产品以熔融石英为基底，经超精密抛光处理，并采用磁控溅射或离子束溅射工艺镀制膜层，不仅膜系参数稳定，且非常适用于真空环境及光腔衰荡光谱等高端应用。
关于LAYERTEC低损耗高反镜的重要说明：
适用以下平衡方程式：
1=反射率R+透射率T+损耗L
L=吸收A+散射S
请明确说明低损耗HR镜应用所需的透射率。LAYERTEC多年来一直在处理光学损耗的问题，熟悉近紫外、可见光和近红外光谱范围内吸收与散射的典型数值，这一经验，LAYERTEC能够计算出可实现的反射率。
R=1-T-V
例如：
客户要求：T(0°,633nm)=10ppm(±5ppm)
LAYERTEC: V(0°, 633nm)<25ppm(typically<20ppm)
规格：R (0°, 633 nm) > 99.996 %
客户要求：T(0°,390nm)=100ppm(±20ppm)
LAYERTEC：V(0°,390nm)<50ppm
规格：R(0°,390nm)>99.983%
LAYERTEC低损耗高反镜HR Mirrors
- 在VIS和NIR光谱范围内，R值达到99.99%以上
- 1000-1600nm的多个波长范围内，R值可达到99.999%
- 低损耗HR镜具有明确透射率（例如，T=0.002%）
- 对于CRD时域光谱仪，将透射率调整至散射损耗与吸收损耗之和（T=S+A）的数值是较为理想的
- 所有用于CRD实验的反射镜都配备了后表面的AR镀膜。如有需求，也可以提供带有楔形基底的反射镜
- 平面和球形曲面的熔融二氧化硅基底
- 高级抛光效果，表面粗糙度：≤ 0.15nm
- 表面缺陷：5/1×0.010（ISO 10110标准），适用于直径25mm的元件
- 涂层技术：磁控溅射、离子束溅射IBS
- 这些光学参数能够稳定地应对温度和湿度的变化
- 对于少量或中等数量的基材进行镀膜处理，可以提供有吸引力的价格
- 对于复杂的涂层设计，其反射率值非常高，例如GTI激光镜的反射率超过99.95％
- 在无尘的包装盒中，采用真空包装或在氮气保护下进行包装
- 专为真空应用而设计
图1：示例——适用于1030nm波长的Low Loss低损耗反射镜
基底：熔融石英制成的平面凹形ROC结构，尺寸为1000mm，经过LAYERTEC的抛光处理。
涂层：PR(0°，1030nm)占99.9985%以上，T(0°，1030nm)约5ppm(磁控溅射工艺magnetron sputtering)
CPI-吸收测量A（0°, 1030nm）<1ppm；S（0°, 1030nm）=1–T–R–A≈4ppm
a) 光腔衰荡(Cavity-Ring-Down)测量0°
b) 透射率测量 0°
R＞99.999%反射镜光腔振荡时间测量与参考数据:
表1：LAYERTEC低损耗高反镜的反射率和透射率数值；反射率采用光腔衰荡测得，入射角(AOI)=0°
|
波长 |
Rmax |
T |
Loss L=1-R-T |
测量公司 |
|
248nm |
99.87% |
0.00024% |
1300ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
266nm |
99.941% |
0.0031% |
560ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
355nm |
99.983% |
0.0105% |
65ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
380nm |
99.988% |
0.007% |
50ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
550nm |
99.9977% |
0.00039% |
19ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
633nm |
99.992% |
0.006% |
20ppm |
Westsächsische Hochschule Zwickau, Germany |
|
660nm |
99.992% |
0.006% |
20ppm |
Heidelberg University, Germany |
|
689nm |
99.9982% |
0.0005% |
13ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
798nm |
99.995% |
0.003% |
10ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
840nm |
99.9988% |
0.0002% |
10ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
1030nm |
99.9980% |
0.0012% |
8ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
1150nm |
99.9994% |
0.00035% |
2.5ppm |
LAYERTEC GmbH |
|
1392nm |
99.9985% |
0.0007% |
8ppm |
TIGER OPTICS, USA (R measurement) LAYERTEC GmbH (T measurement) |
|
1550nm |
99.999% |
0.0002% |
8ppm |
IPHT Jena, Germany |
|
2350nm |
99.995% |
0.002% |
30ppm |
University of Grenoble, France |
|
3250nm |
99.928% |
0.012% |
600ppm |
University of Grenoble, France |
|
4000nm |
99.9% |
- |
- |
Bielefeld University, Germany |
图2：适用于三个波长范围的Low Loss低损耗反射镜示例：
PR(0°,630–710 nm+1030–1110nm)=99.98(±0.015)%+PR(0°,1550–1565nm)=99.965(±0.025)%;
T(0°,630–710+1030–1110+1550–1565nm)≈100…400ppm;
测得的损耗：(0°,660nm)≈140ppm;L(0°,1070nm)≈10ppm;L(0°,1555nm)≈10ppm
备注Notes：
- 损耗Low Loss=吸收+散射光；其中，吸收Absorption远小于散射光Scattered light
- 损伤=由表面处理、波长、涂层技术、设计以及缺陷等因素决定
- 例如，平面或曲面产生的散射光，以及凹面与平面斜切面结合时产生的散射光，用于连接不同表面
低损耗反射镜/R＞99.999%反射镜的研发过程非常灵活。因此，那些表格中的数值只是针对特定客户需求而给出的指导方针而已。
