作者：维尔克斯 时间：2026-8-18 15:43:14
美国Acton Optics公司的主力产品——Acton VUV/UV激光分光镜，采用多层介质膜设计，膜层具有低吸收特性，专为激光输出耦合器及分光用途进行过性能优化。该紫外分光镜以紫外熔融石英为基底材料，其工作波长范围宽广，可覆盖126nm至353nm。准分子激光分束镜在指定激光波长和入射角下精确校准反射率和透射率，确保在高功率激光应用中表现出色。真空紫外分光镜广泛应用于半导体、材料加工、医疗设备、高能物理等领域的科研和OEM应用。
VUV/UV激光分光镜/准分子激光分束镜的主要特点：
-多层介质低吸收镀膜，适用于高功率激光应用
-覆盖126nm至353nm宽波长范围
-在指定激光波长和入射角下精确校准R/T值
-支持偏振态定制（P偏振/S偏振）
-可选后表面AR镀膜
Acton真空紫外分光镜的标准品是随机偏振设计，支持根据应用需求定制设计分光镜，可通过优化水平“P”偏振或垂直“S”偏振来满足特定要求，如常见的193nm分光镜和157nm分光镜都可定制偏振需求。如有需要，还可为准分子激光分束镜的后表面提供抗反射镀膜。126nm是氩（Ar₂）准分子激光器的发射波长，在激光谐振腔内，126nm分束镜作为输出耦合镜，将腔内产生的一部分激光能量“耦合”输出到外部，同时维持腔内振荡。126nm分束镜还可以将一束高功率激光按特定比例（如50:50）分成两束或多束，用于不同的光路或实验。标准真空紫外分光镜每个波长的透过率（45
Degrees），如193nm分光镜和157nm分光镜，甚至126nm分束镜均可选择10%±2%、30%±5%、50%±5%、70%±5%和90%±5%。
VUV/UV激光分光镜/准分子激光分束镜的主要应用：
-激光输出耦合器
-激光分光
-半导体制造
-材料加工
-医疗设备
-高能物理研究
VUV/UV激光分光镜/真空紫外分光镜的标准品：
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波长 |
透过率10%±2% |
透过率30%±5% |
透过率50%±5% |
透过率70%±5% |
透过率90%±5% |
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126nm |
M126-P1045 |
M126-P3045 |
M126-P5045 |
M126-P7045 |
M126-P9045 |
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147nm |
M147-P1045 |
M147-P3045 |
M147-P5045 |
M147-P7045 |
M147-P9045 |
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157nm |
M157-P1045 |
M157-P3045 |
M157-P5045 |
M157-P7045 |
M57-P9045 |
|
172nm |
M172-P1045 |
M172-P3045 |
M172-P5045 |
M172-P7045 |
M172-P9045 |
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193nm |
M193-P1045 |
M193-P3045 |
M193-P5045 |
M193-P7045 |
M193-P9045 |
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248nm |
M248-P1045 |
M248-P3045 |
M248-P5045 |
M248-P7045 |
M248-P9045 |
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266nm |
M266-P1045 |
M266-P3045 |
M266-P5045 |
M266-P7045 |
M266-P9045 |
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308nm |
M308-P1045 |
M308-P3045 |
M308-P5045 |
M308-P7045 |
M308-P9045 |
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353nm |
M353-P1045 |
M353-P3045 |
M353-P5045 |
M353-P7045 |
M353-P9045 |
Acton Optics准分子激光分束镜/紫外分光镜的完整型号通常是由镀膜部件号+基材部件号组成，例如真空紫外分光镜M126-P3045-1D-MB则表示126nm分束镜，入射角为 45°，透射率为30%，基材为1英寸的紫外级熔融石英。准分子激光分束镜如需背面镀抗反射镀膜则必须在镀膜部件号后添加“-S2”以作指定，例如M157-P5045-S2-1D-MB则表示157nm分光镜, 入射角为 45°，透射率为30%，背面镀抗反射镀膜,基材为1英寸的紫外级熔融石英。。以上列出的部件号仅适用于 45° 入射角镀膜，如果需要垂直入射镀膜的紫外分光镜，则需要从镀膜部件号中删除“45”，例如193nm分光镜M193-P1045 应改为部件号 M193-P10。Acton Optics通常建议波长大于170nm的VUV/UV激光分光镜使用激光级紫外熔融石英基板。
193nm分光镜的镀膜曲线
