真空线性平台

加拿大Zaber于1997年成立于温哥华。Zaber高、低真空设备使用特殊设计的真空步进电机，高真空电机的额定真空度为10-6Torr，低真空电机的额定真空度为10-3Torr。为了在敏感应用中使用，zaber真空设备中选择低释气和非冷凝材料。全部的高真空设备上均采用排气式不锈钢螺丝，所有的低真空设备均使用非排气式不锈钢螺丝。

Zaber真空线性平台具有内置控制器和编码器（所有控制和驱动电子元件集成在一个紧凑型封装中的设备），避免了繁杂的电缆交错。而且zaber的所有产品允许它们使用菊花链式的方式衔接，在真空环境中，菊花链衔接的方式也省去了额外的馈通，几台Zaber设备可在只有一条馈通线的条件下运行。因此，Zaber真空线性平台具有价格平滑，设计紧凑，集成且易于使用的特点。

Zaber位移台的特点是把所有控制包括控制器和驱动器等电子元件都集成在同一个封装中，非常方便使用。此外，变速箱和编码器进行了小型化封装组合，这种轻便人性化的设计是Zaber电动位移台在位移台（平移台）领域，闻名于世界的基础。

Zaber真空线性平台，Vacuum Devices

1) High Vacuum Device built-in Controllers，内置控制器的高真空电动平移台

Zaber X-LRQ-SV2系列，高真空、高负载线性平移台

X-LRQ-SV2系列产品的特点:

Ÿ   与10^-6 Torr的真空设备兼容

Ÿ   高达205毫米/秒的速度和高达100牛的推力

Ÿ   内置控制器，可连接其他Zaber产品

Ÿ   可选75,150,300,450,600mm的行程

Ÿ   100公斤的负载能力

Ÿ   通过串行端口（使用X-PIB适配器）控制连接的所有单元只需要4根线

X-LRQ-SV2是Zaber的一款高真空电控平移台，其具有高刚度、结构紧凑、高负载和长使用寿命等特点。X-LRQ-SV2系列产品都是独立的单元，只需要接通标准的24 V或48 V电源就可工作。在没有电脑的情况下，Zaber专门设计的索引旋钮也可以提供方便的手动控制，以实现多种操作

X-LRQ-DEC系列平移台可以连接到任何计算机的RS-232端口或USB端口，并可以与任何其他Zaber产品连接，连接后共享一个电源的电力。还可以方便的锁定，连接一般采用4针，M8连接器。

X-LRQ-SV2系列平移台只有36毫米高，可以应用于尺寸有限的场合。 X-LRQ-DEC的创新设计允许速度高达205毫米/秒，载重高达100千克。像所有Zaber的其它产品一样，X-LRQ-DEC系列的设计是“即插即用”，非常容易安装和操作。这产品段可以拼接成XY和XYZ系统。

加拿大Zaber公司X-LRQ-SV2系列平移台的命名规则：

X-LRQ表示产品的系列，075表示行程，A表示Lead Screw Options，对应运动速度的快慢，L表示Drive Configuration，SV2表示高真空或低真空。

X-LRQ-SV2系列具体型号：

X-LRQ075AL-SV2：   高真空, 线性平移台, 75mm行程, 内置控制器, 高分辨率, 低速

X-LRQ075BL-SV2

X-LRQ150AL-SV2、X-LRQ150BL-SV2    X-LRQ300AL-SV2、X-LRQ300BL-SV2

X-LRQ450AL-SV2、X-LRQ450BL-SV2    X-LRQ600AL-SV2、X-LRQ600BL-SV2

Zaber X-LSM-SV2系列，高真空线性平移台（行程：25mm,50mm,100mm,150mm,200mm）

X-LSM025A-SV2：高真空, 线性平移台, 25mm行程, 内置控制器, 高分辨率, 低速

X-LSM025B-SV2

X-LSM050A-SV2、X-LSM050B-SV2                   X-LSM100A-SV2、X-LSM100B-SV2

X-LSM150A-SV2、X-LSM150B-SV2                   X-LSM200A-SV2、X-LSM200B-SV2

Zaber X-VSR-V2系列，高真空垂直平移台

X-VSR20A-SV2：高真空, 电动升降台, 20mm行程, 内置控制器

X-VSR40A-SV2：高真空, 电动升降台, 40mm行程, 内置控制器

Zaber X-RSW-SV2系列，高真空选转台

X-RSW60A-SV2：高真空, 电动旋转台, 360°旋转, 60 mm diameter, 内置控制器, 高分辨率, 低速

Zaber X-RSM-SV2系列，高真空、低负载旋转台

型号：

X-RSM40B-SV2：高真空, 电动旋转台, 内置控制器, 40 mm stage top, medium resolution

Zaber X-GSM-SV2系列，高真空角度调整台

X-GSM40-SV2：高真空, 电动角度台, 内置控制器, 40 mm centre of rotation

X-GSM60-SV2：高真空, 电动角度台, 内置控制器, 60 mm centre of rotation

Zaber T-NA-SV2系列，高真空线性制动器

T-NA08A25-SV2：高真空线性致动器, 25mm行程, RS-232

T-NA08A50-SV2：高真空线性致动器, 50mm行程, RS-232

2) 高真空 Device built-in Stand-alone Controllers，带独立控制器的高真空线性平移台

Zaber LRQ-SV2系列，高真空、高负载线性平移台（行程：75mm,150mm,300mm,450mm,600mm）

型号：

LRQ075AL-V2T4：高真空, 线性平移台, 75mm行程, 高分辨率, 低速

LRQ075BL-V2T4

LRQ150AL-V2T4、LRQ150BL-V2T4                    LRQ300AL-V2T4、LRQ300BL-V2T4

LRQ450AL-V2T4、LRQ450BL-V2T4                    LRQ600AL-V2T4、LRQ600BL-V2T4

Zaber LSM-SV2系列，高真空线性平移台（行程：25mm,50mm,100mm,150mm,200mm）

型号：

LSM025A-V2T4：高真空, 线性平移台, 25mm行程, 高分辨率, 低速

LSM025B-V2T4

LSM050A-V2T4、LSM050B-V2T4                      LSM100A-V2T4、LSM100B-V2T4

LSM150A-V2T4、LSM150B-V2T4                      LSM200A-V2T4、LSM200B-V2T4

Zaber LSA-V2系列，高真空，微型线性位移台

型号：

LSA10A-V2T4：高真空, 线性平移台, 10mm行程, 高分辨率

LSA25A-V2T4：高真空, 线性平移台, 25mm行程, 高分辨率

Zaber VSR-V2系列，高真空垂直位移台

型号：

VSR20A-V2T4：高真空, 电动升降台, 20mm行程

VSR40A-V2T4：高真空, 电动升降台, 40mm行程

Zaber RSW-SV2系列，高真空旋转台

型号：

RSW60A-V2T4：高真空, 电动旋转台, 360°旋转, 60 mm diameter, 高分辨率, 低速

RSM40B-V2T4：高真空, 电动旋转台, 40 mm stage top, medium resolution

Zaber RSM-SV2系列，高真空，低负载旋转台

型号：

RSM40B-V2T4：高真空, 电动旋转台, 40 mm stage top, 中等分辨率

Zaber GSM-SV2系列，高真空线性致动器

型号：

GSM40-V2T4：高真空, 电动角度台, 40 mm centre of rotation

GSM60-V2T4：高真空, 电动角度台, 60 mm centre of rotation

3) 低真空 Device built-in Controllers，内置控制器的低真空线性平台

Zaber X-LRQ-SV1系列，低真空、高负载线性平移台（行程：75mm,150mm,300mm,450mm,

600mm）

型号：

X-LRQ075AL-SV1：低真空, 线性平移台, 75mm行程, 内置控制器, 高分辨率, 低速

X-LRQ075BL-SV1

X-LRQ150AL-SV1、X-LRQ150BL-SV1                X-LRQ300AL-SV1、X-LRQ300BL-SV1

X-LRQ450AL-SV1、X-LRQ450BL-SV1                X-LRQ600AL-SV1、X-LRQ600BL-SV1

Zaber X-LSM-SV1系列，低真空线性平移台（行程：25mm,50mm,100mm,150mm,200mm）

型号：

X-LSM025A-SV1：低真空, 线性平移台, 25mm行程, 内置控制器, 高分辨率, 低速

X-LSM025B-SV1

X-LSM050A-SV1、X-LSM050B-SV1                          X-LSM100A-SV1、X-LSM100B-SV1

X-LSM150A-SV1、X-LSM150B-SV1                          X-LSM200A-SV1、X-LSM200B-SV1

Zaber X-VSR-V1系列，低真空垂直平移台

型号：

X-VSR20A-SV1：低真空, 电动升降台, 20mm行程, 内置控制器

X-VSR40A-SV1：低真空, 电动升降台, 40mm行程, 内置控制器

Zaber X-RSW-SV1系列，低真空旋转台

型号：

X-RSW60A-SV1：低真空, 电动旋转台, 360°旋转, 60 mm diameter, 内置控制器, 高分辨率, 低速

Zaber X-RSM-SV1系列，低真空、低负载旋转台

型号：

X-RSM40B-SV1：低真空, 电动旋转台, 内置控制器, 40 mm stage top, 中等分辨率

Zaber X-GSM-SV1系列，低真空角度调整台

型号：

X-GSM40-SV1：低真空, 电动角度台, 内置控制器, 40 mm centre of rotation

X-GSM60-SV1：低真空, 电动角度台, 内置控制器, 60 mm centre of rotation

Zaber T-NA-SV1系列，低真空线性致动器  Zaber T-MM-V系列，低真空反射镜调整架

型号：

T-NA08A25-SV1：低真空线性致动器, 25mm行程, RS-232

T-NA08A50-SV1：低真空线性致动器, 50mm行程, RS-232

4) 低真空 Device built-in Stand-alone Controllers，带独立控制器的低真空线性平移台

型号：

Zaber LRQ-V1系列，低真空、高负载线性平移台（行程：75mm,150mm,300mm,450mm,600mm）

型号：

LRQ075AL-V1T4：低真空, 线性平移台, 75mm行程, 高分辨率, 低速

LRQ075BL-V1T4

LRQ150AL-V1T4、LRQ150BL-V1T4                    LRQ300AL-V1T4、LRQ300BL-V1T4

LRQ450AL-V1T4、LRQ450BL-V1T4                    LRQ600AL-V1T4、LRQ600BL-V1T4

Zaber LSM-V1系列，低真空线性平移台（行程：25mm,50mm,100mm,150mm,200mm）

型号：

LSM025A-V1T4：低真空, 线性平移台, 25mm行程, 高分辨率, 低速

LSM025B-V1T4

LSM050A-V1T4、LSM050B-V1T4               LSM100A-V1T4、LSM100B-V1T4

LSM150A-V1T4、LSM150B-V1T4               LSM200A-V1T4、LSM200B-V1T4

Zaber LSA-V1系列，低真空，微型线性位移台

型号：

LSA10A-V1T4：低真空, 线性平移台, 10mm行程, 高分辨率

LSA25A-V1T4：低真空, 线性平移台, 25mm行程, 高分辨率

Zaber VSR-V1系列，低真空垂直位移台

型号：

VSR20A-V1T4：低真空, 电动升降台, 20mm行程

VSR40A-V1T4：低真空, 电动升降台, 40mm行程

Zaber RSW-V1系列，低真空旋转台

型号：

RSW60A-V1T4：低真空, 电动旋转台, 360°旋转, 60 mm diameter, 高分辨率, 低速

Zaber RSM-V1系列，低真空，低负载旋转台

型号：

RSM40B-V1T4    低真空, 电动旋转台, 40 mm stage top, 中等分辨率

Zaber GSM-V1系列，低真空线性角度调整台

型号：

GSM40-V1T4：低真空, 电动角度台, 40 mm centre of rotation

GSM60-V1T4：低真空, 电动角度台, 60 mm centre of rotation

5) Non-Motorized

Zaber TSB-V系列，低真空线性平台

型号：

TSB28E-V： Translation stage, 28mm行程, 1/4"-20 thread, vacuum compatible

TSB28M-V：Translation stage, 28mm行程, M6 thread, vacuum compatible

TSB60E-V： Translation stage, 60mm行程, 1/4"-20 thread, vacuum compatible

TSB60M-V：Translation stage, 60mm行程, M6 thread, vacuum compatible