VSGSP-60YAW是直径60mm的小型真空步进电机平台，适用于实验或检查装置；还有直径120mm的真空电动平台VSGSP-120YAW。Optosigma真空自动旋转平台VSGSP-120YAW上配备了限位传感器，厚度小，承载能力大
所属品牌： 日本OptoSigma
负责人：包工
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Optosigma真空自动旋转平台，真空5项步进电机，尺寸φ60mm和120mm
VSGSP真空滑台是一款真空用的自动旋转平台。VSGSP-60YAW是直径60mm的小型真空步进电机平台，适用于实验或检查装置；还有直径120mm的真空电动平台VSGSP-120YAW。Optosigma真空自动旋转平台VSGSP-120YAW上配备了限位传感器，厚度小，承载能力大（选用了42mm的大型电机）。
真空步进电机平台VSGSP-120YAW和VSGSP-60YAW的技术指标：
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真空电动旋转平台的技术指标 |
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型号 |
VSGSP-60YAW |
VSGSP-120YAW |
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机械技术指标 |
转动范围 |
CW , CCW方向∞ |
逆时针旋转CCW方向无限制 |
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台面尺寸(mm) |
φ60 |
φ120 |
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驱动机构 |
蜗轮蜗杆 |
蜗轮蜗杆 |
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导轨形式 |
滚动轴承 |
十字交又滚柱 |
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主要材料 |
铝合金 |
铝合金 ·不锈钢 |
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表面处理 |
无 |
无 |
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自重(kg) |
0.45 |
1.7 |
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精度技术指标 |
分辨率 |
(整步)(”) |
0.005 |
0.005 |
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(半步)(”) |
0.0025 |
0.0025 |
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最大速度(*/sec) |
20 |
20 |
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重复定位精度(”) |
0.02 |
0.02 |
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承载能力(N) |
29.4(3.0kgf) |
98.0(10.0kgf) |
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空行程() |
0.05 |
0.05 |
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传感器 |
种类 |
无 |
GN-STM35A-1((株)Metrol) |
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极限位置传感器 |
无 |
真空接触式(常开) |
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原点传感器 |
无 |
无 |
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近接原点传感器 |
无 |
无 |
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真空电动滑台的电机/传感器技术指标 |
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电机 |
类型 |
真空用5相步进电机0.75A/相 |
真空用5相步进电机0.75A/相 |
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型号 |
TS3664N5(24mm) |
PK543V-NB(42mm) |
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步距角 |
0.72 |
0.72 |
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传感器 |
输出端电气特性 |
— |
接触式 |
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信号的含义 |
— |
常开 |
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推荐选用的驱动器/控制器型号 |
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电器系统 |
驱动器 |
SG-5M, MC-S0514ZU. SG-514MSC, MC-7514PCL |
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控制器 |
GSC-01, GSC-02, SHOT-702, GIP-101, HSC-103, SHOT-302GS, SHOT-304GS, HIT-M·HIT-S, PGC-04-U |
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Optosigma真空自动旋转平台VSGSP-120YAW和VSGSP-60YAW在电机部位和极限位置传感器部位，附有1m长的镀有聚四氟乙烯层的电缆，可用于直接连线到真空电动平台的真空腔插头部位。
VSGSP-120YAW和VSGSP-60YAW除了台面尺寸上的区别，在电机型号上也有所不同。真空步进电机平台的电机型号分为TS3664N5(24mm)和PK543V-NB(42mm)，按大小分别适配VSGSP真空滑台的φ60mm和φ120mm两种规格的标准台面。真空电动滑台的电机步距角为0.72°。西格玛光机真空电动旋转滑台的最大速度为20″/sec，分辨率整步0.005″，半步0.0025″，重复定位精度0.02″。真空电动滑台VSGSP-60YAW的自重仅为0.45kg，承载能力29.4N，十分小巧轻便。真空电动平台VSGSP-120YAW的自重为1.7kg，负载能力98N。
Optosigma真空自动旋转平台/ Sigmakoki真空电动旋转平台的转动范围说明：
通常，我们将Sigmakoki真空电动旋转平台的CW方向的极限位置传感器兼为原点传感器使用了，以此位置为参考进行原点复位。西格玛光机真空电动旋转滑台规定，以半步细分驱动，并采用MINI方式进行原点复位操作时的停止位置为刻度0度位置。
