德国B.halle公司提供中心波长为193.4nm的偏振分光立方体。该立方体由两块直角棱镜通过光学连接技术胶合而成。然而，这种特定的制造工艺限制了其激光损伤阈值，使其最高承受功率不超过2W/cm²。
所属品牌： B.Halle
负责人：陈工
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193nm，偏振消光比＜1:200，光束偏差＜5’的偏光立方体分光器
德国B.halle公司提供中心波长为193.4nm的偏振分光立方体。该立方体由两块直角棱镜通过光学连接技术胶合而成。然而，这种特定的制造工艺限制了其激光损伤阈值，使其最高承受功率不超过2W/cm²。193偏振立方分光体其中一个棱镜的内表面镀有介质偏振分光膜。B.halle分光棱镜的该膜层在宽光谱范围内对S偏振光具有高反射率，对P偏振光具有高透射率。
下图描述了偏振立方体分光棱镜在深紫外波段（190-210nm）的透射率如何随波长的变化而变化。其核心目的是展示该光学元件在目标工作波长193nm附近的性能。193nm偏振分光立方体在190-210nm范围内，S光的最高透过率仅为0.5%，P光的透过率接近95%，这正是一个高质量193nm对于“被阻挡”的偏振态（即S光）所表现的典型特征——高消光比。消光比（通常指Tp/Ts）是衡量偏振分光棱镜性能的关键指标，这个值越高越好。例如在193nm处，B.halle分光棱镜的Ts约为0.25%，Tp约为75%，那么消光比约为300:1。
193nm偏振分光立方体（193nm PBS ：Polarizing Beamsplitter Cubes）的透过率曲线
B.halle193nm偏振分束器/偏振立方体分光棱镜由熔融石英制成，可提供10mm、20mm、30mm和50mm的尺寸。当偏光立方体分光器的尺寸为10±0.5mm时，193nm PBS的测试中心区域为直径9mm，传输中的消光比＜1:200，光束偏差＜5’。当B.halle偏振分束立方体的尺寸为20±0.5mm时，测试中心区域为直径16mm。此时193偏振立方分光体传输中的消光比＜1:200，光束偏差＜10’。 立方体偏振分束器的透射波前畸变＜ λ/8 at
λ=532nm。偏振立方体分光棱镜的外表面缺陷为5/1x0.1，内表面缺陷为5/3x0.16；L400x0.001。
