硅微透镜阵列，常见用于红外波段的传感器中，提高信号收集效率和检测精确度。虽然熔融石英微透镜阵列也有用于红外波段的材质，但是其最大的光谱范围只能到达3.5μm左右。而硅制的红外微透镜阵列可以达到更远，切成本和加工难度上要优于熔石英。现阶段我司的Si复眼透镜制作精度与现有的高精度石英微透镜阵列一致，因为Si复眼透镜的材质的折射率更大，所以焦距可变可选范围更广。
所属品牌： 维尔克斯光电
负责人：戴工
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适用于红外波段的高精度硅微透镜阵列
微透镜阵列常见的生产材质主要有硅、熔融石英和塑料。熔融石英聚焦较好的透过率和耐受性，在适用波段上，根据材质的不同，分为紫外，可见光波段和红外熔融石英。而硅材料，在红外波段可工作的波长范围比熔融石英更广，也是常见、首选的红外波段Si复眼透镜生产材质。塑料材质，因为工艺上的差异，更适合于微透镜阵列的批量生产，在成本控制上性价比跟高。
我司现隆重推出硅微透镜阵列，以满足可在红外波段的应用需求。现阶段的Si微透镜阵列虽然刚起步，但亦有数十个标准品型号。口径囊括常见的尺寸，在100-1500μm之间。因为硅制的红外微透镜阵列，材质折射率比较大，所以，相同的工艺下，我们不仅达成了与熔融石英微透镜阵列一致的加工精度，同时，在微透镜阵列的焦距上有了更大的可选择性。
与微透镜阵列系类似，红外微透镜阵列常见的应用有：准直、匀化、波前传感等等。其主要的应用，是在传感器中，提高仪器的信息收集效率和探测精度。
考虑到客户的应用场景和实际需求，现阶段的口径只有方形。当然，如果客户有其他口径形状的红外微透镜阵列需求，亦可定制加工。口径上，主要有常见的100、200、250、500、800、1000、1100和1500μm等。硅材质红外波段的微透镜阵列在厚度上，可以比熔融石英的更薄，做到0.25mm。镜片尺寸上，依旧以常见的10*10mm为中心。
随着客户的需求的不断发展，我司Si微透镜阵列也会不断发展提高。目前Si微透镜阵列的加工精度与熔融石英的微透镜阵列一致，定制加工的能力上也是。但是因为Si复眼透镜的材质的折射率更高，所以客户定制的时候，焦距可以放的更大，可选择性更广。
常规定制加工限制：
-ROC误差：±5%
-表面粗糙度：<30nm
-Pitch误差：小于±1μm
-子单元之间存在2-4μm的间隙
常规定制加工限制：
-子单元（微透镜）的pitch值介于15-1500μm
-子单元的矢高（穹顶到衬底的高度sag）介于0.7-50μm
-只能加工单片平凸结构，双凸加工不了
现有硅微透镜阵列标准品型号：
|
微透镜阵列型号 |
子单元形状 |
Pitch/μm |
F/mm |
镜片尺寸/mm |
厚度/mm |
镀膜 |
|
MLSi-S100-F0.157 |
方形 |
100 |
0.157 |
6.85×6.85 |
0.25mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S100-F0.157 |
方形 |
100 |
0.157 |
6.8×6.8 |
0.25mm |
增透膜 |
|
MLSi-S127-F0.53 |
方形 |
127 |
0.53 |
10×10 |
1mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S200-F3 |
方形 |
200 |
3 |
10×10 |
1mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S200-F3 |
方形 |
200 |
3 |
10×10 |
1mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S250-F0.66 |
方形 |
250 |
0.66 |
10×10 |
1mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S500-F5 |
方形 |
500 |
5 |
10×10 |
1mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S500-F5 |
方形 |
500 |
5 |
15.5×15.5 |
1mm |
增透膜 |
|
MLSi-S800-F2.59 |
方形 |
800 |
2.59 |
10×10 |
1mm |
增透膜 |
|
MLSi-S1000-F15 |
方形 |
1000 |
15 |
12×12 |
2mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S1015-F40 |
方形 |
1015 |
40 |
10×10 |
2mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S1100-F35 |
方形 |
1100 |
35 |
12×12 |
2mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S1100-F35 |
方形 |
1100 |
35 |
15×15 |
1mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S1100-F35 |
方形 |
1100 |
35 |
Φ25.40 |
2.5mm |
未镀膜 |
|
MLSi-S1500-F35 |
方形 |
1500 |
35 |
12×12 |
2mm |
未镀膜 |
