作者：维尔克斯 时间：2025-9-3 10:00:33
法国PIEZOCONCEPT公司的TT系列高速压电偏摆台，凭借其0.01μRad的超高角度重复定位精度与高达2000Hz的谐振频率，成为半导体制造及光学高精度应用的理想选择。其卓越的高速性能，使其在粒子追踪、光镊、光束稳定及扫描显微镜等前沿科研与工业领域中表现出色。
TT系列压电快反镜参数如下：
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TT1.5 |
TT1.10 |
TT2.5 |
TT2.10 |
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运动范围（mRad） |
5 |
10 |
5 |
10 |
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分辨率（uRad） |
0.005 |
0.01 |
0.005 |
0.01 |
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底噪（uRad/sqrt（Hz）） |
0.0005 |
0.001 |
0.0005 |
0.001 |
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线性度（典型值） |
0.02% |
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谐振频率（Hz） |
2000 |
1200 |
4000/2000 |
2200/1200 |
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传感器类型 |
Silicon HR Sensor |
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控制器 |
标准/高速控制器 |
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水平最大负载（kg） |
0.2 |
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垂直最大负载（kg） |
0.2 |
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法国PIEZOCONCEPT的TT系列高速纳米压电偏转台一共有单旋转轴向TT1.5和TT1.10两款，二旋转轴向TT2.5和TT2.10两款。TT系列快速压电偏摆台的行程分为5 mRad和10 mRad，轴向控制数量相同的型号外形规格没有很大的差别。TT1.5，TT1.10，TT2.5，TT2.10这四款压电快反镜的底座的规格是相同的。PIEZOCONCEPT提供的公制面包板适配器可以将TT1.5，TT1.10，TT2.5，TT2.10这四款压电镜片偏摆台顺利的安装在标准的M6通孔光学平台上。
TT系列高速纳米压电偏转台的谐振频率相对较高，能达到kHz级别，因此PIEZOCONCEPT还为TT系列快速压电偏摆台提供高速控制器进行操控。TT系列压电快反镜的控制器可通过USB端口和模拟电压信号进行控制。二者可以快速切换。由于TT系列压电镜片偏摆台的标准负载相对较低，一般为小型的镜组或物体。因此PIEZOCONCEPT允许用户进行定制升级来提高载重能力。
