作者：维尔克斯 时间：2025-10-16 10:27:47
这款5um微区膜厚仪专为快速表征微米级表面而设计。它能在1秒内同步测定单层薄膜的厚度、光学反射率及材料光学常数。Innofocas微区薄膜测量仪凭借其强大的环境适应性，可无缝应用于实验室、工厂产线乃至野外现场，实现对材料参数的实时、高效分析。
微区膜厚仪主要参数：
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微点膜厚仪 |
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测量项目 |
反射率，膜层厚度及光学常数（n&k） |
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光斑尺寸 |
5/10/50/100um |
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膜厚范围 |
15nm~100um |
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测量精度 |
0.2nm |
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测量时间 |
单点测量时间小于0.1s |
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光谱范围 |
350~1000nm/1000nm~1700nm |
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样品尺寸 |
1mm~100mm |
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仪器重量 |
2.8kg |
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仪器尺寸 |
290×230×250mm |
Innofocas膜厚测量仪对于膜厚的测量精度可以达到0.2nm，对于光学镜片的膜厚检测，医疗器械表面涂层效果。半导体制造等各种方面都能有较好的使用效果。另外目前很火的运用于锂电池中的薄膜测量，微点膜厚仪同样可以通过光学方式无损测量。保证了测试的安全性和参数的有效性。
Innofocas膜厚测量仪采用亚毫米级的小光斑，测量用的光斑直径从5um到100um。波长范围覆盖可见光和近红外光（350~1000nm）以及短波红外光（1000~1700nm）。测量光谱分辨率可小至0.25nm。反射率测量的精度<0.05%。
目前市面上的微区膜厚仪产品较少，比较知名的有希腊的Thetametrisis微点膜厚仪，美国的Filmetrics。美国的Innofocas微区膜厚仪也能在这些产品中为客户提供另一款全新的选择。不仅如此，Innofocas膜厚测量仪还提供了快速测量模式，快速模式下的单点膜厚仪测量的速度可以达到单次小于50毫秒。单点膜厚仪配备有USB数据输出接口和对应的软件，可以适配目前主流的Windows 10操作系统。
