作者：维尔克斯 时间：2025-11-20 14:54:29
193nm准分子激光反射镜在高端光刻和深紫外光谱学等领域应用广泛。CVI公司为此提供了多种型号，如ARF-1025-45、DUVA-PM-1025-UV等。本文将对这些CVI深紫外反射镜产品进行梳理和对比，旨在帮助客户根据具体使用环境和需求，快速准确地完成选型。
ARF系列与DUVA系列标准品型号规格与起订量：
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型号 |
起订量 |
厚度 |
直径 |
入射角 |
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ARF-1025-45 |
20pcs |
6.35mm |
25.4mm |
45° |
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ARF-2037-45 |
10pcs |
9.53mm |
50.8mm |
45° |
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ARF-3050-45 |
4pcs |
3050mm |
76.2mm |
45° |
|
DUVA-PM-0512-UV |
20pcs |
3.18mm |
12.7mm |
0°~45° |
|
DUVA-PM-1025-UV |
20pcs |
6.35mm |
25.4mm |
0°~45° |
|
DUVA-PM-2037-UV |
10pcs |
9.53mm |
50.8mm |
0°~45° |
可以看到，DUVA系列由于是采用高密度金属铝镀膜，适用的入射角度可以满足从0°到45°。但是ARF系列的产品标准品则设计的入射角为标准45°，其他角度的入射角需要向厂家咨询和定制来满足。
CVI反射镜列表中，193nm反射镜的标准品中主要有ARF系列和DUVA系列。虽然均被CVI划分为193nm反射镜，但是两者的参数差距十分明显。两个系列的193nm反射镜在深紫外激光器的各类应用中有着广泛的应用。但是ARF系列采用的是高反射率镀膜，而DUVA系列则是采用了高密度金属铝镀层的深紫外激光反射镜。二者的反射率和适用波段有着比较大的差别。
ARF系列的ARF-1025-45，ARF-2037-45，ARF-3050-45三款准分子激光反射镜在190nm处的反射率均接近95%，其中对S-POL的反射率接近100%。但是ARF-1025-45，ARF-2037-45，ARF-3050-45在198nm波段附近的反射率就急剧下降。到202nm附近的透过率就不足50%了。DUVA系列的DUVA-PM-0512-UV，DUVA-PM-1025-UV，DUVA-PM-2037-UV三款高密度金属铝镀膜的深紫外激光反射镜在185nm~250nm波段附近都具有90%的反射率。
因此，ARF-1025-45，ARF-2037-45，ARF-3050-45三款适用于准分子激光反射镜半导体加工激光器，具有高反射率镀膜和高损伤阈值。而DUVA-PM-0512-UV，DUVA-PM-1025-UV，DUVA-PM-2037-UV三款采用高密度金属铝镀膜的CVI反射镜更加适合线宽较宽，或者多波长的深紫外激光器使用。
