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光谱仪光栅选型,台湾超微光学光栅的波段和分辨率,OTO Photonics光谱仪如何选光栅

作者:维尔克斯  时间:2026-1-8 10:22:49

光栅作为光谱仪中实现精确波长分离的核心元件,其选型直接关系到光谱仪的分辨率与测量精度,因此光谱仪的光栅选择是一项至关重要的技术环节。光栅基于多缝衍射与干涉原理,将入射光按照不同波长在空间中有效展开,为后续的光信号探测与分析奠定基础。缺少高性能光栅,现代光谱仪便难以实现高分辨率、高准确度的光谱测量。台湾超微光学(OTO Photonics)长期专注于微纳光学技术领域,依托先进的纳米压印光刻工艺和成熟的制造经验,为用户提供性能优异、稳定可靠且支持定制的衍射光栅解决方案,覆盖紫外可见光谱仪光栅和近红外光谱仪光栅等多种应用需求。本文将重点介绍OTO Photonics光谱仪所采用的多类型光栅产品,包括智能引擎/鹰眼系列、蜂鸟系列及响尾蛇系列光谱仪光栅,并系统解析刻线密度、最佳效率波长、有效工作带宽及光栅分辨率等关键设计参数,帮助用户更直观地进行区分与光谱仪光栅选型。


一.超微光学光谱仪光栅选型和光谱仪设计参数

光谱仪如何选光栅首先要考虑的就是各项设计参数。

-光栅刻线密度:光栅表面上每毫米长度的刻痕数量,单位为线/毫米(g/mm)。

物理意义:决定了光栅的光栅常数d,即相邻刻痕间的距离。

性能影响:刻线密度越高,色散能力越强,单位波长差对应的衍射角变化越大;在固定光栅尺寸下,刻线密度越高,总刻线数越多,理论分辨率越高;自由光谱范围:刻线密度越高,自由光谱范围越窄。

-最优效率波长:在特定的衍射级次下,衍射效率达到峰值时所对应的波长。

物理意义:通过控制刻痕形状,将入射光能量集中到特定的衍射级次和波段,显著提高系统信噪比。

设计考量:最优效率波长通常设计在目标应用波段的中心。

-有效带宽:获得的既清晰又明亮的光谱数据范围。

物理意义:光栅的衍射效率并非在整个波段内都保持平坦。在以“最优效率波长”为中心的一个波段内,效率最高;向波段两端则逐渐衰减。

设计考量:光栅的有效带宽是一个集几何约束与性能约束于一体的综合参数。它清晰地界定了一次光谱测量中,所能获得的既清晰(分辨率足够)又明亮(效率足够)的光谱数据范围。

-总波长范围:

物理意义:表示光栅可以使用的总波长范围。超出此范围,光栅的效率会非常低甚至无法工作。

-狭缝宽度与分辨率:

物理意义:在台湾超微光学光谱仪中,光栅设计参数狭缝宽度与光栅分辨率之间存在一个权衡关系。简单来说:狭缝宽度是决定实际达到的光谱分辨率的关键因素,但更窄的狭缝意味着更弱的光信号。

光谱仪光栅选型的考量:当狭缝较宽时,进入光谱仪的不是一个理想的“线”光源,而是一个较宽的“面”光源。在探测器上,每个单一波长的光会形成一个较宽的像。导致相邻很近的两条谱线会彼此重叠、无法区分,从而降低了实际分辨率;当狭缝逐渐变窄时,入射光被限制为一个更细的线,在探测器上每个波长的像也变得更细。相邻谱线能够被清晰地区分开,实际分辨率得以提升,并最终逼近近红外光谱仪光栅/紫外可见光光谱仪光栅的理论光栅分辨率极限。


二.光栅和光谱仪的搭配及作用

核心分光元件:它是光谱仪的核心元件之一,负责将待测的入射光分解成其组成的波长成分,光谱仪如何选光栅直接决定了光谱仪的功能和性能。

决定分辨率:光栅的性能直接决定了光谱仪的分辨率(即区分两个非常接近波长的能力)。刻线总数越多、级次越高,光栅分辨率通常就越高。

决定色散率:光栅决定了不同波长在探测器上分开的距离(色散)。高色散率的光栅可以将光谱“拉伸”得更开,便于精确测量。

影响通光和效率:光栅和光谱仪的设计和涂层会影响其在特定波段的光效率。



三.SW系列光谱仪光栅*及相应的狭缝分辨率(模拟值仅供参考)

近红外光谱仪型号

光栅刻线密度(g/mm)

光栅最优效率波长(nm)

有效带宽(nm)

总波长范围(nm)

狭缝的宽度(μm)及对应的分辨率(nm)

25

50

100

150

200

SW 2570

236.8

1350

800

900-1700

~4.1
Avg.: 2.7

~5.2
Avg.: 4.3

~7

~13

~14

SW 2560

236.8

1350

800

900-1700

NA

~7.2
Avg.: 4.3

~10
Avg.: 8.1

~13

~14

SW 2520

120

1000

800

900-1700

N/A

~15
Avg.: 9

~21
Avg.: 17

~22

N/A

SW 2860

236.8

1350

800

900-1700

N/A

~7.2
Avg.: 4.3

~10
Avg.: 8.1

~13

~13.8

SW 2960

120

1800

1600

900-2500

N/A

~15
Avg.: 9

~20.3
Avg.: 16.5

N/A

N/A

*:SW系列光谱仪是指响尾蛇系列光谱仪,近红外光谱仪SW是SidewinderTM的缩写。SW系列光谱仪光栅是近红外光谱仪光栅的其中一个系列。


SW系列光谱仪产品表:

谱仪型号

适用光谱波长(nm)

传感器类型

信噪比*

动态范围

杂散光

A/D

温度稳定测试

nm/

NIRC

NIRT

NIRD

高增益

低增益

高增益

低增益

900-1700

910-2200

900-2500

SW5系列

SW2520

InGaAs传感器

2000

4000

6500

8200

<0.2%

16

bits

<0.2

SW2560

2400

4500

6000

9300

<0.1

SW2570

2500

4000

SW8系列

SW2860

InGaAs

TEC

传感器

3200

4500

8000

13000

SW2870

3200

4500

7200

9300

SW9系列

SW2930

2800

5300

6000

9300

<0.2

SW2960

2500

4500

7000

12000

<0.45%

SW2970

2500

4500

6000

9300

<0.1


四.SE/EE系列光谱仪光栅*及相应的狭缝分辨率(模拟值仅供参考)

光栅刻线密度(g/mm)

光栅最优效率波长(nm)

有效带宽(nm)

总波长范围(nm)

狭缝的宽度(μm)及对应的分辨率(nm)

10

25

50

100

200

300

2400

240/VIS**

100UV/150***

180-520

0.2

0.3

0.4

0.8

1.2

-

1800

180/250/500

150UV/210

180-700

0.3

0.4

0.6

1.0

1.8

-

1600

200

160UV/240

180-780

0.4

0.5

0.7

1.2

2.0

-

1200

200/300/500/ 600/750/850

220UV/320

180-1010

0.5

0.6

0.9

1.7

3.4

4.5

1000

250/900

300UV/400

180-1100

0.6

0.7

1.1

1.9

3.0

-

900

500

360UV/450

180-1100

0.6

0.8

1.3

2.3

4.6

-

830

800

410

180-1100

0.9

1.0

1.5

2.5

4.5

-

600

300/400/500/ 800/1000

670

180-1100

1.0

1.2

1.9

3.3

6.7

10.0

500

330/560/770

825

180-1100

1.1

1.4

2.4

3.5

7.5

11.5

300

230/300/422/ 500

920

180-1100

1.7

2.3

3.2

6.0

12.8

20.0

*:SE系列光谱仪是指OTO Photonics智能引擎系列光谱仪,SESmartEngine紫外可见光光谱仪的缩写。EE系列光谱仪是指鷹眼系列光谱仪,EEEagleEye™的缩写。SE/EE系列光谱仪是紫外可见光光谱仪的其中两个系列。

**:在 240 nm波长处,光栅的衍射效率最高。VIS代表“可见光”,表明紫外可见光光谱仪光栅在可见光波段也有良好的整体效率。

***:在紫外(UV)波段,紫外可见光光谱仪光栅高效率的带宽范围约为100nm。在可见光(VIS)波段,其高效率的带宽范围约为150nm


SE系列光谱仪产品表:

光谱仪型号

适用光谱波长(nm)

噪比*

动态范围

杂散光

A/D

温度稳定测试

DUVN

FUV

FUVN

VNIR

NIR1

200-1025

180-850

180-1100

350-1020

790-1010

SE1010/SE2010

200

2200

0.2%

16bits

<0.04 nm/

SE1020/SE2020

250

1700

0.2%

SE1030/SE2030

350

4300(2.5MHz)

3000(10MHz)

0.2%

SE1040/SE2040

**

200

2200

0.2%

SE1050/SE2050

500

4600

0.45%

SE1070/SE2070

350

2200

0.2%

SE1080/SE2080

350

3200

0.2%

SE1090/SE2090

500

6000

0.45%

SE1120/SE2120

350

4300(2.5MHz)

0.2%

SE5160/SE6160

500

4600

0.45%

*:单次测量数据

**:SE2040DUVN波长范围由275nm开始


EE系列光谱仪产品表:

光谱仪型号

适用光谱波长(nm)

信噪比

动态范围*

杂散光

A/D

温度稳定测试

FUVN

DUVN

NIR1

NIR4

180-1100

200-1025

790-1010

790-1090

EE2111/EE211

500

5000

<0.45%

16bits

<0.015nm/

EE2063

500

4000

<0.45%

<0.04 nm/

*:动态范围的计算以多台光谱仪的暗噪声平均值计算


五.HB系列光谱仪光栅*及相应的狭缝分辨率(模拟值仅供参考)

栅刻线密度(g/mm)

光栅最优效率波长(nm)

有效带宽(nm)

总波长范围(nm)

狭缝的宽度(μm)及对应的分辨率(nm)

10

25

50

100

200

300

2400

240

140

180-540

0.2

0.3

0.5

0.9

1.4

-

1800

250

200

190-380

0.3

0.4

0.6

1.0

1.8

-

1400

230

250

180-920

0.4

0.6

0.9

1.5

2.9

-

1200

200/250/850

220

180-1010

0.5

0.6

0.9

1.7

3.4

4.5

1000

900

300

180-1100

0.6

0.7

1.1

1.9

4.0

-

900

550

400

180-1100

0.7

1.0

1.5

2.5

5.0

8.0

600

300/500

670

180-1100

1.0

1.2

1.9

3.4

6.7

10.0

500

330/560/770

825

180-1100

1.1

1.4

2.4

4.4

8.4

12.0

300

230/300

920

180-1100

1.7

2.3

3.4

7.0

13.5

-

*HB系列光谱仪是指OTO Photonics蜂鸟光谱仪,HBHummingBirdTM的缩写。HB系列光谱仪是紫外可见光光谱仪的其中一个系列。


HB系列光谱仪产品表:

光谱仪型号

适用光谱波长(nm)

信噪比*

动态范围

杂散光

A/D

温度稳定测试

FUVN

FUV

FUV2

NIR1

NIR4

180-1100

180-850

180-500

790-1010

790-1090

HB1034/HB2034

350

5400/3600

0.2%

16bits

<0.04 nm/

HB1054/HB2054

500

4300

0.2%

HB1094/HB2094

500

3800

0.2%

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