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光学基底材料,表面公差,镜片面型和划痕缺陷桂标准规格,Layertec镜片产品参数规格

作者:维尔克斯  时间:2026-1-21 17:51:02

LAYERTEC精密光学制造中心可加工多种光学元件,包括采用熔融石英制成的平面与球面反射镜基片,以及透镜、棱镜等组件,同时还支持N-BK7等常用光学玻璃,以及氟化钙、YAG(钇铝石榴石)等晶体材料。下文将系统介绍其标准基片在基材类型、镜面面型、尺寸范围、表面形状公差及划痕/缺陷等级等方面的技术规范,并进一步解析Layertec反射镜及激光反射镜的型号含义与命名逻辑,帮助您在丰富的产品型号中高效、准确地完成选型。

不同材质的表面形状公差,参考波长546nm(Surface Form Tolerances):

材质

形状

标准规格

定制

熔融石英

平面、球面

λ/10、λ/10 reg.

λ/30、λ/30 reg. (Ø < 51 mm)

ULE和Zerodur

平面、球面

λ/10、λ/10 reg.

λ/30、λ/30 reg. (Ø < 51 mm)

N-BK7

平面、球面

λ/10、λ/10 reg.

λ/30、λ/30 reg. (Ø < 51 mm)

氟化钙

平面(Ø<26 mm/51mm)、球面

λ/(10/4)、λ/4 reg.

λ/(20/20)、λ/20 reg. (Ø < 51 mm)

蓝宝石

λ/10

λ/30

YAG

平面、球面

λ/10、λ/8 reg.

λ/30、λ/30 reg. (Ø < 51 mm)

平面、球面

λ/10、λ/8 reg.

λ/20、λ/20 reg. (Ø < 51 mm)

不同材质的表面缺陷公差(Surface imperfection tolerancesDefects):

材质

标准粗糙度

标准规格

熔融石英

< 0.2 nm

5/1×0.025 L1×0.004 Scratch-Dig10-3

ULE

< 0.2 nm

5/3×0.025 L1×0.004 Scratch-Dig10-5

Zerodur

< 0.4 nm

5/2×0.040 L1×0.004 Scratch-Dig10-5

N-BK7

< 0.3 nm

5/1×0.040 L1×0.004 Scratch-Dig10-5

氟化钙

< 0.3 nm

5/1×0.04 L5×0.006 Scratch-Dig20-5

蓝宝石

< 0.3 nm

5/1×0.025 L10×0.004 Scratch-Dig20-3

YAG

< 0.2 nm

5/1×0.025 L2×0.004 Scratch-Dig20-3

< 0.3 nm

5/3×0.025 L10×0.004 Scratch-Dig10-5

材质

定制粗糙度

定制规格

熔融石英

< 0.15 nm

5/1×0.016 L×0.005 Scratch-Dig10-3

ULE

< 0.2 nm

5/3×0.025 L1×0.004 Scratch-Dig10-5

Zerodur

< 0.3 nm

5/2×0.040 L1×0.004 Scratch-Dig10-5

N-BK7

< 0.2 nm

5/1×0.040 L1×0.004 Scratch-Dig10-5

氟化钙

< 0.2 nm

5/1×0.04 L5×0.006 Scratch-Dig20-5

蓝宝石

< 0.2 nm

5/1×0.025 L10×0.004 Scratch-Dig20-3

YAG

< 0.2 nm

5/1×0.025 L2×0.004 Scratch-Dig20-3

< 0.2 nm

5/3×0.025 L10×0.004 Scratch-Dig10-5

Layertec反射镜/激光反射镜所有规格依据ISO 10110标准(Ø 25mm)。所提及的划痕缺陷值大致等同于已纳入ISO-10110的美国军用标准MIL-O-13830。

Layertec反射镜/激光反射镜产品型号描述例:

Fused silica(基底材料) | plane(镜片面型) | 20.0(±0.1)mm x 10.0(±0.1)mm(尺寸) | t=2.0(±0.1)mm (厚度)| //<5min(平行度)

S1: Øe17x8.5(通光孔径) | 3/-(0.5) [L/4 reg.](表面形状公差) | 5/2x0.04; L1x0.004(划痕缺陷) | chamfer 0.2(倒角) uncoated

S2(^): Øe17x8.5 | 3/-(0.5) [L/4 reg.] | 5/2x0.04; L1x0.004 | chamfer 0.2

HRs(55.6°,261-271nm)>99.8% + Rp(55.6°,522-542nm)<0.2%

材料:熔融石英;面型:标准平面基片;表面形状公差:不规则性(λ/2)*0.5=λ/4;划痕缺陷:总表面挖痕不超过2次,其中任意单个挖痕的最大面积不超过0.04×0.04mm²,大于2mm的划痕不超过1处,该划痕的宽度不超过4um


基底材料(Material):

-熔融石英(Fused Silica):康宁7980Corning 7980)或同等光学玻璃

-用于近红外高功率应用的熔融石英:Suprasil 300/3001/3002/康宁7979或同等光学玻璃

-紫外熔融石英(准分子级别):SQ1E-193SQ1E-248

-红外熔融石英:Infrasil 302或同等光学玻璃

-超低膨胀玻璃(ULE

-肖特微晶玻璃(Zerodur

-N-BK7或同等光学玻璃

-氟化钙(CaF2):单晶,随机取向,准分子级别(248nm193nm

-蓝宝石(Sapphire):单晶,C-cut

-钇铝石榴石(YAG):未掺杂,单晶,随机取向


镜片面型与平行度(Shape):

平面基片、平行板与楔形板

-标准平面基片(plane):楔角<5arcmin

-标准平行板(parallels):楔角<1arcmin<10 arcsec

-标准楔形板(wedges):楔角=30arcmin=1deg


平凹与平凸基片

-标准曲率半径:25,30,38,50,75,100,150,200,250,300,400,500,600,750,1000,2000,3000,4000,5000mm


尺寸(Size):

-熔融石英、ULEZerodur:直径3-600mm

-氟化钙、蓝宝石:直径3-50.8mm

-YAG:直径3-38.1mm

公差(Tolerances:

-直径:+0mm,-0.1mm

-厚度:±0.1mm

-通光孔径:尺寸中央的85%

-倒角:0.2-0.4mm45°


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