作者：维尔克斯 时间：2026-9-21 16:34:07
工业级连续深紫外激光器和单频连续波DUV激光器在半导体检测、光谱分析及精密制造中的需求日益旺盛，但传统气体激光器体积大、维护难、成本高。TOPTICA TopWave DUV系列全固态连续波深紫外激光器凭借超过15年的频率转换技术积累，采用密封紫外光路与自动化光学移位器，典型寿命超过10,000小时，覆盖266nm、257nm、229nm三种波长，输出功率从10mW到300mW，广泛用于深紫外拉曼/荧光光谱、半导体晶圆检测、光纤布拉格光栅刻写、光刻、光学元件检测及光致发光测量等。其交钥匙式集成设计、传导冷却（无需水冷）及低于250 W的功耗，在保证卓越光学性能的同时，显著降低了用户的购置与运行成本。
图：工业级连续深紫外激光器/单频连续波DUV激光器
TopWave 257-015
应用：光学检测，半导体检测，光刻，光纤布拉格光栅刻写
特点：
-输出功率 15 mW，波长 257 nm
-最高电光转换效率 ⇒ 低综合运行成本（CoO）
-窄线宽，长相干长度（> 100 m）
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参数 |
TopWave 257-015 |
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输出功率 |
15mW |
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波长 |
257nm±0.5nm |
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线宽 |
<1MHz |
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光束腰直径（@1m，1/e²） |
0.4mm±0.2mm |
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光束发散角（全角） |
<1.2mrad |
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椭圆度 |
0.9~1.1 |
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光束指向稳定性（1） |
<±5μrad |
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横模 |
TEM₀₀ |
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M²因子 |
<1.3（X轴Y轴） |
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偏振 |
线偏振，垂直±3° |
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偏振消光比 |
>200:1 |
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功率稳定性（8h） |
<2% |
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RMS噪声（10Hz~10MHz） |
<1% |
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寿命（2）（最低/典型） |
3,000h/10,000h |
（1） 8小时内均方根值，环境温度漂移小于 ±1 K。
（2） 配合光学移位器使用时。
TopWave 229-010
应用：DUV拉满光谱，DUV原生荧光，蛋白质检测，光致发光（PL）
特点：
-228.5nm，10mW
-窄线宽(< 1 MHz ≙ < 4x10-5 cm-1)
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参数 |
TopWave 229-010 |
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输出功率 |
10mW |
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波长 |
228.5nm±0.5nm |
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线宽 |
<1MHz |
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光束腰直径（@1m，1/e²） |
0.4mm±0.2mm |
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光束发散角（全角） |
<1.2mrad |
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椭圆度 |
0.9~1.1 |
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光束指向稳定性（1） |
<±5μrad |
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横模 |
TEM₀₀ |
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M²因子 |
<1.3（X轴Y轴） |
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偏振 |
线偏振，垂直±3° |
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偏振消光比 |
>200:1 |
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功率稳定性（8h） |
<2% |
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RMS噪声（10Hz~10MHz） |
<1% |
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寿命（2）（最低/典型） |
3,000h/10,000h |
（1） 8小时内均方根值，环境温度漂移小于 ±1K。
（2） 配合光学移位器使用时。
TopWave 266-150/TopWave 266-300
应用：半导体检测，拉曼光谱与显微成像，光纤布拉格光栅刻写，光刻，盘片母版制作，光学检测，光致发光（PL）
特点：输出功率 300 mW，波长 266 nm
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型号 |
TopWave 266-150/TopWave 266-300 |
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输出功率 |
150mW/300mW |
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波长 |
266nm±0.5nm |
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线宽 |
<1MHz |
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光束腰直径@1m（1/e²） |
0.4mm±0.2mm |
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光束发散角（典型值） |
<1.2mrad |
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椭圆度 |
<15% |
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光束指向稳定性（1） |
<±5μrad |
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横模 |
TEM₀₀ |
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M²因子 |
<1.3（X轴Y轴） |
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偏振 |
线偏振，垂直方向<±3° |
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偏振消光比 |
>200:1 |
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功率稳定性 |
<1%（8小时内） |
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RMS噪声 |
<0.3%（10Hz~10MHz） |
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寿命（2）（最低/典型） |
5,000h/10,000h（配合光学移位器使用） |
（1） 8小时内均方根值，环境温度漂移小于 ±1 K。
（2） 配合光学移位器使用时。
266nm激光器/257nm激光器/229nm激光器尺寸与电气规格（通用）
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参数 |
规格 |
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激光头尺寸（高×宽×深） |
135×295×470mm³ |
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控制单元尺寸（高×宽×深） |
154×378×448mm³ |
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连接线缆长度 |
2m |
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工作温度范围 |
20°C~30°C，稳定至±1°C，无冷凝 |
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存储与运输温度 |
-10°C~+50°C，无冷凝 |
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激光头冷却方式 |
传导冷却（需提供足够散热面） |
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控制单元冷却方式 |
风冷（1） |
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供电电压 |
AC100-240V，50/60Hz |
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功耗 |
<250W（典型<120W） |
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通信接口 |
Ethernet，USB |
（1） 需提供足够的散热片。可选配闭环冷却板（含冷却液循环器），详情请咨询。
TOPTICA TopWave DUV系列工业级连续波深紫外激光器，凭借其密封紫外光路+自动光学移位器的创新设计，成功将工业级可靠性（>10,000h寿命）与科研级光学性能（M²<1.3，线宽<1MHz，RMS噪声<0.1%）融为一体。
该系列266nm激光器、257nm激光器、229nm激光器覆盖三个关键深紫外波长，功率从10mW至300mW灵活可选，能够全面满足深紫外拉曼/荧光光谱、半导体晶圆检测、光纤光栅刻写、光学元件测试及光致发光等多种高端应用需求。
其交钥匙式操作、传导冷却、低功耗（<120W典型）以及无需水冷的便捷设计，显著降低了系统集成的复杂度和全生命周期运行成本，是替代传统气体深紫外激光器的理想选择。无论是面对严苛的工业生产线，还是高要求的科研实验室，TopWave DUV系列都能让用户将更多精力专注于应用本身，而非光源的维护与调试。
工业级连续深紫外激光器/单频连续波DUV激光器共同特点：
-超稳定、低噪声连续波（CW）运转
-优异的寿命（典型值 > 10,000 小时）
-全寿命周期内保持一致的光束质量（M² < 1.3）
-密封倍频腔（SUV），配备自动光学移位器
-交钥匙式（即插即用）用户友好型系统
