作者：维尔克斯 时间：2026-9-22 4:10:21
266nm位于深紫外（Deep-UV）波段，是Nd:YAG激光器四倍频的典型输出波长，即由1064nm基频光经四倍频转换得到。该波段光子能量高（约4.66 eV），穿透深度浅，且能被大多数材料强烈吸收，因此在工业检测、科学研究及先进制造等领域具有不可替代的地位。我司代理行业领先的三大品牌的连续波266nm激光器/深紫外连续激光器，德国CryLaS的FQCW266系列，德国TOPTICA的TopWave 266系列，以及日本OXIDE的Frequad（包含Frequad-C，Frequad-M，Frequad-HP）系列。
德国CryLaS FQCW266系列
CRYLAS FQCW266系列是二极管泵浦的连续波单频固体激光器（DPSS CW Single Frequency），覆盖 10 mW 至 1200 mW 功率范围，以超窄线宽（<300 kHz）、高相干长度（>1000 m）和优异的频率稳定性为核心竞争力。型号包括：FQCW266-10、FQCW266-25、FQCW266-50、FQCW266-100、FQCW266-200、FQCW266-300、FQCW266-600、FQCW266-1200
图：FQCW266-1200 266nm连续激光器实物图
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型号 |
FQCW266-300/600/1200 |
FQCW266-10/25/50/100/200 |
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波长 |
266±0.2nm |
266±1nm（10/25）266±0.2nm（50/100/200） |
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标称输出功率 |
300/600/1200mW±5% |
10±1/25±2/50±2/100±3/200±5mW |
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输出功率可调范围 |
30-300/60-600/120-1200mW |
2-12/3-30/5-50/10-110/20-220mW |
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线宽 |
<300kHz |
<300kHz |
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相干长度 |
- |
>1000m |
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光束质量M2（平均） |
TEM00，<1.3 |
TEM00，<1.3 |
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光束质量M2（水平/垂直） |
TEM00，<1.2（水平）/<1.35（垂直） |
- |
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偏振方向和纯度 |
垂直，>500:1 |
垂直，>100:1 |
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光束直径mm |
1.1±0.2 |
0.6±0.1 |
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光束发散角 |
＜0.45mrad |
＜0.8mrad |
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静态对准容差（横向） |
±0.25mm |
±0.25mm |
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静态对准容差（角度） |
±2.5mrad |
±2.5mrad |
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点间光束指向偏差 |
±200μrad |
±360μrad（50/100/200）-（10/25未列） |
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光束指向稳定性 |
- |
<3μrad/K，<3μrad/h |
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功率稳定性（0.5Hz/8h） |
<0.2%RMS |
＜2%rms(10/25),＜0.3%rms(50/100/200) |
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功率噪声（1Hz–100kHz） |
<1%RMS |
- |
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功率噪声（100kHz–250MHz） |
<0.2%RMS |
- |
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典型预热时间（最大） |
<45min |
<15min（10/25）15min（典型）/30min（最大）（50/100/200） |
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自动晶体移位器（ACS） |
有 |
无（10/25）/有（50/100/200） |
266nm连续激光器/266nmCW激光器主要应用领域
-半导体晶圆检测（Semiconductor Wafer Inspection）：266 nm 激光可有效检测晶圆表面的纳米级缺陷（颗粒、划痕、图案缺陷），短波长提供更高的光学分辨率，且对光刻胶等材料具有良好的对比度。
-光刻掩模版/光罩检测：深紫外光源用于检测掩模版上的微小缺陷，确保光刻工艺的良率。更短的波长能够分辨更小的特征尺寸。
-拉曼光谱与显微：266 nm 激发波长属于深紫外拉曼（DUV Raman），可有效避开荧光背景干扰，获得高质量的光谱信号，适用于生物、化学及材料分析。
-紫外光谱分析、光致发光、光刻原型
德国TOPTICA TopWave 266和日本OXIDE Frequad系列
德国TOPTICA TopWave 266是工业级连续波266nm激光器/深紫外连续激光器，提供 150 mW 和 300 mW 两种功率选项，以密封倍频腔设计、自动光学移位器、超长寿命（>10,000 小时）和低噪声运行为核心优势。其型号包含：TopWave 266-150、TopWave 266-300
日本OXIDE Frequad 系列分为三个子系列：Frequad-C（紧凑型，20/50 mW）、Frequad-M（水冷中高功率型，0.3–2.0 W）、Frequad-HP（风冷高功率型，1/2 W），覆盖从 20 mW 至 2 W 的宽功率范围，以紧凑尺寸、无需水冷（C系列和HP系列）和多功率选项为核心优势。其型号包含：Frequad-C、Frequad-M、Frequad-HP。
图：OXIDE Frequad-HP和TOPTICA TopWave-266 266nmCW激光器实物图
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型号 |
TopWave 266-150/266-300 |
Frequad-HP/Frequad-M/Frequad-C |
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输出功率 |
150mW/300mW |
20mW-2.0W |
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波长 |
266nm±0.5nm |
266nm |
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线宽 |
<1MHz |
<0.005pm |
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光束腰直径@1m（1/e²） |
0.4mm±0.2mm |
3mm±0.3mm（HP、M）；0.8mm±0.2mm（C） |
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光束发散角 |
<1.2mrad（典型值） |
<0.2mrad（HP、M）；<0.4mrad（C） |
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椭圆度 |
<15% |
- |
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光束指向稳定性 |
<±5μrad |
- |
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横模 |
TEM₀₀ |
- |
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M² |
M²×1.3 |
M²<1.2（HP、M）；M²<1.3（C） |
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偏振 |
线偏振，垂直<±3° |
- |
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偏振消光比 |
>200:1 |
>100:1 |
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功率稳定性 |
<1%（8小时内） |
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RMS噪声 |
<0.3%（10Hz-10MHz） |
- |
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寿命（最小/典型值） |
5000h/10000h（带光学件移位功能） |
- |
综上，CryLaS FQCW266系列的核心优势在于超窄频率线宽（<300kHz）、高偏振纯度（>500:1）及自动晶体移位器（ACS）保障的16,000小时长寿命，全系传导冷却，低功率型号（10–200mW）拥有>1000m相干长度且体积紧凑，适合频率精密测量和长光程干涉；TOPTICA TopWave 266系列凭借密封倍频腔（SUV）与自动光学移位器实现>10,000小时典型寿命和全生命周期M²<1.3光束质量一致性，噪声低至<0.1%RMS，是工业级高可靠性和低噪声运行的代表；OXIDE Frequad系列以最宽功率覆盖（20mW–2.0W）通过三个子系列差异化布局——Frequad-C（20/50mW）尺寸最小（153×202×79mm）、功耗<70W且无需水冷和CDA，Frequad-M（0.3–2.0W）水冷满足高功率需求，Frequad-HP（1.0/2.0W）风冷平衡功率与散热，其<0.005pm波长线宽和M²<1.2光束质量在光谱分析和微细加工中优势显著。
