简述LIDT 15J/cm²，99.9%的混合式反射镜与紫外/红外, 紫外/可见光二向色分光镜，美国Acton

作者：维尔克斯时间：2026-10-20 11:20:13

美国Teledyne Acton Optics是真空紫外（VUV）与准分子激光光学元件领域的知名品牌，产品涵盖120–1064 nm紫外反射镜、氟化钙激光窗片、193 nm ArF光刻镜片及探测器紫外增强特种镀膜。其激光损伤阈值高，镀膜稳定性和耐环境性能优异，广泛用于半导体深紫外光刻、准分子激光器和科研光谱设备，是深紫外精密光路进口元器件的主流选型品牌。下面介绍美国Acton Optics的紫外二向色镜和混合式激光反射镜。

美国Acton紫外反射镜基板规格：

规格	参数
材料	紫外级熔融石英
直径公差	+0.00/-0.005”
厚度公差	+/-0.25mm
表面质量	Side 1: 1/10 Wave @ 632.8nm
平行度	3 arc min
划痕-麻点	20-10
倒角	0.5mm x 45°
有效孔径	Central 85%

二向色镜Dichroic Mirrors：

紫外/可见光二向色镜：

UV/VIS二向色镜具有特殊的多层介质膜，可在反射主要紫外激光波长的同时，保持良好的宽带可见光/近红外光透射率。紫外/可见光二向色镜通常用于光束合束或光束分离。下文列出的标准紫外二向色镜采用紫外级熔融石英基板，并针对45°入射角进行了优化，其他入射角可根据要求提供。此外，还提供145nm至约355nm范围内的其他紫外反射波长。

紫外/红外二向色镜：

UV/IR二向色镜Dichroic Mirrors的设计旨在反射紫外激光波长，同时透射红外波长。这些镀膜采用经过特殊改性的多层介质设计，通过电子束沉积工艺沉积在高品质的CaF₂基板上。紫外/红外二向色镜可反射下文指定的紫外波长，且有效透射波长范围可达约8um。

Acton紫外反射镜/紫外二向色镜Dichroic Mirrors的型号参数表：

波长	反射率%	1英寸型号	1.5英寸型号	2英寸型号	基底材质
193nm	≥ 94%	193/V-FR45-1D-MB	193/V-FR45-1.5D-MB	193/V-FR45-2D-MB	熔融石英
212nm	≥ 95%	212/V-FR45-1D-MB	212/V-FR45-1.5D-MB	212/V-FR45-2D-MB	熔融石英
248nm	≥ 96%	248/V-FR45-1D-MB	248/V-FR45-1.5D-MB	248/V-FR45-2D-MB	熔融石英
266nm	≥ 96%	266/V-FR45-1D-MB	266/V-FR45-1.5D-MB	266/V-FR45-2D-MB	熔融石英
308nm	≥ 96%	308/V-FR45-1D-MB	308/V-FR45-1.5D-MB	308/V-FR45-2D-MB	熔融石英
353nm	≥ 98%	353/V-FR45-1D-MB	353/V-FR45-1.5D-MB	353/V-FR45-2D-MB	熔融石英
193nm	≥ 94%	193/IR-FR45-1D-FLC	193/IR-FR45-1.5D-FLC	193/IR-FR45-2D-FLC	CaF2
212nm	≥ 95%	212/IR-FR45-1D-FLC	212/IR-FR45-1.5D-FLC	212/IR-FR45-2D-FLC	CaF2
248nm	≥ 96%	248/IR-FR45-1D-FLC	248/IR-FR45-1.5D-FLC	248/IR-FR45-2D-FLC	CaF2
266nm	≥ 96%	266/IR-FR45-1D-FLC	266/IR-FR45-1.5D-FLC	266/IR-FR45-2D-FLC	CaF2
308nm	≥ 96%	308/IR-FR45-1D-FLC	308/IR-FR45-1.5D-FLC	308/IR-FR45-2D-FLC	CaF2
353nm	≥ 98%	353/IR-FR45-1D-FLC	353/IR-FR45-1.5D-FLC	353/IR-FR45-2D-FLC	CaF2

Acton紫外反射镜/紫外二向色镜的镀膜曲线：

左图：248nm(248/V-FR45) 紫外/可见光二向色镜的反射率曲线

右图：308nm(32/IR-FR45) 紫外/红外二向色镜的反射率曲线

Nd:YAG混合式激光反射镜Nd:YAG Hybrid Laser Mirrors：

美国Teledyne Acton Optics的“混合型”355nm Nd:YAG镀膜融合了在镀膜沉积和工艺控制方面的丰富专业知识，从而制备出能够承受高功率和高重复频率的镀膜。Hybrid（混合）代表其复合优化型多层介质镀膜工艺，解决了高重频、高峰值功率紫外激光下镀膜易损伤、反射稳定性差等缺点，是工业高功率紫外激光光路核心高反镜元件。

这些镀膜在高达100kHz的重复频率下，经受住了15.27J/cm²的激光损伤阈值测试，并提供正常入射和45°入射角（AOI）两种规格。

波长	反射率%	1英寸型号	1.5英寸型号	损伤阈值
355nm@正常入射	99.9%	M355-FR-HY-1D-MB	M355-FR-HY-2D-MB	>15J/cm2*
355nm@45° AOI	≥ 99%	M355-FR45-HY-1D-MB	M355-FR45-HY-2D-MB	>15J/cm2*

* 镀膜速率最高可达 100 kHz

注：镀膜可应用于Teledyne Acton Optics标准基材、定制基材以及客户提供的材料（CSM）。

混合式激光反射镜的镀膜曲线：

左图：355nm全反射镜正常入射反射率曲线图右图：355nm 45°全反射镜反射率曲线图

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