248nm偏振分光棱镜_紫外熔融石英消光比>100:1

        248nm PBS（偏振分光棱镜）是248nm紫外光学系统中实现偏振光分离与合成的核心元件，常用于KrF准分子激光、紫外光刻、激光退火、光纤光栅刻写及紫外材料加工。Lattice Electro Optics（LEO）的248nm偏振立方体PBU-248系列以紫外熔融石英为材料，通过光胶工艺将两个直角棱镜组合，并在斜面镀制紫外介质偏振分光膜；其P光透过率Tp＞90%，S光反射率Rs＞99%，消光比Tp/Ts＞100:1，波前畸变λ/4（632.8nm测试），表面质量20-10 scratch-dig，提供0.5英寸和1英寸两种尺寸，并有覆盖252nm至355nm等多个紫外波长的型号，适用于各类紫外激光系统中的偏振控制、分光与合束。

LEO PBU偏振分束立方体规格参数

产品图片（以实物为准）

紫外偏振分束立方体PBU，Tp＞90%，消光比＞100:1

Lattice Electro Optics（简称LEO）公司提供的248nm PBS（Polarizing Beamsplitter Cubes，简称PBU）是专为紫外波段设计的偏振分光棱镜，其中248nm偏振立方体PBU-248系列针对KrF准分子激光优化，中心波长覆盖248nm、252nm、257nm、266nm、308nm、325nm 和355nm 等常用紫外激光谱线。该偏振分光棱镜由两个直角棱镜通过光胶（optical contact）工艺组合而成，其中一个棱镜的斜面上镀有紫外介质偏振分光膜。当入射光到达分光膜时，S偏振光（振动方向垂直于入射面）被高反射膜以90°角反射，P偏振光（振动方向平行于入射面）则沿原方向高透射出，从而将一束光中的两种正交偏振态分离为传播方向互相垂直的两束线偏振光。

PBU光路示意图

与常见的胶合型偏振分光棱镜不同，PBU系列采用光胶工艺将两个棱镜结合，不使用光学胶层。光胶结构在紫外波段具有明显优势：一方面避免了胶层在深紫外波段的吸收和老化问题，另一方面能够承受更高的激光功率密度，抗损伤阈值更优。对于266nm波长、10ns脉冲激光，典型损伤阈值可达10-20mJ/cm²，适用于准分子激光、Nd:YAG四倍频紫外激光等脉冲激光系统。

248nm PBS的基体材料为紫外熔融石英（UV Fused Silica），在深紫外到近红外宽光谱范围内均有良好透过率，且热膨胀系数低、双折射小、机械性能稳定，是紫外偏振光学元件的常用基底材料。需要说明的是，受紫外波段可用镀膜材料限制，紫外偏振分束立方体的消光比通常在100:1量级，低于可见和近红外波段PBS常见的1000:1以上水平，这是材料物理特性决定的，属于紫外偏振元件的正常指标范围。

标准产品提供0.5英寸（12.7mm）和1英寸（25.4mm）两种外形尺寸，尺寸公差±0.02英寸，通光孔径大于中心圆形区域的80%。透射波前畸变为λ/4（测试波长632.8nm），表面质量20-10 scratch-dig。在设计波长处，P光透过率Tp＞90%，S光反射率Rs＞99%，消光比Tp/Ts＞100:1。

使用时，入射光应从镀有偏振分光膜的那个棱镜的直角面正入射，使光先到达分光膜面再穿过光胶界面出射，减少不必要的界面反射。由于偏振分光膜的光谱特性与入射角密切相关，应避免大角度偏离导致消光比下降和工作波长漂移。与平板分束镜相比，248nm偏振立方体结构的出射光与入射光共轴（透射光）或严格垂直（反射光），光束无偏移、光路对称，安装调整方便。

PBU系列型号对照表

248nm PBS适用于KrF准分子激光系统中的偏振输出与反馈控制，该偏振分光棱镜也可用于紫外激光打标与加工设备中的偏振调控、偏振敏感测量仪器、椭偏仪与偏振分析装置。248nm偏振立方体在荧光检测、拉曼光谱、紫外光刻等系统中，可用于将激发光与信号光按偏振态分离或合束。选用时需确认工作波长与对应型号一致，入射光沿光轴正入射，并根据激光脉冲宽度和能量确认损伤阈值是否满足系统要求。