作者：维尔克斯 时间：2022-6-20 10:15:17
LASEROPTIK使用专门的设备对大型光学器件进行电介质镀膜，样品的长度可达2米（长轴为矩形）或直径为550毫米（圆形），在整个表面具有卓越的光谱均匀性和高LIDT值。自动超声波和手动清洗程序保证了即使在这些大规模的几何形状上也有最佳的清洁度。下表列出了可能的尺寸。
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镀膜技术 |
矩形长轴 |
矩形短轴 |
圆形 |
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IBS |
2000mm |
250mm |
550mm |
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IAD |
1200mm |
100mm |
350mm |
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EBE |
940mm |
80mm |
500mm |
*在长轴的给定最大值下，可以用较短的长轴来做大
大面积矩形镀膜
对于矩形的基材，无论是平面的还是弯曲的，LASEROPTIK可以通过使用离子束溅射（IBS）为世界上最大的激光镜镀膜（长度可达2000毫米）。这种方法通常以生产最高质量的薄膜而闻名，但只是在小范围内。然而，通过重新定义一个先进的基片运动，LASEROPTIK发现了一种用于长距离光学镀膜的独特方法，并已获得专利。目前，已经有两台定制的机器能提供这种独特的工艺。
对于长度达2000毫米的光学器件，中心波长的差异可以达到±1%以下。下面的8条测量曲线显示了一个大型光学器件（长轴>1300毫米）的优异均匀性，该光学器件上涂有IBS宽带AR。
大型光学元件上的IBS涂层的均匀性（BBAR342-412nm/0°）
涂层的均匀性是工业激光器应用的一个关键因素，例如，用于激光光束扩展和传输系统。涂层设计、机器的内部结构和原位过程控制有助于将梯度效应降到最低。均匀性也可以适应曲率半径，例如使用圆柱形透镜。
“Maxima”，用于大型光学元件（长形）的专利IBS镀膜机
大面积圆形镀膜
与矩形基材一样，如果是标准的涂层要求，圆形光学器件也可以用IAD和EBE进行涂层。当涉及到复杂的镀膜设计和卓越的光谱性能时，就只能使用IBS进行镀膜。LASEROPTIK有商业化的镀膜系统，适用于直径400毫米以下的基材、在运行中可以达到直径550毫米的定制机器，或者适用于载体行星上的矩形装配镀膜。
这些专门的机器还可以使用三种或更多的涂层材料来进行镀膜，这对在实现最高LIDT的先进薄膜设计有很大帮助。这种镀膜技术对于高能量的激光研究，也就是所谓的petawatt和激光核聚变项目至关重要。大型圆形光学器件的另一个常见用途是引力波研究。探测器的灵敏度取决于端面镜的完美程度，也就是说，必须将总损耗和布朗噪声降到最低才能实现这一点。因为IBS的低损耗涂层符合陀螺仪应用的标准，所以IBS非常适合应用在引力波研究。
为支持这一创新设备，我们建立了独立的无尘室环境，有专门的检测计量、光学清洗和退火解决方案。它是一个专门处理大型圆形和矩形光学器件的部门的一部分，它能满足对LIDT、低损耗和光谱性能的最高要求。
对整个尺寸进行空间分辨的质量检查，以检查表面缺陷和光谱性能，包括干涉检查。大型光学器件被放置在定制的起重或搬运工具中，用于检查、运输和固定在镀膜机上。
“Teresa”，最大的IBS机器，适用于最大Ø550mm的基材
