美国Opto Diode极紫外光电二极管使用手册

Opto Diode AXUV、UVG、SXUV系列EUV光电探测器适用于空气、氩气、氮气等环境气体或真空条件下低于10-10托。这些极紫外光电二极管可以真空烘烤到150°C。操作可以发生在-20°C~80°C的真空或环境气体。

如果保护盖已被拆除，建议在放入测量系统之前检查打开的设备。通过二极管的引线连接到皮安计或静电计的正极和负极，并将二极管暴露在室内灯光下。例如，一个未涂覆的1cmx1cm光电二极管可以根据光强的不同应该产生数十到有数百微安输出电流。同样大小的滤光光电二极管在相同的光照条件下只能产生几个纳米安培。如果没有足够的室内光线，也可以使用台灯或手电筒。万用表不会给光电二极管有意义的电阻读数，不应该用于确定设备在任何模式下的功能。

为避免光发射电流对光产生电流的贡献，应从二极管的p区(阳极)读取信号，n区(阴极)接地。当探测器未按所述连接时，AXUV光电探测器在70nm到140nm区域中发现了显著的光发射电流贡献。

EUV光电二极管所使用的真空系统内的可凝聚体必须保持在尽可能低的水平。沉积在二极管上的表面薄膜会吸收辐射，甚至会发出荧光。在这两种情况下，与XUV辐射的相互作用会导致器件效率不可逆的变化，从而产生永久薄膜。

对于无窗极紫外EUV光电探测器，必须采取预防措施，不要呼吸、打喷嚏或触摸设备的活动区域。如果意外的活动区域被污染，表面可以用沾有电子级丙酮或酒精的洁净室拭子清洁。注意:EUV光电二极管的连接点很浅，剧烈擦拭可能会损坏器件。只使用轻柔的擦拭动作。所有经过过滤的带碳和硅钝化涂层的二极管也可以用同样的方法清洗。对于其他经过过滤的二极管，在尝试清洗之前请与工厂联系。

必须小心，以避免干扰连接光电二极管模和封装引脚的精密线键。如果电线被向下推到模具上，就会导致短路。可以用细线或针轻轻地将芯片上的粘结剂剥离。不是所有的零件都能在断线的情况下返工。如果电线被用户损坏，保修无效。

一些EUV光电二极管在线键上设计有保护环氧树脂。保护环氧树脂将防止电线在非常轻的意外刷线键断裂。然而，强烈的热变化，如淬火或瞬时包层，可能导致电线断裂，这是由于电线和环氧树脂之间的热膨胀系数(TCE)的差异。确保具有此功能的产品仅在规定的温度范围内使用，且不受热应力的影响。

通过施加一个小的反向偏置电压，可以使EUV探测器的线性范围可以增加几倍。在高辐射条件下，二极管的饱和水平可以通过增加电流来提高，通常应用1至2伏特。在极高的辐射环境中，某些极紫外光电探测器可以偏置到100V，以在线性范围内工作。在连续波模式下测量时，使用由电压源、极紫外光电二极管和电流测量装置组成的简单串联电路。始终以反向偏置模式操作EUV光电探测器。在正向模式下工作可能会损坏检测器。在进行脉冲能量测量时，建议使用外部偏压三通，如BT250。

当使用小有源面积EUV光电二极管时，如果需要绝对测量，那么必须将总光能包含在有源区域内。当二极管过度填充，或在以淹没模式使用时，如果光束击中二极管外围，在该区域存在较小的未知量子效率。可用大有源面积的探测器测量大能量束。

Opto Diode EUV光电二极管只能按照个别数据表上的说明进行连接。大多数器件可以直接焊接到引脚上，同时遵循规定的温度限制和持续时间。焊剂会污染光电二极管，所以在焊接和清洗过程中，重要的是留下保护窗口。所有助焊剂在使用前都应该从包装上清洗干净，使用地塞米松水、酒精或适当丙酮清洗。