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美国Advance Reproductions高精度光掩膜板的介绍

作者:维尔克斯  时间:2024-6-7 9:23:03

Advance Reproductions的光掩膜和光刻,照相制版领域的技术全球范围内相当领先。他们强大,开发创造能力强的团队在世界范围内都具有影响力,依靠这只团队,Advance Reproductions一直为客户提供高精度,高速度的解决方案,如果您有掩膜版应用的需要,Advance Reproductions一定是您的不二选择

Advance Reproductions,对客户秉持着"能做就做"的态度,以实现光刻、光掩膜和照相制版服务的紧凑周转时间和始终如一的高质量水平。Advance在光刻服务领域不仅处于领先地位,还一直坚持诚信、开放的客户沟通和服务理念。


为什么选择Advance光刻技术(photolithography)

最严格的公差:Advance提供的成像解决方案具有亚微米级的几何尺寸,可满足大面积(>1M)最严格的公差要求。

创造性思维:Advance光刻团队拥有罕见的创造性思维能力,能够通过创新的定制解决方案解决客户面临的挑战。

值得信赖的性能:在生产环境中,Advance的每个光掩膜解决方案都能达到预期性能,值得信赖。

推动未来光刻技术的发展:Advance继续对先进的光掩膜设备和技术进行资本投资,以精确、快速地满足各种应用要求。


精密成像技术是每个Advance光掩膜(photomasks)解决方案的核心,Advance能够满足甚至超越对高质量精密光刻掩膜板的要求。Advance 为客户的专业产品和应用提供始终如一、值得信赖的性能,为各种市场合作开发创造性的解决方案,如MEM、半导体、化学蚀刻制造、大学研究、医疗、微流体、汽车、航空航天等。无论在哪个应用领域,用户都可以选择Advance 提供的创新光掩膜板解决方案。


光掩膜(photomasks)的特征:

- 完整的CAD和数据编辑服务

- 自动视觉检测

- 定制计量报告

- 小至0.75um的几何尺寸

- CD公差达±0.15um

- 定制玻璃精加工解决方案

- 提供多种金属化镀膜

- 光学镀膜


可用于:

玻璃尺寸从3英寸到32英寸不等

各种基底材料:石英、熔融石英、钠钙、硅酸铝等

玻璃涂层:铬、氧化铁、铝、钛、金和乳液

板厚:0.020英寸至0.400英寸(10mm

内部计量:600mm范围内的NIST可追踪精度为±1 µm

工程服务:为任何光掩模应用定制加工和涂层

机器视觉检测:用于光掩模验证的自动视觉检测的先进技术


Advance Reproductions解决方案的常规信息:

- ARC鼓励使用ARC掩膜订购表(如下图)。

- 数据范围不能在光刻掩膜板从左到右10.0mm和从上到下6.5mm的范围内。

- 提供关键尺寸。

- 没有双重实体。

- 没有自交几何体。

- 仅供参考且不属于掩膜设计的数据应放在单独的非数据层上。

- 数据中的数据需要分层。 例如,在一个暗箱中放置一个透明窗口,定义外框的数据应在一个层面上,而定义内窗的数据应在另一个层面上。通常使用的术语是"油漆和划痕"Paint and Scratch)。

ARC掩膜订购表



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