使用NuVu公司EMCCD相机进行半导体检测和质量控制

EMCCD扫描相机作为加拿大NuVu Cameras公司的突破性产品，最主要的优势就是灵敏度，在较短的曝光时间和极低光照的条件下依旧保持成像的效率，在微光成像应用中是毫无疑问的领头产品，该相机高灵敏成像技术最开始源自于天文观测，后面经过不断的改良与商用性开发，目前已经较为成熟

对于要求苛刻的扫描应用，可以使用NuVu Cameras EMCCD相机。NuVu EMCCD相机可提供独特的延时积分TDI读数，通过以高线速率成像来缩短检测时间，并具有在紫外和可见光下工作的低光照水平所需的卓越灵敏度。这就使得EMCCD扫描相机非常适合用于高速检测和质量管理等工业应用。

高速检测：

NuVu Cameras EMCCD相机能在生产链中实施创新的延时积分TDI技术，大幅提高了可见光和紫外线的检测速度，同时还能保持高图像质量，没有任何模糊。

在不减慢或中断操作的情况下完成质量检测可能是一项具有挑战性的任务，因为传统的成像方法在高速下容易出现模糊。这意味着要么必须降低目标的速度，这使得检查成为限制因素，要么使用非常短的曝光，这会降低图像质量。而通过快速采集，信号在传感器上积累的时间更短，这会导致相机噪声在图像中占主导地位，从而使其不适合分析。

在标准快照成像失败的情况下，延时积分 （TDI） 可以大大提高移动物体的图像质量，而无需降低采集速率。延时积分（TDI）是一种专门的读出模式，与传统的快照成像相比，它优化了快速移动物体的成像，灵敏度更高。使用 TDI，相机读出过程与目标同步到相同的速度。只要目标在相机的视野中，相机就会积累信号，这导致有效曝光时间比快照成像长几倍。

随着 TDI 提高图像质量，相机的读出速率成为采集速度的限制因素。通过使用具有多个输出的CCD相机，允许并行像素读出，图像读出速度可以提高数倍，从而能够对高速目标进行成像。虽然 TDI CCD相机自1970年代以来就已经存在，但NuVu Cameras是第一家将该技术集成到EMCCD中的制造商，NuVu EMCCD相机具有显着更低的噪声和更快的读出率。NuVu Cameras的HNu TDI具有16个输出的传感器，所有输出均以30MHz读取，允许在可见光和紫外波长下具有高QE的高分辨率传感器上读取4.8亿像素/秒。结合NuVu Cameras的专利电子元件，可显著降低相机噪声，这创造了一种兼具高速和高灵敏度的成像解决方案，适用于从半导体检测到成像流式细胞术的各种应用。

质量管理：

以EMCCD扫描相机可用的最高帧率获得高质量图像，并受益于创新的延时积分TDI技术，以大幅增加快速移动目标的有效曝光时间。

对于许多制造商来说，质量控制是生产链的重要组成部分，因为它可以确保产品交付给客户时没有任何缺陷。然而，有效地观察复杂的样品可能具有挑战性，特别是当有限的光到达物体的某些区域或物体高速移动时。

通过电子倍增，与其他相机类型相比，EMCCD扫描相机中的读取噪声可以忽略不计。NuVu Cameras还通过对EMCCD电子器件的完全重新设计，降低了EMCCD中的主要噪声源，即时钟感应电荷。时钟感应电荷（CIC）是EMCCD 相机低成像中的重要噪声源。这些错误计数是在读取CCD时产生的，因为光电子被转移到存储区域或当它们通过EM寄存器时。虽然这些电荷在传统CCD中也会产生，但由于读出噪声和热噪声高出几个数量级，因此可以忽略不计。相比之下，EMCCD技术得益于EM增益，使读出噪声可以忽略不计，并且经过深度冷却，可显著降低热噪声。这意味着时钟感应电荷是大多数EMCCD采集中的主要噪声源。其结果是一个非常灵敏的成像解决方案，可以在更短的曝光时间内提供更高质量的图像。NuVu Cameras的专利电子元件允许以更高的帧速率驱动EMCCD扫描相机，以实现更快的快照成像，同时保持出色的灵敏度。NuVu EMCCD相机还具有延时积分TDI，其中相机与目标的运动同步读取。这导致了更长的有效曝光时间，从而收集了更多的信号，而无需任何模糊或跟踪。TDI是移动物体的理想成像方法，例如在传送带上生产。