作者：维尔克斯 时间：2024-9-19 10:27:15
PHASICS专业提供波前测量的解决方案，旗下产品波前分析仪SID4的测量波长覆盖UV到IR，190-5000nm和8-14μm，平行光源R-Cube提供高质量的365-3900nm准直光，这两个光源与波前分析仪的组成是PHASICS Kaleo套件，这套件具有成熟的光路测量方案和多种参数的测量能力，也可以根据实际需求选购其他配件
Kaleo Kit波前测量仪主要应用领域为：
-激光测量：M2，光束直径，泽尼克系数、波前像差、强度分布、束腰尺寸和位置
-光学计量：MTF，PSF，EFL，泽尼克系数，光学镜头/系统质量控制
-材料检测：表面质量（RMS，PtV，WFE），曲率半径
-生物应用：蛋白质等组织定量相位成像
-热成像分析，等离子体特征分析
这些测量参数都可以在Kaleo Kit配套软件中获得清晰可靠的结果展现。
以下为Kaleo Kit配套软件的部分可测参数指标展示：
根据光学设计文件，软件模拟测量平面中的标称相位，并传递残余波前误差（WFE）：
模拟波前Simulated wavefront 测量波前Measured wavefront 剩余波前 Residual wavefront
（Zemax的模拟结果） （具体的测量结果） （模拟波前-测量波前=残余波前误差）
离轴光路或任意频率光的MTF：
由泽尼克项表征的像差：
平行光源R-Cube配套Phasics SID4系列波前传感器可适用于各类镜片和大透镜像差测量、校准光学测试系统或自适应光学中的小型望远镜。平行光源R-Cube提供的高质量准直光束使得单次透反射、两次透射等不同测试光路中的波前测量变得简单而准确。
平行光源R-cube具体参数如下表：
|
适配SID4型号 |
SID4 UV / SID4 / SID4-HR / SID4-SWIR / SID4 SWIR-HR / SID4-DWIR |
|
光束直径 |
适应相关SID4波前传感器NA |
|
光源波长 |
365 / 405 / 530 / 625 / 740 / 780 / 810 / 850 / 940 / 1050 / 1550 / 3900 nm |
|
参考镜质量 |
λ/20 PV (632.8 nm) |
|
相位分辨率(噪声) |
＜2nmRMS |
PHASICS Kaleo波前测量仪套件中可选PHASICS SID4系列波前传感器具体参数如下：
|
SID4 型号 |
测量波段 |
靶面尺寸（mm²） |
空间分辨率 |
相位分辨率 |
相位精度 |
相位分辨率 |
真空兼容性 |
|
SID4 UV |
190-400nm |
7.8 × 7.8 |
26 μm |
300 × 300 |
20 nm RMS |
2 nm RMS |
- |
|
SID4 UV-HR |
190-400nm |
13.3 × 13.3 |
26 μm |
512 × 512 |
40 nm RMS |
2 nm RMS |
- |
|
SID4 HR V |
400-1100nm |
9.98 × 8.64 |
24 μm |
416 × 360 |
20 nm RMS |
2 nm RMS |
10 mbar |
|
SID4 |
400-1100nm |
5.02 × 3.75 |
27.6 μm |
182 × 136 |
10 nm RMS |
<2 nm RMS |
- |
|
SID4 HR |
400-1100nm |
9.98 × 8.64 |
24 μm |
416 × 360 |
20 nm RMS |
<2 nm RMS |
- |
|
SID4 UHR |
400-1100nm |
15.29 × 15.29 |
27.6 μm |
554 × 554 |
- |
5 nm RMS |
- |
|
SID4 SWIR |
900-1700nm |
9.6 × 7.68 |
120 μm |
80 × 64 |
15 nm RMS |
<2 nm RMS |
- |
|
SID4 SWIR HR |
900-1700nm |
9.6 × 7.68 |
60 μm |
160 × 128 |
15 nm RMS |
<2 nm RMS |
- |
|
SID4 eSWIR |
1.2-2.2μm |
9.6 × 7.6 |
120 μm |
80 × 64 |
<40 nm RMS* |
<6 nm RMS* |
- |
|
SID4 eSWIR HR |
1.2-2.2μm |
9.5 × 7.6 |
120 μm |
159 × 127 |
<40 nm RMS* |
<6 nm RMS* |
- |
|
SID4-DWIR |
3-5μm和8-14μm |
10.08 × 8.16 |
68 μm |
160 × 120 |
75 nm RMS |
25 nm RMS |
- |
*对于相干源
对于以望远镜、凹面镜、大口径透射元件、大口径透镜、离轴透镜为代表的五类光学元件，Kaleo Kit也提供了成熟的单次反射、单次透射、两次透射、透射及反射等波前分析仪测量光路：
上图中所用到的Kaleo套件标注为：
1：PHASICS SID4系列波前测量仪
2：反射光源模块
3：扩束器
4：聚焦镜
5：反射镜
6：待测样品
考虑到更特殊波前传感器测样需求，PHASICS Kaleo Kit还能提供众多配件选择：
|
扩束器 |
光圈F# |
平面参考镜 |
|
|
可见光VIS |
短波红外SWIR |
||
|
Ø15mm / Ø30mm / Ø60mm
/ |
0.4 / 0.7 / 1.2 / |
2.5 / 5 /10 |
2英寸 / 3英寸 |
