作者：维尔克斯 时间：2025-1-15 3:32:28
日本SigmaKoki西格玛光机的超级反射镜是用来满足什么应用的，研发生产都用了哪些技术，本文围绕西格玛光机的超级反射镜产品所用的3个技术来介绍西格玛光机的技术和产品！
日本SigmaKoki西格玛光机和国内外的科学家合作，不断地研发［世界唯一］的产品。这里举一个西格玛光机制造的超级反射镜的应用例子，比如，日本理化学研究所的香取量子计测研究室开发的世界最先进的［量子极限动作的高精度‘光格子时钟’］中就采用了此产品。此‘光格子时钟’内，用到一个波长极为稳定的窄带激光器，而且要求不易受气温变化或振动的影响，保证非常有效地把光封闭在共振腔内，此共振腔内的反射镜，正是OptoSigma制造的超级反射镜。为了高效地把光封闭在共振腔内，要求反射镜的反射率必须非常接近100%，制造如此高的反射率，必须保证反射镜的基板表面和镀膜都没有瑕疵，这样的反射镜，一般被称作超级反射镜了。传统的制造工艺，是无法得到超级反射镜所要求的性能。因此，日本SigmaKoki开发并有效利用了以下的3种最先进技术，才成功地研制出了这款超级反射镜。
低散乱研磨技术（近场光蚀刻法）：
超级反射镜的玻璃基板表面必须极为平滑，哪怕是肉眼无法分辨的0.1nm以下的凹凸不平也会影响其反射特性。西格玛光机经过多年的努力，实现了批量生产表面粗糙度小于Ra0.2nm的低散乱基板的研磨技术。为了获得研磨无法达到的Ra0.1nm以下的表面粗糙度，日本SigmaKoki西格玛光机又开发了近场光蚀刻法的光学研磨技术※1。
※1此技术和日本东京大学 大学院工学系研究科 电气系工学专攻 大津教授共同研发。
近场光刻蚀装置
超高质量镀膜技术（IBS镀膜设备）：
超级反射镜的光散乱损失极小，激光损伤阈值极高。OptoSigma西格玛光机选用IBS（Ion Beam Sputtering）镀膜方式，确立了世界领先水平的低损失（10ppm以下）镀膜技术。
粒子束溅射（IBS）镀膜装置
超级反射镜检测技术（Cavity Ring-Down）：
超级反射镜的反射率非常接近100%，所以通常的设备无法测试其性能。为此，西格玛光机公司独自开发了专门的检测超级反射镜用的CRD（Cavity Ring-Down）装置。利用该装置，OptoSigma成功地测试了有效反射率※2，光谱带宽，和锐度。
※2 有效反射率是指，不含基板或膜的散乱成分的，贡献于光封闭的反射率。
光腔衰荡测定装置 (Cavity Ring-Down)
