真空电动平台推荐使用的真空度在10-4~10-5Pa，VTAMM60S系列和VSGSP直线/转动系列, sigmakoki

作者：维尔克斯时间：2025-1-22 9:54:14

SIGMAKOKI真空自动平台采用不锈钢或铝合金的整体架构，并使用专为真空环境设计的润滑油脂。该平台搭载了在真空环境下污染较少的电机，并配备了接触式或机械式真空开关。此外，平台内部使用了特氟隆绝缘电线。所有SIGMAKOKI真空自动平台均为采用真空步进电机的类型，其中西格玛光机的小型真空自动平台已经通过了CE认证。真空自动平台以不锈钢或铝合金为结构主体，配备真空专用低污染电机和开关，以及特氟隆绝缘线，均为真空步进电机驱动。

VTAMM60S系列真空电动平台的型号分为X轴VTAMM60S-20X，XY轴VTAMM60S-20XY，Z轴VTAMM60S-20Z。VTAMM60S系列真空电动平台的特点是结构紧凑，节省空间，便于内置于小型真空设备中。Optosigma VSGSP系列真空电动滑台分为直线运动平台VSGSP26-200(x)、VSGSP20-85(x)、VSGSP20-35(x)和旋转平台VSGSP-120YAW、VSGSP-60YAW。

西格玛光机小型真空自动平台VTAMM60S-20系列的行程为20mm，台面尺寸55×60mm。VSGSP系列真空电动滑台行程为35mm、85mm和200mm。VTAMM系列真空电动平台和VSGSP系列真空电动滑台在电机部位和极限位置传感器部处，附有1m长的散线。

sigma真空自动平台VTAMM60S-20和VSGSP-120YAW的图示

在真空环境中，一般而言，其散热条件比大气环境差，需要保证sigma真空自动平台电机外壳的温度不超过80℃。

型　号	放出气体量Q（排气40分钟后）
型　号	（Torr・ℓ/s/unit）	（Pa・ℓ/s/unit）
VSGSP26-200	4.77×10-4	6.36×10-2
VSGSP-60	6.75×10-5	9.00×10-3
VSGSP-120YAW	4.78×10-4	6.37×10-2

排气装置：涡轮分子泵STP-301（EDWARDS会社）

排气速度 : 300ℓ/sec

质量分析装置：四极质谱分析仪QME200（PFEIFFER社制造）

测量范围 : 1-200amu

放出气体量Q可从以下公式估算：

P：经过1段时间后的真空度

P’：密封时的真空度

N：Optosigma真空电动滑台单元数（1unit）

V：真空容器的容量（ℓ）

T：密封时间（600s）

根据实际测量结果可知，从真空步进电机平台中放出的气体成分主要是水蒸汽和氮气。其主要来源为附着在平台表面的大气成分。我们据此推测，真空用润滑油脂对真空度的影响不大。

真空腔内的真空度

质量成分比例：

分子量	成分比(%)			离子	气体分子
分子量	VSGSP-60	VSGSP26-200	VSGS-120YAW	离子	气体分子
1	19.58	19.96	17.9	H⁺	H₂，水蒸气，碳氢化合物
2	2.81	5.28	3.34	H₂⁺	H₂，水蒸气，碳氢化合物
12	0.6	0.85	0.79	C⁺	CO,CO₂,碳氢化合物
13	0.17	—	—	CH⁺	碳氢化合物
14	0.79	1.26	0.91	N⁺，CO²⁺，CH₂⁺	N₂,NH₃,CO,碳氢化合物
15	—	2.37	—	CH₃⁺.NH⁺	碳氢化合物，NH₃
16	3.03	-—	2.98	O⁺，CH₄+，NH₂⁺	O₂，CH₄，NH₃
17	15.77	—	14.48	OH⁺, NH₃⁺	H₂O，NH₃
18	48.02	17.3	43.89	H₂O⁺	H₂O
20	0.22	—	0.29	HF⁺，Ar²⁺	HF，Ar
26	0.33	一	0.53	C₂H₂⁺	碳氢化合物
27	0.83	4.53	1.52	C₂H₃⁺	碳氢化合物
28	2.17	2.49	2.76	CO⁺，N₂⁺,C₂H₄⁺	CO,CO₂，N₂, 碳氢化合物
29	0.73	6.08	1.44	C₂H₅⁺	碳氢化合物
30	0.08	—	—	C₂H6⁺，NO⁺	C₂H₆, NO
31	0.14	0.31	0.27	C₂H₂OH⁺	C₂H₃OH
32	0.26	—	0.27	O²⁺, S⁺	O₂, H₂S, SO₂
39	0.39	2.57	0.78	C₃H₃⁺	碳氢化合物
41	0.51	7.44	1.07	C₃H₅⁺	碳氢化合物
42	—	—	0.41	C₃H₆⁺	碳氢化合物
43	0.74	8	1.01	C₃H₅⁺	碳氢化合物
44	0.4	—	0.66	C₃H₈⁺, CO₂⁺, N₂O⁺, C₂H₄OH⁺	C₃H₈, CO₂, N₂O, C₂H₄OH
45	—	0.31	0.31	C₂H₅O⁺	C₂H₅OH
50	—	0.23	—	C₄H₂⁺	碳氢化合物

利用质谱测定残留气体时，各分子量处出现的峰值到底是怎样的气体，其主要成分的一览表及其解释如下。

分子量	离子	备注	分子量	离子	备注
1	H⁺	H₂，H₂O，碳氢化合物等	30	NO⁺	污染的真空系统开始排气后出现
2	H₂⁺	H₂，H₂O，碳氢化合物等	31	CH₃O⁺	酒精
3	HD⁺	D的存在比例约0.01%	32	O₂⁺	漏气时N₂₃: O₃₂=4：1
4	He⁺		35	CI⁺
12	C⁺	CO，CO₂，碳氢化合物	37	CI⁺	Cl₃₅：Cl₃₇=3：1
14	N⁺，CH₂⁺，CO₂⁺	N₂，CO₂，碳氢化合物	39	K⁺, C₃H₃+	K⁺从灯丝中分离出来
15	CH₃⁺	有CH₄，CH₃的分子	40	Ar⁺, C₃H₄+	Ar在大气中占有1%
16	C⁺， CH₄⁺	O₂，CH₄，酸素化合物	41	C₃H₅⁺	碳氢化合物
17	OH⁺	H₂O	42	C₃H₆⁺	碳氢化合物
18	H₂O⁺	H₂O，OH+：H₂O+=1：5	43	C₃H₇⁺	碳氢化合物
19	F⁺	有的被吸着在灯丝及电极表面	44	CO₂⁺
20	Ar⁺，H₂O⁺，Ne⁺	存在O₁₅的含量约为0.2%的H₂O(20)	50	C₄H₂⁺	碳氢化合物
22	CO₂²⁺，Ne+	NE₂₂的含量约为8.8%	51	C₄H₃⁺	碳氢化合物
23	Na⁺	有的被吸着在灯丝及电极表面	55	C₄H₇⁺	碳氢化合物
27	C₂H₃⁺	碳氢化合物	56	C₄H₈⁺	碳氢化合物
28	N₂⁺, CO⁺	残留到最后	57	C₄H₉⁺	碳氢化合物
29	C2H5+, N2+, CO⁺	N₁₅的含量约为0.7%，C₁₃的含量约为1.1%

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