日本OXIDE的257nm连续激光器,型号Frequad-M57的输出功率区间为0.3W-1W,可适用于各种激光能量需求。光束质量M²<1.2,光束质量因子极佳,可满足精细加工,科研等性能需求,在运行时需要搭配水冷装置一同使用,可确保激光器在各种环境下稳定输出。
所属品牌: Oxide
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Frequad-M57 CW257nm深紫外激光器,光束质量高,功耗低,功率0.3-1w
日本OXIDE的257nm连续激光器,型号Frequad-M57的输出功率区间为0.3W-1W,可适用于各种激光能量需求。光束质量M²<1.2,光束质量因子极佳,可满足精细加工,科研等性能需求,在运行时需要搭配水冷装置一同使用,可确保激光器在各种环境下稳定输出。
单频深紫外激光器Frequad-M57产品概述
257nm连续激光器(Frequad-M57)是连续波(CW)单频深紫外激光器,是OXIDE波长转换技术和非线性晶体技术相结合的产物。由于257nm CW激光器波长与气体激光器氩离子激光器的二次谐波(SHG)相同,257nm CW激光器专为现有气体激光器用户或该波长的新用户设计,不易操作和维护。257连续激光器不仅稳定,而且高度可靠。因此,当CW257nm激光器应用于光刻设备、检测工具和现场流量计时,它可以做到降低维护频率和运行成本。Frequad系列单频深紫外激光器作为具有266nm深紫外(DUV)波长的连续波(CW)单频波长转换激光器已有20多年的历史,257nm连续激光器基于Frequad系列(Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C)成功的基础上,应用了OXIDE的全部核心技术。
Frequad-M57 257 CW激光器主要特点:
- CW 257nm激光器使用超高纯度BBO晶体
OXIDE专有BBO晶体的卓越品质使该系统作为一个设备在0.3-1W的输出功率下运行了3000多个小时。由于晶体退化最小,高光束质量保证了长时间的稳定运行。
- CW 257nm激光器应用精密的伺服锁定技术
独特的高速、高精度音圈电机(VCM)伺服执行器驱动激光器稳定的CW运行。
- 257 CW激光器功耗极低
高效的波长转换激光系统能够实现低于340W的极低功耗操作。
257 CW激光器Frequad-M57主要应用:
-半导体检测和光刻设备
-拉曼光谱、光电子能谱
-光致发光
-磁盘主控
-光纤布拉格光栅制造
-生物技术
CW 257nm激光器技术参数表:
波长 |
257.5 nm |
输出功率 |
0.3 W, 0.5 W, 0.7 W, 1 W |
线宽 |
< 0.005 pm |
消光比 |
> 100 : 1 |
光束质量 |
TEM00, M2 < 1.3 |
偏振 |
垂直、线性 |
电源 |
AC 100-240 V, 50/60 Hz |
电耗 |
< 340 W |
冷却 |
水冷 |
尺寸 |
350 x 590 x 124 mm |