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257 CW激光器

日本OXIDE的257nm连续激光器,型号Frequad-M57的输出功率区间为0.3W-1W,可适用于各种激光能量需求。光束质量M²<1.2,光束质量因子极佳,可满足精细加工,科研等性能需求,在运行时需要搭配水冷装置一同使用,可确保激光器在各种环境下稳定输出。

所属品牌: Oxide

负责人:陈鹏
联系电话:13418906712   电子邮箱:chenpeng@welloptics.cn

产品介绍

Frequad-M57 CW257nm深紫外激光器光束质量高,功耗低,功率0.3-1w

日本OXIDE的257nm连续激光器,型号Frequad-M57的输出功率区间为0.3W-1W,可适用于各种激光能量需求。光束质量M²<1.2,光束质量因子极佳,可满足精细加工,科研等性能需求,在运行时需要搭配水冷装置一同使用,可确保激光器在各种环境下稳定输出。

单频深紫外激光器Frequad-M57产品概述

257nm连续激光器(Frequad-M57)是连续波(CW)单频深紫外激光器,是OXIDE波长转换技术和非线性晶体技术相结合的产物。由于257nm CW激光器波长与气体激光器氩离子激光器的二次谐波(SHG)相同,257nm CW激光器专为现有气体激光器用户或该波长的新用户设计,不易操作和维护。257连续激光器不仅稳定,而且高度可靠。因此,当CW257nm激光器应用于光刻设备、检测工具和现场流量计时,它可以做到降低维护频率和运行成本。Frequad系列单频深紫外激光器作为具有266nm深紫外(DUV)波长的连续波(CW)单频波长转换激光器已有20多年的历史,257nm连续激光器基于Frequad系列(Frequad HP、Frequad-M、Frequad-C)成功的基础上,应用了OXIDE的全部核心技术。

Frequad-M57 257 CW激光器主要特点:

- CW 257nm激光器使用超高纯度BBO晶体

OXIDE专有BBO晶体的卓越品质使该系统作为一个设备在0.3-1W的输出功率下运行了3000多个小时。由于晶体退化最小,高光束质量保证了长时间的稳定运行。

- CW 257nm激光器应用精密的伺服锁定技术

独特的高速、高精度音圈电机(VCM)伺服执行器驱动激光器稳定的CW运行。

- 257 CW激光器功耗极低

高效的波长转换激光系统能够实现低于340W的极低功耗操作。


257 CW激光器Frequad-M57主要应用:

-半导体检测和光刻设备

-拉曼光谱、光电子能谱

-光致发光

-磁盘主控

-光纤布拉格光栅制造

-生物技术


CW 257nm激光器技术参数表:

波长

257.5 nm

输出功率

0.3 W, 0.5 W, 0.7 W, 1 W

线宽

< 0.005 pm

消光比

> 100 : 1

光束质量

TEM00, M2 < 1.3

偏振

垂直、线性

电源

AC 100-240 V, 50/60 Hz

电耗

< 340 W

冷却

水冷

尺寸

350 x 590 x 124 mm


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