高功率266nm连续激光器

德国激光技术公司CryLaS在2025年慕尼黑展会上发布了其266nm深紫外连续激光器系列的最新力作：600mW的FQCW266-600和1.2W的FQCW266-1200。作为266CW激光器领域的专业厂商，CryLaS已计划在2026年将这两款高功率产品投入量产。

所属品牌： Crylas

负责人：陈鹏
联系电话：13418906712 电子邮箱：chenpeng@welloptics.cn

产品介绍

CryLaS 266CW激光器，266nm，600mW和1200mW，＜300kHz

瓦级266nm连续激光器FQCW266-600和FQCW266-1200的特点：

-266nm连续波

-单模，窄线宽＜300kHz

-低功率噪声，＜0.1%rms（1Hz-100kHz）

-具有优异光束性能的真实光束，M²<1.3, TEM₀₀

-闭环操作，控制和调整输出功率，功率可调60-600mW和120-1200mW

-紧凑、坚固的设计和气封外壳

FQCW266高功率激光器是属于二极管泵浦固体激光器（DPSS），采用紧凑型模块化设计，占地面积小，包含激光头和控制单元，可通过串行（RS232和USB）接口进行按钮控制或远程控制操作，即插即用。CryLaS激光器FQCW266-600和FQCW266-1200的的波长公差仅为0.05nm，功率稳定性＜0.2%rms（0.5Hz，超过8小时）。600mW深紫外连续激光器FQCW266-600的输出功率可调范围为60-600mW，1.2W深紫外连续激光器FQCW266-1200的输出功率可调范围为120-1200mW。FQCW266高功率激光器具有出色的光束性能，高功率深紫外激光器的M²<1.3, TEM₀₀_，光束直径1.1±0.2mm，光束发散角＜0.45mrad。

高功率266nm连续激光器/266CW激光器的规格参数：

瓦级266nm连续激光器	FQCW266-600	FQCW266-1200
266CW激光器的光学参数
波长	266±0.05nm
标称输出功率	600mW±5%	1200mW±5%
输出功率可调范围	60-600mW	120-1200mW
线宽	＜300kHz
光束传播因子M² (平均)	<1.3, TEM₀₀
光束传播因子M²x(水平)	<1.2, TEM₀₀
光束传播因子M^2y(垂直)	<1.35, TEM₀₀
偏振方向和纯度	垂直，>500:1
光束直径	1.1±0.2mm
光束发散角	＜0.45mrad
静态对准公差	Lateral±0.25mm \| Angular±2.5mrad
点间光束指向偏差	±225μrad
功率稳定性（0.5Hz，超过8小时）	＜0.2%rms
功率噪声（1Hz-100kHz）	＜0.1%rms
功率噪声（100kHz-250MHz）	＜0.2%rms
高功率266nm连续激光器的使用寿命
典型紫外晶体光斑寿命	2000小时
典型寿命（首次维护前）	16000小时
高功率深紫外激光器的电气数据
平均功耗（最大）	＜200W（450W）
线路电压	90-250V AC(50-60Hz)
通信接口	USB \| RS232 \| Ethernet
安全特性	钥匙开关\|联锁\|电动快门
瓦级266nm连续激光器的其他参数
典型预热时间（最大）	30min（45min）
工作温度（激光头）	20-25°C (无凝结)
通过轴承表面冷却，所需热阻	1/40K/W@25°C \| 1/20K/W@20°C冷却表面
激光头尺寸	<120x310x715mm³ (H x W x L)
控制单元尺寸	<184x483x411mm³ (H x W x L)	<134x483x411mm³ (H x W x L)
激光头重量	<36kg
控制单元重量	<12kg
激光出射窗口吹扫电源	流量0.2I/分钟，CDA, SH<10PPM或N2(纯度等级5.0“科学级”或更高）

高功率深紫外激光器FQCW266-600的尺寸图

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