日本Optosigma生产的TFMHP系列193电介质膜反射镜，是为高功率脉冲Nd-YAG激光（或Yb-YLF激光）以及准分子激光光学系统设计的专用反射镜。
所属品牌： OptoSigma
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低损耗的193反射镜，反射率＞95%，入射角度45°，表面质量10-5
日本Optosigma生产的TFMHP系列193电介质膜反射镜，是为高功率脉冲Nd-YAG激光（或Yb-YLF激光）以及准分子激光光学系统设计的专用反射镜。193nm ArF反射镜根据外径划分成三种型号：TFMHP-25.4C05-193、TFMHP-30C05-193和TFMHP-50C08-193。193nm准分子反射镜的反射率高，可以达到95%以上，经过多个反射镜反射后，光量也不会衰减很多。此外，TFMHP系列193反射镜的镀膜使用吸收小的电介质膜，可以承受大功率激光的连续照射，激光损伤阈值2 J/cm2。
193nm准分子反射镜/193nm ArF反射镜的功能说明图：
左：TFMHP系列193反射镜；右：PSMH系列193nm半反射镜
多层电介质膜平板半反射镜平行平面基板和楔形基板
多层电介质膜平板半反射镜193反射镜是用于紫外激光或YAG激光的PSMH系列193nm半反射镜。西格玛光机的PSMH系列193nm半反射镜一共有4款，PSMH-30C03-10-193，PSMH-30C05-10-193，PSMH-30C05/08-10W-193和PSMH-30C08-10W-193。这些193反射镜正面有多层电介质膜，反面有防反射膜，几乎没有光量的损失，有不使光束产生变形的平行平面型，和因反面反射产生鬼影或干涉的影响很少的楔型两种。多层电介质膜平板半反射镜由于是平板型半反射镜，透过基板时产生的波长分散或色差很小，重量也可以减轻。
PSMH系列193nm半反射镜和TFMHP系列193反射镜的指标：
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类型 |
PSMH系列193nm半反射镜 |
TFMHP系列193反射镜 |
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材质 |
BK7 合成石英 CaF2 |
BK7 |
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基板面型精度 |
λ/10 |
λ/10 |
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镀膜 |
正面：多层电介质膜 反面：防反射膜 |
多层电介质膜 |
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入射角度 |
45° |
45°±3° |
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平行度 |
—— |
＜3′ |
|
分束比（反射：透射） |
１：１ |
—— |
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表面质量 |
10-5 |
10-5 |
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有效直径 |
外径的90％ |
外径的90％ |
|
反面 |
—— |
抛光面 |
193nm准分子反射镜/193nm ArF反射镜的参数指标：
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型号 |
外径mm |
厚度mm |
材质 |
平行度 楔形角 |
反射率R 透过率T （P偏光和S偏光的平均值） |
激光损伤阈值 〔J/cm2〕 |
|
PSMH-30C03-10-193 |
φ30 |
3 |
合成石英 |
＜5″ |
T＝45±5 |
1 |
|
PSMH-30C05-10W-193 |
φ30 |
5 |
合成石英 |
1°±5′ |
T＝45±5 |
1 |
|
PSMH-50C05-10-193 |
φ50 |
5 |
合成石英 |
＜5″ |
T＝45±5 |
1 |
|
PSMH-50C08-10W-193 |
φ50 |
8 |
合成石英 |
1°±5′ |
T＝45±5 |
1 |
|
TFMHP-25.4C05-193 |
φ25.4 |
5 |
BK7 |
— |
反射率＞95% |
2 |
|
TFMHP-30C05-193 |
φ30 |
5 |
BK7 |
— |
反射率＞95% |
2 |
|
TFMHP-50C08-193 |
φ50 |
8 |
BK7 |
— |
反射率＞95% |
2 |
