基于Phasics独特的SID4四波横向剪切干涉技术所开发的专利技术，高分辨率波前传感器SID4-UV可覆盖190-400 nm紫外检测波段，在紫外线光谱中提供了无与伦比的高分辨率（355x280测量点）和非常高的灵敏度（1 nm RMS）。为波前像差、波前畸变的检测以及激光光束及波前探测、分析提供了全新方案。
所属品牌： Phasics
负责人：孙工
联系电话：13692216712 电子邮箱：zmsun@welloptics.cn
190-400nm紫外相应高灵敏度的紫外高分辨率波前分析仪
基于独特的专利技术，法国Phasics公司的波前传感器具备高灵敏度及高相位分辨率的特点，即插即用的适用类型适用于大多数用户的应用环境。法国Phasics公司为用户提供两款紫外检测波前分析仪，SID4-UV和SID4-UV-HR。
相比之下，SID4-UV适用于250-400 nm波段的紫外光谱，250 × 250的取样分辨率、2 nm RMS的相位灵敏度以及7.4 × 7.4 mm²的靶面面积足以满足大部分用户需求，相比于SID4-UV-HR更具备成本效益，在满足用户使用需求的前提下有效的节约用户成本。
其中SID4-UV-HR作为SID4-UV的增强款，该设备在190-400 nm的紫外波段有着极高的相位分辨率（355×280取样分辨率）、极高的相位灵敏度（优于1 nm RMS）以及更大的靶面面积（13.8 x 10.88 mm²）。这使得SID4-UV-HR适用于光刻、半导体等领域，尤其适用于透镜或晶圆等的光学组件表征以及波前像差，波前曲线的波前探测需求。
高分辨率波前传感器应用领域：
-天文观测
-航空航天工业
-半导体加工
-工业激光
-光学元件及组装
-增强现实-虚拟现实
SID4-UV高分辨率波前传感器产品规格：
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型号 |
SID4-UV |
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波长范围 |
250 - 400 nm |
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靶面尺寸 |
7.4 x 7.4 mm² |
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空间分辨率 |
29.6 µm |
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取样分辨率 |
250 x 250 |
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相位分辨率 |
2 nm RMS |
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绝对精度 |
10 nm RMS |
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取样速度 |
30 fps |
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实时处理速度* |
> 2 fps (全分辨率下)* |
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接口种类 |
以太网口 |
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尺寸（宽x高x长） |
78 x 88.1 x 71.1 mm³ |
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重量 |
约575g |
*使用官方电脑搭载SID4软件环境下
高分辨率波前传感器主要特点：
-190-400 nm紫外波段响应
-1 nm RMS高相位灵敏度
-355 × 280超高相位取样分辨率
紫外波前分析仪主要特点：
-250 - 400 nm紫外波段响应
-2 nm RMS高相位灵敏度
-250 × 250超高相位取样分辨率
高分辨率波前传感器产品应用：
-激光检测
-自适应光学检测
-等离子体检测
-光学元件及光学系统计量
SID4-UV-HR高分辨率波前传感器产品规格：
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型号 |
SID4-UV-HR |
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波长范围 |
190 - 400 nm |
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靶面尺寸 |
13.8 x 10.88 mm² |
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空间分辨率 |
38.88 µm |
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取样分辨率 |
355 x 280 |
|
相位分辨率 |
1 nm RMS |
|
绝对精度 |
10 nm RMS |
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取样速度 |
30 fps |
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实时处理速度* |
> 3 fps (全分辨率下)* |
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接口种类 |
CameraLink |
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尺寸（宽x高x长） |
51 x 51.1 x 76 mm³ |
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重量 |
约300g |
*使用官方电脑搭载SID4软件环境下
高分辨率波前传感器产品应用：
-激光检测
-自适应光学检测
-等离子体检测
-光学元件及光学系统计量
-波前曲线检测
