该纳米压电位移平台具有非常低的运动误差，内置电容式定位传感器可实现超高速性能和低纳米级重复性。此压电纳米定位台样品架和载物台可以定制，以适应从显微镜到硬盘测试和半导体检测的广泛应用。
所属品牌： PRIOR
负责人：戴工
联系电话：13691896712 电子邮箱：sxdai@welloptics.cn
SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台，长行程，高精度，压电纳米定位
英国Prior·queenstage 推出的压电纳米定位平台：SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台，该纳米压电位移平台具有非常低的运动误差，内置电容式定位传感器可实现超高速性能和低纳米级重复性。此压电纳米定位台样品架和载物台可以定制，以适应从显微镜到硬盘测试和半导体检测的广泛应用。闭环行程500um。SP-Mini-500压电纳米定位台，占地面积小，是理想的易于集成在仪器或测试设备中的紧凑型纳米压电定位台。该Prior·queenstage的纳米压电位移平台具有非常低的运动误差，内置电容式定位传感器可实现超高速性能和低纳米级重复性。
SP-Mini-500压电纳米定位台主要应用：
-高精度显微镜：共聚焦和光片等
-硬盘检测
-半导体检测和制造
-配合科学和医疗研究设备使用
-镜片定位
-纳米压电位移和纳米样品定位等
SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台的平台在整个500微米的行程范围内保持非常稳定的状态。这使得样品架可以偏移放置。此电动Z轴在保持高性能定位的同时提高了对检测设备对于样品的定位能力。此Prior•queenstage的压电纳米定位台的样品架和载物台可以定制，以适应从显微镜到硬盘测试和半导体检测的广泛应用。
SP-Mini-500紧凑型纳米压电位移台
紧凑型纳米压电定位台SP-Mini-500的主要特点：
-＞500 um行程，纳米级分辨率
-非常低的旋转误差：0.0025°
-电容式定位传感器，提供较高位置精确度和准确度。2 nm分辨率和5 nm重复度
-线性误差一般为＜0.002%
-动态性能：空载谐振频率一般为210 Hz，同服环路带宽可达55 HZ
-原位扫描和步进响应优化
-即插即用：载物台连接器包含载物台校准数据和参考传感器，便于控制器互换
-压电纳米定位
压电纳米定位台SP-Mini-500的技术规格
|
技术规格 |
参数 |
单位 |
||
|
材质 |
铝和不锈钢 |
|
||
|
尺寸 |
36.5 x 60 x 24.5 10 15x15mm |
mm |
||
|
|
最小 |
常规 |
最大 |
|
|
开环行程 |
550 |
650 |
|
um |
|
闭环行程 |
|
500 |
|
um |
|
静态刚度 |
|
0.135 |
|
Num-1 |
|
谐振频率：0 g负载 |
|
210 |
|
Hz |
|
谐振频率：20g负载 |
|
195 |
|
Hz |
|
谐振频率：最大负载 |
|
|
1 |
Kg |
|
动力参数 |
慢速 |
中速 |
快速 |
|
|
3 dB带宽 |
|
|
55 |
Hz |
|
小信号稳定时间 |
|
|
10 |
ms |
|
位置噪音/分辨率 |
2 |
|
5 |
nmrms |
|
重复性（半程） |
5 |
|
|
nm |
|
误差 |
最小 |
常规 |
最大 |
单位 |
|
线性误差（峰值） |
|
0.02 |
|
% |
|
旋转误差（roll） |
|
0.0025 |
|
deg |
|
旋转误差（pitch） |
|
0.0025 |
|
deg |
|
旋转误差（yaw） |
|
0.005 |
|
deg |
Prior电动Z轴SP-Mini-500压电纳米位移台的可选配件：
-35 mm培养皿插件
-单波片夹具
纳米压电位移台SP-Mini-500需要配合英国Prior·queenstage专门为压电纳米定位设备研发的NPC-D-6110控制器。其强大的数字控制器可以最快的速度驱动纳米压电位移台SP-Mini-500。
