作者：维尔克斯 时间：2025-9-2 10:22:13
针对高精度检测与加工领域对小型化、高集成度设备的迫切需求，法国Piezoconcept公司推出了LFS系列紧凑型通孔压电扫描台。该系列专为OEM应用设计，通过其精密的中空结构，可有效优化测试系统性能。LFS系列包含两个型号：LFS2提供XY两轴精密定位，而LFS3则升级为XYZ三轴控制，以满足不同维度的应用需求。
Piezoconcept的LFS系列紧凑型通孔压电扫描台的XY行程为100×100 um，Z轴向为20um，中心通孔的大小为40×40 mm，能满足大部分需要使用小型中空纳米定位平台的应用需求。LFS系列的外形体积也相对于其他精密中空型纳米压电平台更加小巧。LFS2和LFS3的底座投影面积均为10×10 cm。LFS2的Z轴向高度为30.2 mm，而LFS3的Z轴向高度为50 mm。
LFS系列精密中空型纳米压电平台参数如下：
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LFS2 |
LFS3 |
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行程（um） |
100×100 um |
100×100×20 um |
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分辨率（nm） |
0.1 |
20/0.1（XY/Z） |
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噪声基底（典型值nm） |
0.01 |
0.01/0.002 |
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重复定位精度（nm） |
0.2 |
0.2/0.04（XY/Z） |
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线性度（典型值） |
0.02% |
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谐振频率（Hz） |
400/300（X/Y） |
350/250/2700 |
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传感器类型 |
Silicon HR Sensor |
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水平最大负载（kg） |
1 |
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垂直最大负载（kg） |
0.5 |
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LFS系列紧凑型通孔压电扫描台通孔区域周围有适配的Piezoconcept样品夹，用户可在下单时选择配置。此外LFS系列小型中空纳米定位平台采用的控制器允许通过USB接口和模拟电压进行控制。并且两种控制方式可以进行切换，方便根据客户的应用和使用环境进行调整。
