CVI Laser Optics反射镜，通用金属镀膜、高功率激光、特种波段反射镜的型号差异对比

作为光学领域的领军者，CVI Laser Optics 提供了三大系列的专业激光反射镜，精准覆盖各类应用场景：专为高能量激光设计的高功率反射镜、满足特定波长与物理性能的特种波段反射镜，以及适用于宽光谱范围的通用金属镀膜反射镜。本文章主要对比高功率激光反射镜、特种波段反射镜、通用金属镀膜反射镜不同型号技术参数差异。

CVI激光反射镜的核心应用场景：

CVI反射镜的型号差异直接决定了其应用场景的专属性。

-高端工业与半导体制造

光刻技术：准分子激光镜（ARF/KRF） 和 深紫外铝镜（DUVA） 是193nm/248nm光刻机的照明和投影系统的核心，其性能直接决定光刻精度。

精密加工：光纤激光镜（FLM） 和 Nd:YAG激光镜（Y系列） 是工业激光加工的“心脏”，广泛应用于切割、焊接、打标和微加工。其中，离子束溅射镀膜镜（Y1S等） 因其极高的耐用性和稳定性，成为7x24小时工业生产线上的首选。

紫外固化：紫外增强铝镜（PAUV） 和 紫外宽带反射镜（MAXBRite™, MPQ） 用于紫外固化设备的反射罩，高效反射紫外线，快速固化油墨、涂料和胶水。

-科学研究与前沿技术

超快光学研究：钛宝石超快反射镜（TLMB） 和 可调谐宽带反射镜（TLM2） 是搭建飞秒激光放大器、光学参量放大器等复杂实验平台的基础元件，其色散控制能力至关重要。

光谱分析：各类反射镜在光谱仪中充当定标、引导和聚焦角色。保护银镜（PS） 因其超宽波段特性，在傅里叶变换红外光谱仪中广泛应用。

深紫外研究：真空紫外铝镜（VUVA） 专用于157nm等极端波长的科学研究，如材料表面分析、基础物理实验等。

多波长实验：双波长反射镜（HM/YH） 简化了泵浦-探测等需要多束激光协同工作的实验光路。

-医疗与生命科学

眼科手术：准分子激光镜（ARF/KRF） 用于LASIK等近视矫正手术设备，其精度和可靠性关乎手术安全。

生物成像：可见光宽带反射镜（MPQ, 420-700nm） 为荧光显微镜、共聚焦显微镜提供均匀的照明，是生命科学研究的得力工具。

-国防与航空航天

-红外制导与探测：保护金镜（PG） 和 保护银镜（PS） 因其优异的红外反射性能，被用于红外导引头、热成像系统和空间望远镜的红外光学路径中，需具备良好的环境适应性。

在高功率激光反射镜领域，CVI Laser Optics 的表现尤为突出。例如，专为Nd:YAG激光器设计的Y系列高功率激光反射镜，其激光损伤阈值高达25 J/cm²（1064nm, 20ns），堪称工业切割、焊接等高强度应用的基石。同样，用于光纤激光器的FLM系列高功率激光反射镜，也为精密微加工提供了可靠的性能保障。这些激光反射镜通常选用热稳定性极佳的熔融石英基底，并镀有经过优化的介质膜层，这是其能够承受高功率激光反射镜应用环境的关键。

对于更为特殊的应用需求，则需要依赖CVI Laser Optics 的特种波段反射镜。这类特种波段反射镜为解决特定技术挑战而生，例如专用于193nm和248nm波长的准分子激光反射镜，其镀膜工艺能有效抵抗深紫外光子的侵蚀。另一典型代表是超快激光领域不可或缺的TLM2系列特种波段反射镜，它们不仅具备高反射率，更关键的是拥有极低的群延迟色散，以保持飞秒激光脉冲的形状。此外，能同时高效处理两个波长（如1064nm与532nm）的HM系列双波长反射镜，也是特种波段反射镜家族中的重要成员，极大简化了复杂的光路设计。

高功率激光反射镜对比：

这类反射镜的核心指标是高激光损伤阈值和高反射率，以满足高能量激光系统的苛刻要求。

高能部分反射激光镜（PR1）：其独特之处在于精确控制反射率（部分反射），常用于激光谐振腔的输出耦合镜，用于耦合出特定比例的激光。其宽波段（190-2100nm）适配性极强。

准分子激光镜（ARF/KRF）：专为深紫外（193nm, 248nm）脉冲激光设计，材料和镀膜工艺需能承受高能光子冲击，是光刻和眼科手术设备的核心元件。

Nd:YAG/Nd:YLF激光镜（Y系列）：这是产品线中最庞大的家族，覆盖了从基频（1064nm, 1047nm）到多次谐波（532nm, 355nm, 266nm, 213nm）的所有波长。其中，离子束溅射镀膜镜（Y1S等） 代表了最高工艺水平，具有更低的散射损失、更高的损伤阈值和优异的环境稳定性，适用于最高性能的激光器系统。

光纤激光镜（FLM）：针对1030-1080nm及相关的谐波波长（515nm, 343nm）优化，专用于当前主流的工业光纤激光器，满足激光标记和微加工对可靠性和寿命的极高要求。

特种波段/应用反射镜对比：

这类反射镜为满足特定物理需求或应用场景而设计。

可调谐激光线反射镜（TLM1/TLM2）：TLM1针对特定可调谐波长优化，而TLM2是超快激光应用的关键，其设计考虑了色散管理，确保飞秒脉冲（脉宽>30fs）在反射后不被过度展宽。

钛宝石超快反射镜（TLMB）：专为钛宝石激光器（740-860nm）的飞秒脉冲放大器量身定制，是超快光学研究的核心部件。

双波长反射镜（HM/YH）：其精妙之处在于能同时高效处理两个特定波长（如1064nm/532nm或1064nm/633nm），简化了多波长激光系统（如Nd:YAG与HeNe激光对齐）的光路设计。

真空紫外与深紫外铝镜（VUVA/DUVA）：覆盖157nm至193nm的极端紫外波段。VUVA专为157nm真空环境应用，而DUVA则用于193nm光刻等场景，技术要求极高。

通用金属镀膜反射镜对比：

这类反射镜以宽波段响应和成本效益为主要优势，适用于非激光或中低功率激光系统。

铝镜系列：是紫外到近红外的通用选择。紫外增强铝镜（PAUV） 在250-600nm（尤其是深紫外）反射率最高；保护铝镜（PAV） 在可见光区（400-800nm）性能均衡；增强铝镜（EAV） 在450-650nm可见光区反射率最优。

保护银镜（PS）：在400nm-20μm的极宽范围内具有最高的反射率（>95%），是可见到近红外的理想选择，但需注意防氧化。

保护金镜（PG）：在650nm以上的红外波段表现无敌，反射率>98%，是CO₂激光器（10.6μm）和红外光谱仪的标准配置。

选型指南：选择时，首先确定核心激光参数（波长、功率/能量、脉冲宽度），然后匹配对应的产品类型。高功率纳秒脉冲选Y系列；飞秒脉冲必选TLM2或TLMB；宽波段白光照明选PS或PAV；极端紫外环境选专用DUVA/VUVA。