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CVI反射镜激光器应用场景全解析:从准分子到光纤激光器的精准选型指南,CVI Laser Optics

作者:维尔克斯  时间:2025-11-29 9:53:13

CVI Laser Optics 拥有丰富的激光反射镜产品组合,其光谱响应范围横跨深紫外到红外,并针对准分子、Nd:YAG、飞秒、光纤激光器等各类激光技术做了性能优化。因此,正确选用CVI反射镜,对保障激光系统的整体性能和长期稳定运行起着决定性作用。本文章将根据激光类型和应用需求,梳理各系列反射镜的特点,助您做出精准选择。

在高端激光光学领域,CVI Laser Optics 凭借其全面的CVI反射镜产品线,为各种激光技术提供了核心的光学解决方案。尤其在准分子激光反射镜应用中,其对深紫外波长的优异性能至关重要。例如,专为准分子激光反射镜设计的ARF/KRF系列 反射镜,采用特殊镀膜工艺,确保了在193nm248nm波长下的高反射率与卓越的耐久性,满足了半导体光刻与精密微加工领域对准分子激光反射镜系统稳定性的极致要求。CVI Laser Optics 的深厚技术积累,使其成为应对严苛紫外环境的可靠合作伙伴。

 

按激光类型与应用选型

-准分子激光器(ArF, KrF)

准分子激光波长位于深紫外(DUV),对材料的吸收和镀膜的耐久性有极高要求。

推荐型号系列:ARF, KRF

产品链接:193nm/248nm反射镜

核心特点:

-专用深紫外镀膜:采用特殊材料和工艺,在193nm(ArF)和248nm(KrF)波长实现高反射率(R≥96%@193nm,R≥99%@248nm)。

-耐紫外辐照:镀膜经过优化,能承受高能紫外光子的长期轰击,寿命长。

-高损伤阈值:满足准分子激光的高峰值功率需求,例如在248nm下可达 3 J/cm² (8ns脉冲)。

准分子激光反射镜

-高功率Nd:YAG / Nd:YLF 激光器

此类激光器是工业加工和科学研究的主力,通常需要极高的损伤阈值和高反射率。

推荐型号系列:Y1, Y2, Y3, Y4, Y1S, Y2S, Y3S, Y4S 

产品链接:高能量Nd:YAG反射镜

核心特点:

超高反射率:在1064nm及谐波(532nm, 355nm, 266nm)波长,反射率(R)通常 ≥ 99.9%

极高损伤阈值:例如,Y1系列在1064nm波长下,损伤阈值可达 25 J/cm² (20ns脉冲) 10 MW/cm² (连续波),能承受高能激光的长期冲击。

离子束溅射(IBS)镀膜选项(Y1S等系列):CVI Laser Optics提供更低的损耗、更高的环境稳定性和极小的波前畸变,是高功率光纤激光器和要求极高的DPSSL系统的理想选择。

Nd:YAG / Nd:YLF激光反射镜

-飞秒/皮秒超快激光器(如 Ti:Sapphire

超快激光脉冲具有极宽的频谱,要求CVI反射镜在保持高反射率的同时,引入尽可能小的群延迟色散(GDD),以保持脉冲宽度。在追求极限的超快光学领域,飞秒激光对光学元件的色散特性提出了苛刻挑战。为此,CVI Laser Optics 开发了TLMB等系列飞秒激光反射镜。

推荐型号系列:TLMB, TLM2

核心特点:

-宽带高反射:例如TLMB飞秒激光反射镜系列在740-860nm范围内实现 R>99.0%,完美覆盖Ti:Sapphire激光器的调谐范围。

-低色散设计:飞秒激光反射镜专为超快脉冲(>30fs)优化,具有极低的群延迟色散,避免脉冲在反射过程中被展宽。

-优异的损伤阈值:针对高重复频率的飞秒脉冲进行了优化,如TLMB的损伤阈值为 0.46 J/cm² (50fs脉冲)

TLM2系列:专为连续波振荡器和低能量脉冲设计,在保证高反射和低色散的同时,提供了更经济的解决方案。


TLM2-800反射率曲线

钛宝石超快反射镜


-光纤激光器

光纤激光器通常需要高性能、高可靠性的反射镜用于谐振腔和光束传输。

激光反射镜推荐型号系列:FLM

核心特点:

-高反射率与损伤阈值:在1030-1100nm波段提供高反射率(R≥99%),并具备高损伤阈值(20 J/cm² @1064nm),适用于脉冲和连续光纤激光器。

-CVI Laser Optics优异的环境稳定性:镀膜坚固耐用,适合工业环境下的长期应用,如激光打标、精密微加工。

随着激光技术的普及,光纤激光器在工业加工领域的地位日益凸显。CVI Laser Optics 的光纤激光反射镜FLM系列反射镜正是为适配光纤激光而优化。它们具备高损伤阈值和环境稳定性,能够承受工业环境下光纤激光器的长时间高负荷运行。无论是用于光束转向还是作为腔镜,这些可靠的光纤激光反射镜都确保了 光纤激光器在打标、切割等应用中表现出众的可靠性与寿命,充分体现了 CVI Laser Optics 产品面向实际工业应用的成熟设计理念。

光纤激光反射镜

-多波长/对齐应用

在一些实验中,需要同时处理多个波长,例如用可见光(如HeNe激光的633nm)对齐不可见的红外激光(如Nd:YAG1064nm)。

推荐型号系列:YH, HM

核心特点:

-双波长特性:YH反射镜在1064nm高反,同时在633nm有较高反射率(R≥80%),便于对齐。HM反射镜则同时对1064nm532nm高反。

-简化光路:使用一个反射镜即可实现两个波长的控制,简化了光学系统设计。

双波长反射镜

-宽带/通用应用

对于白光光源、光谱仪或需要覆盖极宽波长范围的应用,金属镀膜反射镜是理想选择。

激光反射镜推荐型号系列:

保护银(PS):400nm - 20µm范围内R≥95%,是可见到近红外的最佳全能选择,也适用于超快激光。

保护金(PG):650nm - 20µm范围内具有极高反射率(>98%),是中远红外应用的首选。

保护铝(PAV/增强铝(EAV):可见光区域的标准选择,EAV450-650nm平均反射率≥92%

MAXBRite™ 宽带介质膜(MPQ):在特定紫外-可见波段(如245-390nm, 420-700nm)提供≥98%的平均反射率,性能优于金属膜。

选型关键词: 宽带, 白光, 光谱仪, 保护银, 保护金, 宽带介质膜

保护型金镜

总结选型核心参数:

在选择反射镜时,请务必确认以下参数是否符合要求:

-中心波长/波段:反射镜是否覆盖激光波长?

-入射角:是(垂直入射)还是45°?偏振态如何?

-激光参数:脉冲能量/功率密度、脉宽、重频是多少?确保损伤阈值留有充足安全裕量。

-表面精度:高精度系统(如干涉仪)需要λ/10以上的表面平整度,通用应用λ/4可能已足够。

-基板材料:紫外应用首选熔融石英(Fused Silica),可见-近红外可选N-BK7(成本更低)。


这些反射镜不仅在740-860nm等常用波段具有宽带高反射特性,更关键的是其引入了极低的群延迟色散设计,能够最大限度地保持 飞秒激光 脉冲的宽度与质量。这使得CVI Laser Optics的反射镜成为搭建 飞秒激光 放大器、显微镜及光谱仪等精密系统的理想选择,有力推动了前沿科学研究。 对于工业与科研中广泛使用的Nd:YAG激光反射镜系统,CVI Laser Optics 提供了堪称标杆的Y系列高反射反射镜。这些 反射镜 在1064nm基频光及其谐波(如532nm355nm)下均能实现超过99.9%的反射率,并拥有极高的激光损伤阈值,完美匹配Nd:YAG激光反射镜的高功率特性。无论是用于激光标记、焊接,还是作为激光谐振腔的核心部件,CVI Laser Optics 的反射镜都为Nd:YAG激光反射镜的高效、稳定运行提供了坚实保障。


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