作者：维尔克斯 时间：2026-3-26 9:16:26
相较于单轴、双轴平台组合搭建的平台，六足位移台 SD200 和 HP370 兼具更高精度与更小巧的体积。六自由度平台不仅机身小巧精密，负载能力也远高于组合式六轴位移台。凭借这一不可替代的优势，六维运动平台可广泛应用于半导体晶圆检测、六轴运动模拟、精密镜组及光子器件的组装测试与精密对准等领域。
六维运动平台型号与参数整理：
下方表格整理了目前我们主要推广的两款六轴位移台，HP370六足位移台比较适合于大载重需求的样品调整和对准，其高刚度的结构还能作为主动隔振系统的驱动器。SD200型号六维运动平台紧凑，比较适合于搭建在显微镜和半导体检测系统中。用户可以根据自己的应用和需求进行选择。
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六维运动平台型号 |
HP370 |
SD200 |
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外形尺寸 |
φ300×370mm |
200×200×130mm |
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负载能力 |
≥15kg |
≤3kg |
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X Y Z轴向行程 |
x≥10mm，y≥10mm，z≥10mm |
x≥5mm，y≥5mm，z≥3mm |
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α β γ角向行程 |
α≥10°，β≥10°，γ≥10° |
α≥3°，β≥3°，γ≥5° |
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线性位移最小增量 |
0.2um |
0.3um |
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角向位移最小增量 |
5uRad |
5uRad |
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线性重复定位精度 |
0.2um |
0.2um |
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角向重复定位精度 |
5uRad |
5uRad |
六足位移台在光路测试与检测中的精密校准
在工业生产或者实验室环境下的精密光路组装和测试过程中，光学镜组耦合的对准偏差会对整个光学系统的性能和可靠性产生不可忽视的影响。由于涉及的光纤尺寸微小，这些对准公差通常要求在微米或亚微米范围内，但是在高度精细和复杂的精密光路中往往采用多条光路依次对准来满足结构的完整。
六自由度平台SD200和HP370在这种环境下的校准相比于传统的单一轴向对准更加的灵活多变。六轴位移台可以通过先定位其中的一个光路，然后再保持一个标准光路对准的条件下调整。当合适的对准位置确定好后，六自由度平台的高稳定性和高重复定位精度可以长时间保持这个对准姿势，方便用户对光路结构进行测量和加固。
六足位移台搭配纳米平台与探针进行精密测量
除了多光路测试校准中的校准与找平，六轴位移台强大的六自由度和集成化能协助客户搭配纳米平台与机械臂探针达到高精密测量。HP370六足位移台拥有的高自由度和定位精度和纳米平台的纳米级别辅助。可以让探针能够像手持一样拥有不同的接触角度和接触方向。能提供更完整的测量精度和测量的有效数据值
