作者：维尔克斯 时间：2026-8-24 12:06:41
非偏振平板分光镜（Beamsplitter）属于光学器件，可把单束入射光按照设定分光比（常见 50:50、30:70、10:90）拆分为透射光与反射光两路光束，大量应用于激光装置、显微镜、干涉仪等各类设备，核心作用为光束分光。本文对非偏振分光镜开展对比梳理，帮助使用者快速完成产品选型。
德国Layertec：高功率脉冲和紫外超快激光平板分光镜，波长范围248-1550nm，10-45°，分光比例多样，如10:90,20:80,30:70,40:60,50:50等，核心优势为紫外飞秒GDD色散补偿、超低吸收散射，适合高能量准分子腔内分束、紫外超快泵浦探测。
日本西格玛光机Sigma Koki：分光镜标准品覆盖紫外到近红外，以CaF2和熔融石英为基底，双面镀膜，损伤阈值2J/cm2，但标准品分光比单一，以入射角45°，50:50为主，其他参数需要联系厂家定制。这类非偏振分光镜在西格玛光机除了有非偏振平板分光镜还是立方体分光镜的标准品供用户选择。
美国Acton：VUV真空紫外和准分子光谱科研专用分光镜，45°入射，126–193nm 深紫外较强，主打193nm光刻、高重频准分子、光谱仪/椭偏仪，光谱平坦度好，有成熟标准膜系（e‑Design/XL‑Design），是深紫外科研与半导体量产首选。但是其标准品的波长范围以紫外126-353nm为主，对于可见光和近红外的产品没有标品。
日本西格玛光机SigmaKoki分光镜：
日本西格玛光机有非偏振平板分光镜、立方体偏振分光棱镜 PBS、消偏振分光镜 NPBS、二向色分束镜、楔形分光片等；标准品平板分光镜分光比以45°入射，50:50为主。与Layertec相比，西格玛光机的标准品分光比单一，需要定制，如20:80、30:70等比例。SigmaKoki标准品的波长范围157nm-1550nm，其波长标准品与Layertec分光镜的对比，多出了准分子193nm和深紫外157nm，还提供立方体分光镜的标准品供用户选择。
以下表格选了日本西格玛光机SigmaKoki的部分标准品作为参考，更多选型请联系我们。
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型号 |
波长 |
直径 |
厚度 |
材质 |
反射率R,透过率T |
LIDT |
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PSMH-30C03-P-157 |
157nm |
φ30mm |
3mm |
CaF2 |
R=40±10% |
0.5J/cm2 |
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PSMH-50C05-P-157 |
157nm |
φ50mm |
5mm |
CaF2 |
R=40±10% |
0.5J/cm2 |
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PSMH-30C03-10-193 |
193nm |
φ30mm |
3mm |
合成石英 |
T=45±5% |
1J/cm2 |
|
PSMH-30C05-10W-193 |
193nm |
φ30mm |
5mm |
合成石英 |
T=45±5% |
1J/cm2 |
|
PSMH-50C05-10-193 |
193nm |
φ50mm |
5mm |
合成石英 |
T=45±5% |
1J/cm2 |
|
PSMH-50C08-10W-193 |
193nm |
φ50mm |
8mm |
合成石英 |
T=50±3% |
1J/cm2 |
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PSMH-30C03-10-248/266 |
248～266nm |
φ30mm |
3mm |
合成石英 |
T=50±3% |
2J/cm2 |
|
PSMH-30C05-10W-248/266 |
248～266nm |
φ30mm |
5mm |
合成石英 |
T=50±3% |
2J/cm2 |
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PSMH-50C05-10-248/266 |
248～266nm |
φ50mm |
5mm |
合成石英 |
T=50±3% |
2J/cm2 |
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PSMH-50C08-10W-248/266 |
248～266nm |
φ50mm |
8mm |
合成石英 |
T=50±3% |
2J/cm2 |
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PSMH-30C03-10-308/355 |
308～355nm |
φ30mm |
3mm |
合成石英 |
T=平均50±5% |
2J/cm2 |
|
PSMH-30C05-10W-308/355 |
308～355nm |
φ30mm |
5mm |
合成石英 |
T=平均50±5% |
2J/cm2 |
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PSMH-50C05-10-308/355 |
308～355nm |
φ50mm |
5mm |
合成石英 |
T=平均50±5% |
2J/cm2 |
|
PSMH-50C08-10W-308/355 |
308～355nm |
φ50mm |
8mm |
合成石英 |
T=平均50±5% |
2J/cm2 |
分光镜Beamsplitter结构与核心原理：
Beamsplitter看起来是一片薄而平整的玻璃平板，核心设计在于它的两个面功能不同：
前表面（分光面）：镀有专门的介质分光膜。这是实现非偏振分光的关键，能让它对S偏振光和P偏振光的反射与透射比例尽量做到一致。
后表面（增透面）：不镀膜或镀有高质量的增透膜(AR Coating)，目的是最大程度地减少后表面不必要的反射（这种反射可能会产生干扰成像的“鬼影”）。
德国LAYERTEC的分光镜：
Layertec分光镜是全介质镀膜，标准品波长248-1550nm，分光比例多样，如10:90,20:80,30:70,40:60,50:50等，针对不同的偏振提供不一样的分光镜。其中，45°入射标准分光比50:50，可定制10%~90%任意分光比例。
LAYERYTEC的优势在于非偏振分光镜GDD群延迟色散可控制在0~40fs²，带宽覆盖120–7um（标准品中没有的波长需要定制），Ti:Sapphire 飞秒激光首选，不会造成脉冲展宽、波形畸变。
以下表格选了Layertec的部分标准品作为参考，更多选型请联系我们。
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波长范围 |
反射率R |
入射角度 |
偏振 |
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248nm |
=50% |
45° |
unpol. |
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250-280nm |
=50% |
45° |
p-Pol. |
|
266nm |
=42.5% |
45° |
s-Pol. |
|
300-400nm |
=50% |
45° |
p-Pol. |
|
350-450nm 630-650nm |
=50% =50% |
45° 45° |
p-Pol. unpol. |
|
350-470nm |
=50% |
45° |
p-Pol. |
|
355nm |
=99.5% |
10-45° |
s-Pol. |
|
360-430nm |
=50% |
45° |
s-Pol. |
|
370-430nm |
=50% |
45° |
s-Pol. |
|
370-430nm |
=50% |
45° |
p-Pol. |
|
380-420nm |
＜60% |
45° |
p-Pol. |
|
380-420nm |
=70% |
45° |
p-Pol. |
|
380-420nm |
=80% |
45° |
p-Pol. |
|
380-420nm |
=99% |
45° |
p-Pol. |
美国Acton分光镜：
Acton Optics真空紫外/紫外激光分光镜Beamsplitter，适配126–353nm波段，提供10%、30%、50%、70%、90%透射率并配套对应公差，各波长均有45°入射标准镀膜型号。行业选型建议170nm以上波段使用激光级紫外熔融石英基底，同时支持来料镀膜，可在客户自备光学基材上加工分光膜层。
美国Acton分光镜的对比，标准品型号较少，主要是以紫外为主，其他需要定制。
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波长 |
10% +/-2% |
30% +/-5% |
50% +/-5% |
70% +/-5% |
90% +/-5% |
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126nm |
M126-P1045 |
M126-P3045 |
M126-P5045 |
M126-P7045 |
M126-P9045 |
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147nm |
M147-P1045 |
M147-P3045 |
M147-P5045 |
M147-P7045 |
M147-P9045 |
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157nm |
M157-P1045 |
M157-P3045 |
M157-P5045 |
M157-P7045 |
M57-P9045 |
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172nm |
M172-P1045 |
M172-P3045 |
M172-P5045 |
M172-P7045 |
M172-P9045 |
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193nm |
M193-P1045 |
M193-P3045 |
M193-P5045 |
M193-P7045 |
M93-P9045 |
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248nm |
M248-P1045 |
M248-P3045 |
M248-P5045 |
M248-P7045 |
M248-P9045 |
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266nm |
M266-P1045 |
M266-P3045 |
M266-P5045 |
M266-P7045 |
M266-P9045 |
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308nm |
M308-P1045 |
M308-P3045 |
M308-P5045 |
M308-P7045 |
M308-P9045 |
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353nm |
M353-P1045 |
M353-P3045 |
M353-P5045 |
M353-P7045 |
M353-P9045 |
