作者：维尔克斯 时间：2026-9-3 15:17:34
TAMM系列（十字交叉滚柱导轨铝合金平台）和OSCM25-10X（超小型X轴五相步进电机平台）是西格玛光机的基础平台。在此基础上加装高分辨率光栅尺，构成闭环反馈，便可升级为内置光栅尺的超小型X轴自动平台。
该超小型X轴自动滑台基于光栅尺实时读取的实际位置信号进行反馈控制，有效补偿机械传动误差，相比开环驱动平台，显著提升定位精度与运行可靠性。超小型电动位移台的光栅尺输出信号分辨率高达10nm，为实现亚微米级高分辨率定位提供了硬件保障。Sigmakoki的OSCM(GS)系列与TAMM(GS)系列内置光栅尺超小型X轴自动平台提供25mm、40mm、60mm三种台面尺寸，广泛适用于对空间占用和定位精度均有严格要求的小型化精密应用场景。
闭环超小型X轴电动位移台，TAMM(GS)100-50C\TAMM(GS)100-100C规格：
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型号 |
TAMM(GS)100-50C |
TAMM(GS)100-100C |
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机械技术指标 |
行程（mm） |
50 |
100 |
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台面尺寸（mm） |
100×100mm |
100×175mm |
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丝杠、驱动机构 |
滚珠丝杠直径φ8mm导程1mm |
滚珠丝杠直径φ8mm导程1mm |
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导轨形式 |
十字交叉滚柱 |
十字交叉滚柱 |
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|
平台台面材料 |
铝合金 |
铝合金 |
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表面处理 |
黑色氧化 |
黑色氧化 |
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自重（kg） |
2.3 |
3.35 |
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精度技术指标 |
分辨率 |
(整步) |
2μm/脉冲 |
2μm/脉冲 |
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(半步) |
1μm/脉冲 |
1μm/脉冲 |
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|
最大速度 |
10mm/sec |
10mm/sec |
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定位精度 |
3μm |
5μm |
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最小位移量(参考数据) |
30nm |
30nm |
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重复定位精度 |
0.5μm |
0.5μm |
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承载能力（N） |
98(10.0kgf) |
98(10.0kgf) |
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扭矩刚度 |
俯仰（″/N・cm） |
0.05 |
0.03 |
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|
偏摆（″/N・cm） |
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转动（″/N・cm） |
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空行程（μm） |
0.5μm |
0.5μm |
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传动副间隙（μm） |
1 |
1 |
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平行度（μm） |
30 |
30 |
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台面跳动量（μm） |
- |
- |
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|
运动平行度（μm） |
10 |
10 |
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俯仰（″）/偏摆（″） |
20/15 |
25/25 |
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光栅尺分辨率(nm) |
10 |
10 |
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传感器 |
传感器型号 |
GP1S097HCZ(夏普(株)) |
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极限位置传感器 |
有(常闭) |
有(常闭) |
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原点传感器 |
有(常开) |
有(常开) |
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OptoSigma五款内置光栅尺超小型X轴自动平台/超小型X轴自动滑台/闭环超小型X轴电动位移台/规格如下，其中OSCM(GS)25-10X是行程为10mm，台面尺寸25*25mm；TAMM(GS)40-10C行程10mm，台面尺寸40*40mm；TAMM(GS)60-15C，行程为15mm，台面尺寸60*60mm，TAMM(GS)100-50C行程50mm，台面尺寸100*100mm；TAMM(GS)100-100C行程为100mm，台面尺寸100*175mm。
图：内置光栅尺超小型X轴自动平台/超小型X轴自动滑台/闭环超小型X轴电动位移台/OSCM(GS)25-10X，TAMM(GS)40-10C，TAMM(GS)60-15C，TAMM(GS)100-50C，TAMM(GS)100-100C产品图
内置光栅尺超小型X轴自动平台，OSCM(GS)25-10X\TAMM(GS)40-10C\TAMM(GS)60-15C规格：
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型号 |
OSCM(GS)25-10X |
TAMM(GS)40-10C |
TAMM(GS)60-15C |
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机械技术指标 |
行程(mm) |
10 |
10 |
15 |
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台面尺寸(mm) |
25×25mm |
40×40mm |
60×60mm |
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丝杠、驱动机构 |
滚珠丝杠直径φ3mm导程1mm |
滚珠丝杠直径φ4mm导程1mm |
滚珠丝杠直径φ6mm导程1mm |
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导轨形式 |
十字交叉滚柱 |
十字交叉滚柱 |
十字交叉滚柱 |
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平台台面材料 |
钢材 |
铝合金 |
铝合金· |
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表面处理 |
黑铬 |
黑色氧化 |
黑色氧化 |
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|
自重(kg) |
0.4 |
0.55 |
0.7 |
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|
精度技术指标 |
分辨率 |
(整步) |
2μm/脉冲 |
2μm/脉冲 |
2μm/脉冲 |
|
(半步) |
1μm/脉冲 |
1μm/脉冲 |
1μm/脉冲 |
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|
最大速度 |
10mm/sec |
10mm/sec |
10mm/sec |
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|
定位精度 |
6μm |
3μm |
3μm |
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|
最小位移量(参考数据) |
30nm |
30nm |
30nm |
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|
重复定位精度 |
1μm |
0.5μm |
0.5μm |
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承载能力〔N〕 |
19.6(2.0kgf) |
29.4(3.0kgf) |
49(5.0kgf) |
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扭矩刚度 |
俯仰(″/N・cm) |
10 |
1.5 |
0.5 |
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偏摆(″/N・cm) |
10 |
- |
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|
转动(″/N・cm) |
5 |
- |
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|
空行程(μm) |
2μm |
0.5μm |
0.5μm |
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|
传动副间隙(μm) |
1 |
1 |
1 |
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|
平行度(μm) |
30 |
30 |
30 |
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|
台面跳动量(μm) |
- |
- |
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|
运动平行度(μm) |
10 |
10 |
10 |
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俯仰(″)/偏摆(″) |
100/50 |
25/25 |
20/20 |
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光栅尺分辨率(nm) |
10 |
10 |
10 |
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传感器 |
传感器型号 |
GP1S092HCPIF(夏普(株)) |
GP1S097HCZ(夏普(株)) |
GP1S097HCZ(夏普(株)) |
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极限位置传感器 |
有(常闭) |
有(常闭) |
有(常闭) |
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原点传感器 |
无 |
有(常开) |
有(常开) |
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综上所述，西格玛光机OSCM(GS)/TAMM(GS)-X系列内置光栅尺闭环超小型X轴自动平台，以10nm分辨率光栅尺实时位置反馈为核心，有效补偿机械传动误差，定位精度与可靠性远超传统开环超小型X轴自动滑台。25mm、40mm、60mm三种台面尺寸灵活可选，完美兼顾小型化安装空间与高精度位移需求，是光学系统、半导体检测、精密制造等领域的理想定位解决方案。
