作者：维尔克斯 时间：2026-9-15 5:24:27
这款西格玛光机（Sigmakoki/OptoSigma）低床面六轴光纤耦合位移台，由直动式XYZ轴与θx、θy、θz旋转轴组合而成，构成一套六轴自动光纤调芯单元。该电动光纤调芯单元采用左右对称结构设计，提供L型和R型两种选择。单元内各平台主体均采用不锈钢材质，从而实现高刚性结构。同时，通过低床面上方开放结构，确保了光纤调芯中的低光轴对应以及从上方的可操作性，并有助于系统的小型化。除了开环型号LDAU，西格玛光机（Sigmakoki/OptoSigma）还具备在XYZ轴上搭载了丝杠的LDAU(GS) 的高精度闭环控制型好，可实现编码器分辨率10nm的控制，从而实现更精密的调芯。
西格玛光机（Sigmakoki/OptoSigma）LDAU低床面六轴光纤耦合位移台通过采用高刚性、高性能平台，确保了调芯作业中优异的重复性。与以往的DAU-8100A型6轴自动光纤调芯单元相比，主要材质采用不锈钢，从而能够实现更高刚性和更低光轴的构建。夹具采用磁铁固定方式和抵靠机构，发挥出色的位置重复性。该电动光纤调芯单元通过更换具有兼容性的夹具，西格玛光机（Sigmakoki/OptoSigma）可支持根据器件变更进行应用扩展。
6轴自动光纤调芯单元LDAU-8100A系列详细数据：
|
LDAU-8100A-L |
||||||||
|
参数项 |
X |
Y |
Z |
θx |
θy |
θz |
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|
部件型号 |
STMS100-50 |
定制 |
STMS100-50 |
OSMS-60A105R |
OSMS-40A60R |
OSMS-60A60 |
||
|
行程 |
50 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
||
|
分辨率 (全步) |
2 μm |
0.4 μm |
2 μm |
≈0.00189° |
≈0.00217° |
≈0.00293° |
||
|
分辨率 (半步) |
1 μm |
0.2 μm |
1 μm |
≈0.00095° |
≈0.00108° |
≈0.00146° |
||
|
定位精度 |
<6 μm |
<6 μm |
<6 μm |
- |
- |
- |
||
|
重复定位精度 |
<1 μm |
<1 μm |
<1 μm |
<±0.004° |
<±0.004° |
<±0.004° |
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LDAU-8100A-R |
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|
参数项 |
X |
Y |
Z |
θx |
θy |
θz |
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|
部件型号 |
STMS100-100 |
定制 |
STMS100-50 |
OSMS-60A105R |
OSMS-40A60R |
OSMS-60A60 |
||
|
移动量 |
100mm |
5mm |
50mm |
±7° |
±5° |
±14° |
||
|
分辨率 (全步) |
2μm |
0.4μm |
2μm |
≈0.00189° |
≈0.00217° |
≈0.00293° |
||
|
分辨率 (半步) |
1μm |
0.2μm |
1μm |
≈0.00095° |
≈0.00108° |
≈0.00146° |
||
|
定位精度 |
<6μm |
<6μm |
<6μm |
- |
- |
- |
||
|
重复定位精度 |
<1μm |
<1μm |
<1μm |
<±0.004° |
<±0.004° |
<±0.004° |
||
|
LDAU-8100A-L-SC |
||||||||
|
部件型号 |
STMS100-100 |
定制 |
STMS100-50 |
OSMS-60A105R |
OSMS-40A60R |
OSMS-60A60 |
||
|
移动量 |
100mm |
5mm |
50mm |
±7° |
±5° |
±14° |
||
|
分辨率 (全步) |
2μm |
0.4μm |
2μm |
≈0.00189° |
≈0.00217° |
≈0.00293° |
||
|
分辨率 (半步) |
1μm |
0.2μm |
1μm |
≈0.00095° |
≈0.00108° |
≈0.00146° |
||
|
定位精度 |
<6μm |
<6μm |
<6μm |
- |
- |
- |
||
|
重复定位精度 |
<1μm |
<1μm |
<1μm |
<±0.004° |
<±0.004° |
<±0.004° |
||
|
部件型号 |
STMS100-100 |
定制 |
STMS100-50 |
OSMS-60A105R |
OSMS-40A60R |
OSMS-60A60 |
||
|
LDAU-8100A-R-SC |
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|
参数项 |
X |
Y |
Z |
θx |
θy |
θz |
||
|
部件型号 |
STMS100-100R |
定制 |
STMS100-50R |
OSMS-60A105 |
OSMS-40A60 |
OSMS-60A60R |
||
|
移动量 |
100mm |
5mm |
50mm |
±7° |
±5° |
±14° |
||
|
分辨率 (全步) |
2μm |
0.4μm |
2μm |
≈0.00189° |
≈0.00217° |
≈0.00293° |
||
|
分辨率 (半步) |
1μm |
0.2μm |
1μm |
≈0.00095° |
≈0.00108° |
≈0.00146° |
||
|
定位精度 |
<6μm |
<6μm |
<6μm |
- |
- |
- |
||
|
重复定位精度 |
<1μm |
<1μm |
<1μm |
<±0.004° |
<±0.004° |
<±0.004° |
||
6轴电动光纤调芯单元LDAU(GS)-8100A系列详细数据：
|
LDAU(GS)-8100A-L |
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|
部件型号 |
STMS(GS)100-50 |
NFS60-5PSZFW |
STMS(GS)100-50 |
OSMS-60A105R |
OSMS-40A60R |
OSMS-60A60 |
||||||
|
移动量 |
50mm |
5mm |
50mm |
±7° |
±5° |
±14° |
||||||
|
分辨率 (全步) |
2μm |
0.4μm |
2μm |
≈0.00189° |
≈0.00217° |
≈0.00293° |
||||||
|
分辨率 (半步) |
1μm |
0.2μm |
1μm |
≈0.00095° |
≈0.00108° |
≈0.00146° |
||||||
|
定位精度 |
<3μm |
<6μm |
<3μm |
- |
- |
- |
||||||
|
重复定位精度 |
<0.5μm |
<0.2μm |
<0.5μm |
<±0.004° |
<±0.004° |
<±0.004° |
||||||
|
编码器分辨率 |
10nm |
10nm |
10nm |
- |
- |
- |
||||||
|
LDAU(GS)-8100A-R |
||||||||||||
|
部件型号 |
STMS(GS)100-50R |
NFS60-5PSZFW |
STMS(GS)100-50R |
OSMS-60A105 |
OSMS-40A60 |
OSMS-60A60R |
||||||
|
移动量 |
50mm |
5mm |
50mm |
±7° |
±5° |
±14° |
||||||
|
分辨率 (全步) |
2μm |
0.4μm |
2μm |
≈0.00189° |
≈0.00217° |
≈0.00293° |
||||||
|
分辨率 (半步) |
1μm |
0.2μm |
1μm |
≈0.00095° |
≈0.00108° |
≈0.00146° |
||||||
|
定位精度 |
<3μm |
<6μm |
<3μm |
- |
- |
- |
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|
重复定位精度 |
<0.5μm |
<0.2μm |
<0.5μm |
<±0.004° |
<±0.004° |
<±0.004° |
||||||
|
编码器分辨率 |
10nm |
10nm |
10nm |
- |
- |
- |
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LDAU(GS)-8100A-L-SC |
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|
部件型号 |
STMS(GS)100-100 |
NFS60-5PSZFW |
STMS(GS)100-50 |
OSMS-60A105R |
OSMS-40A60R |
OSMS-60A60 |
||||||
|
移动量/行程 |
100mm |
5mm |
50mm |
±7° |
±5° |
±14° |
||||||
|
分辨率 (全步) |
2μm |
0.4μm |
2μm |
≈0.00189° |
≈0.00217° |
≈0.00293° |
||||||
|
分辨率 (半步) |
1μm |
0.2μm |
1μm |
≈0.00095° |
≈0.00108° |
≈0.00146° |
||||||
|
定位精度 |
<3μm |
<6μm |
<3μm |
- |
- |
- |
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|
重复定位精度 |
<0.5μm |
<0.2μm |
<0.5μm |
<±0.004° |
<±0.004° |
<±0.004° |
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|
编码器分辨率 |
10nm |
10nm |
10nm |
- |
- |
- |
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LDAU(GS)-8100A-R-SC |
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|
部件型号 |
STMS(GS)100-100R |
NFS60-5PSZFW |
STMS(GS)100-50R |
OSMS-60A105 |
OSMS-40A60 |
OSMS-60A60R |
||||||
|
移动量/行程 |
100mm |
5mm |
50mm |
±7° |
±5° |
±14° |
||||||
|
分辨率 (全步) |
2μm |
0.4μm |
2μm |
≈0.00189° |
≈0.00217° |
≈0.00293° |
||||||
|
分辨率 (半步) |
1μm |
0.2μm |
1μm |
≈0.00095° |
≈0.00108° |
≈0.00146° |
||||||
|
定位精度 |
<3μm |
<6μm |
<3μm |
- |
- |
- |
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|
重复定位精度 |
<0.5μm |
<0.2μm |
<0.5μm |
<±0.004° |
<±0.004° |
<±0.004° |
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|
编码器分辨率 |
10nm |
10nm |
10nm |
- |
- |
- |
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低床面六轴光纤耦合位移台LDAU-8100A系列专用的夹具
-光纤夹具（FHMF系列）
-旋转光纤夹具（FHRM系列）
-自动旋转光纤夹具（FHRA/FHRAW系列）
-旋转光纤夹具・带吸附功能（FHRMW系列）
-阵列夹具（ARH系列）
-对于X轴移动量可确保100mm的电动光纤调芯单元，备有NFP观察套件（NFP-KIT）。
图1：低床面六轴光纤耦合位移台NFP观察套件配置示例
电动光纤调芯单元LDAU-8100A/LDAU(GS)-8100A系列参考数据：
|
型号 |
轴数 |
移动量 |
|||||
|
X |
Y |
Z |
θx |
θy |
θz |
||
|
LDAU-8100A-L |
6 |
50 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
|
LDAU-8100A-R |
6 |
50 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
|
LDAU-8100A-0 |
12 |
50 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
|
LDAU-8100A-L-SC |
6 |
100 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
|
LDAU-8100A-R-SC |
6 |
100 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
|
型号 |
轴数 |
移动量 |
|||||
|
X |
Y |
Z |
θx |
θy |
θz |
||
|
LDAU-8100A-L |
6 |
50 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
|
LDAU-8100A-R |
6 |
50 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
|
LDAU-8100A-0 |
12 |
50 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
|
LDAU-8100A-L-SC |
6 |
100 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
|
LDAU-8100A-R-SC |
6 |
100 mm |
5 mm |
50 mm |
±7° |
±5° |
±14° |
