作者：维尔克斯 时间：2024-9-18 10:59:38
PHASICS波前测量仪测试光路有多种方式：单次透射、单次反射、两次透射、倾斜入射，仪器的传感器自带消色差的功能，同时多种波段可选。PHASICS Kaleo Kit波前测量仪的应用多为测量，测量各大类光学元件，比如有望远镜、凹面镜、大口径平面透射元件、大口径透镜/物镜、离轴透镜等。Kaleo套件搭建好波前测量仪的测量光路后无需对特定波长单独校准，在波前传感器套件测量波长范围内均可直接使用。
面对多种光学元件的波前传感器测样，SID4波前传感器的测试光路有以下几种：
望远镜评估与校准的波前传感器测试光路：
Kaleo Kit光路结构如下，光源2发出光后，然后经过6（待测望远镜），并经过5反射后返回，沿原路再经过2进入1。
Kaleo套件测量步骤为：
1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准
2. 添加待测望远镜，测量透过待测面的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。
凹面镜测量的波前传感器测试光路：
Kaleo Kit光路结构如下，光源2发出光后，然后经过4会聚，并经过6反射后返回，沿原路再经2进入1。
Kaleo套件测量步骤为：
1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准
2. 添加凹面镜，测量经过待测面反射的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算此次反射的波前质量。
大口径平面透射元件测量的波前传感器测试光路：
Kaleo Kit光路结构如下，光源2发出光后，由3扩束（若需要），然后经过6（待测样品），并经过5反射后返回，沿原路再经2投射后进入1。
Kaleo套件测量步骤为：
1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准
2. 添加待测物，测量两次透过待测面的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。
大口径透镜/物镜测量的波前传感器测试光路：
Kaleo Kit光路结构如下，光源2发出光后，由3扩束（若需要），然后经过6（待测样品），并经过5反射后返回，沿原路再经2投射后进入PHASICS SID4系列波前测量仪。
Kaleo套件测量步骤为：
1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准
2. 添加待测物，测量两次透过待测面的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。
离轴透镜测量的波前传感器测试光路：
Kaleo Kit光路如下，光源2发出光后，再由3扩束（若需要），然后经过6（待测样品），并经过5反射后返回，沿原路再经2投射后进入1。
Kaleo套件测量步骤为：
1. 设备先在不放置待测物的情况下经由标准参考镜校准
2. 添加待测物，测量两次透过待测面的波前，并与之前的参考波前进行对比。软件会自动换算单次透过的波前质量。
其中PHASICS SID4系列波前测量仪具体参数如下：
|
SID4 型号 |
测量波段 |
靶面尺寸（mm²） |
空间分辨率 |
相位分辨率 |
相位精度 |
相位分辨率 |
真空兼容性 |
|
SID4 UV |
190-400nm |
7.8 × 7.8 |
26 μm |
300 × 300 |
20 nm RMS |
2 nm RMS |
- |
|
SID4 UV-HR |
190-400nm |
13.3 × 13.3 |
26 μm |
512 × 512 |
40 nm RMS |
2 nm RMS |
- |
|
SID4 HR V |
400-1100nm |
9.98 × 8.64 |
24 μm |
416 × 360 |
20 nm RMS |
2 nm RMS |
10mbar |
|
SID4 |
400-1100nm |
5.02 × 3.75 |
27.6 μm |
182 × 136 |
10 nm RMS |
<2 nm RMS |
- |
|
SID4 HR |
400-1100nm |
9.98 × 8.64 |
24 μm |
416 × 360 |
20 nm RMS |
<2 nm RMS |
- |
|
SID4 UHR |
400-1100nm |
15.29 × 15.29 |
27.6 μm |
554 × 554 |
- |
5 nm RMS |
- |
|
SWIR |
900-1700nm |
9.6 × 7.68 |
120 μm |
80 × 64 |
15 nm RMS |
<2 nm RMS |
- |
|
SWIR HR |
900-1700nm |
9.6 × 7.68 |
60 μm |
160 × 128 |
15 nm RMS |
<2 nm RMS |
- |
|
eSWIR |
1.2-2.2μm |
9.6 × 7.6 |
120 μm |
80 × 64 |
<40 nm RMS* |
<6 nm RMS* |
- |
|
eSWIR HR |
1.2-2.2μm |
9.5 × 7.6 |
120 μm |
159 × 127 |
<40 nm RMS* |
<6 nm RMS* |
- |
|
DWIR |
3-5μm和8-14μm |
10.08 × 8.16 |
68 μm |
160 × 120 |
75 nm RMS |
25 nm RMS |
- |
*对于相干源
考虑到更特殊的波前传感器测样需求，PHASICS Kaleo Kit还能提供众多配件选择：
|
反射光源模块 |
扩束器 |
光圈F# |
平面参考镜 |
|
|
可见光VIS |
短波红外SWIR |
|||
|
365 / 405 / |
Ø15mm |
0.4 |
2.5 |
2英寸 |
|
Ø30mm |
0.7 |
5 |
3英寸 |
|
|
Ø60mm |
1.2 |
10 |
||
|
Ø100mm |
2.1 |
|||
|
Ø130mm |
3.3 |
|||
|
5 |
||||
|
9 |
||||
