作者：维尔克斯 时间：2025-1-18 11:03:49
西格玛光机（OptoSigma/Sigmakoki）的旋转平台在精度测量方面的技术规格涉及多个维度，包括位置精度（涉及定位精度、重复定位精度、空行程、传动间隙等）、动作精度（例如台面振动、同心度）以及姿态精度（扭矩刚度、平行度），同时还涵盖了最小位移量（MIM）。具体测量数据如OSMS-60YAW的定位偏差等均已提供（最大空行程为0.0163°，重复定位精度分别为向上0.0022°和向下0.0009°，定位精度为0.0330°），而HST-120YAW的最小位移量参考数据也予以公布。这些详细信息对于光学设备、精密仪器领域的技术专家、研究人员以及追求高精度产品的用户来说，是深入理解产品性能特征与技术参数的重要依据，并为产品的应用、研发和选购提供了关键的参考信息。
电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-（参考值）测量结果（OSMS-60YAW）
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0 |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
10 |
11 |
12 |
||||||||||||||
|
目标位置（°） |
0 |
29 |
58 |
87 |
116 |
145 |
174 |
203 |
232 |
261 |
290 |
319 |
348 |
||||||||||||||
|
定位方向 |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
↑ |
↓ |
|
|
位置偏差（°） 测量值·目标位置 |
第一次测量 |
0 |
1.5 |
-0.9 |
0.3 |
-1 |
-0.1 |
-1.3 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
0 |
1.2 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.3 |
-0.1 |
1 |
|
第二次测量 |
0.2 |
1.5 |
-0.7 |
0.3 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.2 |
-0.4 |
-1.2. |
0.1 |
-0.6 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.3 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
第三次测量 |
0.3 |
1.5 |
-0.7 |
0.3 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.2 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
第四次测量 |
0.3 |
1.6 |
-0.7 |
0.3 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.3 |
-0.4 |
-1.2 |
0 |
-0.6 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
-0.1 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
第五次测量 |
0.2 |
1.6 |
-0.7 |
0.4 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.3 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.4 |
0.3 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
-0.1 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
平均位置偏差X |
0.2 |
1.5 |
-0.7 |
0.3 |
-1 |
-0.1 |
-1.2 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
标准偏差X |
0.1 |
0 |
-0.1 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0. |
0 |
|
|
X+S |
0.3 |
1.6 |
-0.7 |
0.4 |
-0.9 |
-0.1 |
-1.2 |
-0.4 |
-1.2 |
0.1 |
-06. |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
0 |
1.3 |
0.4 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
0 |
1.4 |
-0.1 |
1.1 |
|
|
X-S |
0.1 |
1.5 |
-0.8 |
0.3 |
-1 |
-0.1 |
-1.3 |
-0.4 |
-1.2 |
0 |
-0.7 |
0.9 |
-0.7 |
0.9 |
-0.1 |
1.3 |
0.3 |
1.6 |
0.2 |
1.5 |
0.7 |
2 |
-0.1 |
1.3 |
-0.1 |
1 |
|
|
空行程B=X↑-X↓ |
1.35 |
1.07 |
0.84 |
0.88 |
1.25 |
1.54 |
1.63 |
1.36 |
1.22 |
1.27 |
1.30 |
1.39 |
1.20 |
||||||||||||||
|
最大(位置偏差)值S↑+S↓+|B| |
1.38 |
1.16 |
0.91 |
0.91 |
1.29 |
1.58 |
1.68 |
1.42 |
1.27 |
1.31 |
1.33 |
1.44 |
1.25 |
||||||||||||||
注：以上表格除目标位置数值外，最终结果均需*10-2。
电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-结果
|
最大空行程 |
重复定位精度（单位定位精度） |
定位精度 |
台面跳动 |
平行度 |
同心度 |
|
|
↑ |
↓ |
|||||
|
0.0163° |
0.0022° |
0.0009° |
0.0330° |
12μm |
27μm |
8μm |
自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量-姿态精度
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义单位扭矩负载时的平台的角度位移量为扭矩刚度；定义平台台面在固定不动时，相对于安装底面的平行程度为平行度。
自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量（a）扭矩刚度（b）平行度
自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量-位置精度
从某一基准点开始，在全行程范围内，按一定间隔，单方向依次定位。求出不同定位点的实际测量值和目标值的差，定义其最大值和最小值的差为定位精度，如图1（a）。在平台的任意位置，从相同方向进行多次定位，求出停止位置的偏差值的最大值。定义其数值中的最大值为重复定位精度，如图1（b）。
图1：自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量（a）定位精度（b）重复定位精度
在平台的任意位置（两端或中心等），从正方向及负方向进行多次定位，求出各点停止位置的偏差值的平均值。定义其中的最大值为空行程，如图2（a）。在平台的任意位置，向正方向或负方向加载一定推力，西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义其2个方向的偏移量的总和为传动副间隙，如图2（b）。
自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量（a）空行程（b）传动副间隙
电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-动作精度
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义转动平台转动1周时，其台面与安装底面在高度方向的最大偏移量为台面跳动；定义转动平台转动1周时，实际的转动轴与理想的转动轴的偏差值为同心度。
电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量（a）台面跳动（b）同心度
自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量-最小位移量（MIM）
西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki定义在平台的3个特定位置（两端和正中间）进行定位时，可实现的最小移动分辨率为最小位移量。
验证方法：分别在各个位置上，指令平台沿正方向和负方向分别移动10个点并测量相应的移动量。
测量时，分别使用了精密小位移传感器和自动准直仪。
自动转动平台精度测量/自动旋转台精度测量/电动旋转滑台精度测量-最小位移量（MIM）
电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-（参考数据）最小位移量（MIM）HST-120YAW
正方向与负方向移动最小位移量（MIM）HST-120YAW
