自动转动平台/自动旋转台/电动旋转滑台定位精度、传动副间隙、空行程、平行度测量，参考自西格玛光机

作者：维尔克斯时间：2025-1-18 11:35:45

西格玛光机/OptoSigma/Sigmakoki的旋转平台在精度测量方面的技术规格包括多个关键指标，涉及位置精度（包括定位精度、重复定位精度、空行程和传动副间隙等）、动作精度（例如台面的振动和同心度）、姿态精度（如扭矩刚度和平行度）以及最小可检测位移量（MIM）。具体来说，OSMS-60YAW型号的位置偏差测量结果如下：最大空行程为0.0163°，重复定位精度分别为向上0.0022°和向下0.0009°，定位精度达到0.0330°。此外，还提供了HST-120YAW的最小位移量参考数据。这些数据对于光学设备和精密仪器领域的技术人员、研究人员以及那些对产品精度有严格要求的用户来说，是理解产品性能和技术规格的关键，并为产品的使用、开发及选择提供了重要的参考信息。

电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-（参考值）测量结果（OSMS-60YAW）

		0		1		2		3		4		5		6		7		8		9		10		11		12
目标位置（°）		0		29		58		87		116		145		174		203		232		261		290		319		348
定位方向		↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓	↑	↓
位置偏差（°）测量值·目标位置	第一次测量	0	1.5	-0.9	0.3	-1	-0.1	-1.3	-0.4	-1.2	0.1	-0.7	0.9	-0.7	0.9	0	1.2	0.4	1.6	0.2	1.5	0.7	2	0	1.3	-0.1	1
	第二次测量	0.2	1.5	-0.7	0.3	-0.9	-0.1	-1.2	-0.4	-1.2.	0.1	-0.6	0.9	-0.7	0.9	-0.1	1.3	0.4	1.6	0.2	1.5	0.7	2	0	1.3	-0.1	1.1
	第三次测量	0.3	1.5	-0.7	0.3	-0.9	-0.1	-1.2	-0.4	-1.2	0.1	-0.7	0.9	-0.7	0.9	-0.1	1.3	0.4	1.6	0.2	1.5	0.7	2	0	1.4	-0.1	1.1
	第四次测量	0.3	1.6	-0.7	0.3	-0.9	-0.1	-1.3	-0.4	-1.2	0	-0.6	0.9	-0.7	0.9	-0.1	1.3	0.4	1.6	0.2	1.5	0.7	2	-0.1	1.4	-0.1	1.1
	第五次测量	0.2	1.6	-0.7	0.4	-0.9	-0.1	-1.3	-0.4	-1.2	0.1	-0.7	0.9	-0.7	0.9	-0.1	1.4	0.3	1.6	0.2	1.5	0.7	2	-0.1	1.4	-0.1	1.1
平均位置偏差X		0.2	1.5	-0.7	0.3	-1	-0.1	-1.2	-0.4	-1.2	0.1	-0.7	0.9	-0.7	0.9	-0.1	1.3	0.4	1.6	0.2	1.5	0.7	2	0	1.4	-0.1	1.1
标准偏差X		0.1	0	-0.1	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0	0.	0
X+S		0.3	1.6	-0.7	0.4	-0.9	-0.1	-1.2	-0.4	-1.2	0.1	-06.	0.9	-0.7	0.9	0	1.3	0.4	1.6	0.2	1.5	0.7	2	0	1.4	-0.1	1.1
X-S		0.1	1.5	-0.8	0.3	-1	-0.1	-1.3	-0.4	-1.2	0	-0.7	0.9	-0.7	0.9	-0.1	1.3	0.3	1.6	0.2	1.5	0.7	2	-0.1	1.3	-0.1	1
空行程B=X↑-X↓		1.35		1.07		0.84		0.88		1.25		1.54		1.63		1.36		1.22		1.27		1.30		1.39		1.20
最大(位置偏差)值S↑+S↓+\|B\|		1.38		1.16		0.91		0.91		1.29		1.58		1.68		1.42		1.27		1.31		1.33		1.44		1.25

注：以上表格除目标位置数值外，最终结果均需*10^-2。

电动转台精度测量/电动旋转位移台精度测量-结果

最大空行程	重复定位精度（单位定位精度）		定位精度	台面跳动	平行度	同心度
	↑	↓
0.0163°	0.0022°	0.0009°	0.0330°	12μm	27μm	8μm