作者：维尔克斯 时间：2025-2-18 9:47:25
OptoSigma（西格玛光机/Sigmakoki）的精密平台采用了独特的设计，包括无空行程的弹性变形金属结构和基于压电陶瓷的变形放大机制。这种设计特别有利于实现高精度的闭环控制，能够达到10纳米的分辨率水平。因此，这些平台非常适合需要高速度和精确定位的应用场景，是自动控制平台上的一项杰出创新。简而言之，通过其专有的技术，OptoSigma提供了既快速又极其精准的定位解决方案，适用于各种高要求的精密工程任务。
纳米定位平台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列的构造
图1：SFS-H内部构造图
SFS系列是小位移传感器，不需要高精度的模拟信号放大器或AD变换回路，就可以实现闭环控制。并且，压电陶瓷驱动机构和变形放大机构实现了较大的行程范围。
图2：变形放大方法示意图
纳米台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米定位平台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列的使用环境
请在制定工作稳定范围内使用精密位移台。
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使用环境 |
推荐使用环境 |
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温度 |
10℃~30℃ |
温度 |
20℃±1℃ |
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湿度 |
20%~60%（非结露） |
湿度 |
40%以下 |
SFS/SFS-H系列位移台上使用的压电陶瓷元件，在高湿度的环境中使用时，其耐久性可能会恶化，请注意。
输入模拟信号时的响应特性例：SFS-H（平移台）*使用FINE-01γ控制时
高速收敛数据输入信号：深蓝色／位移量：淡蓝色，图3（1），SFS-H40X阶梯波（步进50nm的20个台阶）；图3（2），SFS-H40X锯齿波输入波形（等速运动35µm1Hz）；图3（3），SFS-H40X矩形波（30Hz）；图3（4），SFS-H40X正弦波（30Hz）。
图3：输入模拟信号时的相应特性示意图
压电陶瓷平台/纳米定位平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS系列配置图
SFS系列配置图
精度测定案例：纳米定位平台/压电陶瓷平台/纳米压电平台/纳米台/压电陶瓷纳米定位平台SFS-H平台
0↔75μm往复频率（16Hz），闭环控制时，使用SFS-H60X，载荷150g。
0→1μm步进收敛数据（15msec）闭环控制时，使用SFS-H60X，载荷150g。
高速收敛数据
开环控制时的移动量显示压电执行机构的磁滞曲线。
位移量
0↔80μm直线性误差在0.3%以内，闭环控制时，使用SFS-H60X，载荷150g。
直线性
闭环控制状态下微小进给时的特性。没有了开环控制时的磁滞特性
微小进给特性
直线度：前进方向的直线度。
直线度
俯仰：相对前进方向而言的俯仰误差
俯仰
左右摆动特性：相对前进方向左右摆动角。
左右摆动特性
