Boston Micromachines公司开创了MEMS（微机电系统）可变形镜面技术，MEMS可变形反射镜用于先进的光学控制。这些微型精密变形镜使世界顶级研究人员能够在天文学、显微镜技术、激光控制和视网膜成像方面取得突破。在MEMS可变形反射镜开发和扩展到全高分辨率成像系统方面，Boston Micromachines公司致力于推动光子学应用领域的研发。
所属品牌： 美国Boston Micromachines
负责人：孙工
联系电话：13692216712 电子邮箱：zmsun@welloptics.cn
MEMS（微机电系统）可变形镜面技术MEMS可变形反射镜
维尔克斯光电为用户提供来自Boston Micromachines Corporation(BMC)的微机电可变形反射镜和微机电分段变形镜，类型主要分为低致动器数DM、中执行器计数DM以及高执行器数MEMS可变形反射镜。
Multi-DM可变形镜能够实现高达 5.5 μm 的行程、2 kHz 的帧速率、亚纳米级步长且无滞后。以 X-Driver 的形式为 Multi-DM 系统提供高速电子升级。
中执行器数DM系统是高性能波前校正器，适用于天文学、激光通信和远程成像等要求严苛的应用，提供三种类型：Kilo-DM、492-DM 和 648-DM。
Kilo-DM可变形镜是用于精确、高速、高分辨率波前控制的使能组件。多达 1020 个执行器控制在1纳米以下的精度且无滞后，该系统非常适合要求严苛的应用。
作为流行的Kilo-DM可变形镜的替代品，492-DM和 648-DM可以以更低的成本使用并产生卓越的效果。492-DM和648-DM系统分别将492和648执行器的精度控制在1 nm以下且无滞后，是天文学和下一代成像应用的理想选择。
Boston Micromachines的MEMS可变形反射镜其中低制动器数MEMS反射镜是用于高级波前控制的经济且通用的像差调制解决方案，具有高达140个精确控制的元件和低致动器间耦合，Multi-DM系统是包括显微镜、天文学、视网膜成像和激光束整形应用在内的广泛应用的理想选择。这种DM可用于自适应光学或空间光调制器应用的连续和分段表面。
Boston Micromachines Corporation(BMC)是高执行器数MEMS变形镜技术的行业领导者，这些反射镜部署在世界各地著名的天文设施中，用以提高波前校正能力，其中4K-DM 安装在双子座行星成像仪器上2K-DM则包含在多个空间望远镜概念的设计中。
此外，2K-DM 被安装为斯巴鲁日冕仪极端自适应光学（SCExAO）仪器和麦哲伦望远镜 (MagAO-X) 的实验性日冕极端自适应光学系统中的启用组件。多年来，两者都一直在空中观测中持续运行。
MEMS可变形反射镜反射镜特点：
-大阵列产生高分辨率波前校正。
-先进的微结构允许对高空间频率表面的相邻执行器之间的影响最小
-优化设计可实现高速应用的快速波前整形
微机电分段变形镜，MEMS可变形反射镜规格：
|
DM型号 |
执行器数量 |
跨孔径执行器数量 |
物理行程（μm） |
波前行程（μm） |
孔径（mm） |
螺距（μm） |
机械响应 |
更新率：标准（kHz） |
更新率：高速（kHz） |
近似执行器耦合 |
|
492-S-1.0-SLM |
492 |
24 |
1.0 |
2.0 |
9.60 |
400 |
＜80 |
60 |
n/a |
0% |
|
492-3.5-SLM |
492 |
24 |
3.5 |
7.0 |
9.60 |
400 |
＜80 |
45 |
n/a |
0% |
|
Kilo-CS-1.0-SLM |
952 |
34 |
1.0 |
2.0 |
13.60 |
400 |
＜80 |
60 |
n/a |
0% |
|
Kilo-C-3.5-SLM |
952 |
34 |
3.5 |
7.0 |
13.60 |
400 |
＜80 |
45 |
n/a |
0% |
|
2K-1.5L-SLM |
2040 |
50 |
1.5 |
3.0 |
20.00 |
400 |
＜20 |
30 |
n/a |
0% |
|
2K-3.5-SLM |
2040 |
50 |
3.5 |
7.0 |
20.00 |
400 |
＜80 |
30 |
n/a |
0% |
请注意：填充系数>98%(SLM)，表面形状：<30 nm
*自定义执行器可根据要求提供
微机电可变形反射镜, MEMS变形镜规格：
|
DM型号 |
执行器数量 |
跨孔径执行器数量 |
物理行程(μm） |
波前行程(μm) |
孔径（mm） |
螺距(μm) |
机械响应 |
更新率：标准（kHz） |
更新率：高速（kHz） |
近似执行器耦合 |
|
Multi-C-1.5L-DM |
137 |
13 |
1.5 |
3.0 |
4.80 |
400 |
＜75 |
2 |
100 |
15% |
|
Multi-3.5-DM |
140 |
12 |
3.5 |
7.0 |
4.40 |
400 |
＜75 |
2 |
100 |
13% |
|
Multi-3.5L-DM |
140 |
12 |
3.5 |
7.0 |
4.95 |
450 |
＜75 |
2 |
100 |
13% |
|
Multi-5.5-DM |
140 |
12 |
5.5 |
11.0 |
4.95 |
450 |
＜100 |
2 |
100 |
22% |
|
492-S-0.6-DM |
492 |
24 |
0.6 |
1.2 |
6.90 |
300 |
＜20 |
60 |
n/a |
15% |
|
492-S-1.0-DM |
492 |
24 |
1.0 |
2.0 |
9.20 |
400 |
＜75 |
60 |
n/a |
13% |
|
492-1.5-DM |
492 |
24 |
1.5 |
3.0 |
6.90 |
300 |
＜20 |
45 |
60 |
15% |
|
492-3.5-DM |
492 |
24 |
3.5 |
7.0 |
9.20 |
400 |
＜75 |
45 |
60 |
13% |
|
492-5.5-DM |
492 |
24 |
5.5 |
11.0 |
10.35 |
450 |
＜100 |
45 |
60 |
22% |
|
648-5.5-DM |
648 |
28 |
5.5 |
11.0 |
12.15 |
450 |
＜100 |
45 |
60 |
22% |
|
Kilo-CS-0.6-DM |
952 |
34 |
0.6 |
1.2 |
9.90 |
300 |
＜20 |
60 |
n/a |
15% |
|
Kilo-CS-1.0-DM |
952 |
34 |
1.0 |
2.0 |
13.20 |
400 |
＜75 |
60 |
n/a |
13% |
|
Kilo-C-1.5-DM |
952 |
34 |
1.5 |
3.0 |
9.90 |
300 |
＜20 |
45 |
60 |
15% |
|
Kilo-C-3.5-DM |
952 |
34 |
3.5 |
7.0 |
13.20 |
400 |
＜75 |
45 |
60 |
13% |
|
2K-1.5L-DM |
2040 |
50 |
1.5 |
3.0 |
19.60 |
400 |
＜40 |
30 |
n/a |
15% |
|
2K-3.5-DM |
2040 |
50 |
3.5 |
7.0 |
19.60 |
400 |
＜75 |
30 |
n/a |
13% |
|
3K-1.5-DM |
3063 |
62 |
1.5 |
3.0 |
18.30 |
300 |
＜20 |
16 |
n/a |
15% |
|
4K-3.5-DM |
4092 |
64 |
3.5 |
7.0 |
25.20 |
400 |
＜75 |
16 |
n/a |
13% |
请注意：填充系数>99%(DM)，表面形状：<30 nm
*自定义执行器可根据要求提供
MEMS可变形反射镜可用的选项：
|
变形镜 |
镀层 |
窗口AR镀层（nm） |
驱动* |
|
Multi |
铝金防护银 |
400-1100 550-2500 650-1050 1050-1700 1550 |
Multi-Driver X-Driver |
|
492 648 ** Kilo |
400-1100 550-2500 1550 |
S-Driver ** Kilo-Driver Kilo-Low-Latency-Driver |
|
|
2K 3K 4K |
400-1100 550-2500 1550 |
+K Driver |
* 亚纳米级平均步长
** S-Driver 不适用于 648 DM
