Innofocas微区薄膜测量仪使用亚毫米级的小尺寸光斑进行测试，其膜厚测量光斑直径可在5μm至100μm范围内选择。仪器的光谱覆盖范围横跨可见光与近红外区域（350–1000nm），并延伸至短波红外（1000–1700nm）。 该设备的光谱分辨率最高可达到0.25nm，反射率测量精度优于0.05%，能够满足高精度微区薄膜检测的需求。
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微区域膜厚仪，0.2nm精度微点膜厚仪，应用于薄膜检测和光学参数测量
Innofocas 微区薄膜测量仪使用亚毫米级的小尺寸光斑进行测试，其膜厚测量光斑直径可在5μm至100μm范围内选择。仪器的光谱覆盖范围横跨可见光与近红外区域（350–1000nm），并延伸至短波红外（1000–1700nm）。 该设备的光谱分辨率最高可达到0.25nm，反射率测量精度优于0.05%，能够满足高精度微区薄膜检测的需求。微区薄膜测量仪对于测量光斑的直径，可以提供5um，10um，50um，80um和100um进行选择。膜厚测量仪主要测量的是材料表面的反射率，镀膜的膜层厚度，以及被测材料的光学常数。
微点膜厚仪主要参数：
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微点膜厚仪Micro-spot Optical Thin Film Analyzer |
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测量项目 |
反射率，膜层厚度及光学常数（n&k） |
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光斑尺寸 |
5/10/50/100um |
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膜厚范围 |
15nm~100um |
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测量精度 |
0.2nm |
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测量时间 |
单点测量时间小于0.1s |
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光谱范围 |
350~1000nm/1000nm~1700nm |
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样品尺寸 |
1mm~100mm |
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仪器重量 |
2.8kg |
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仪器尺寸 |
290×230×250mm |
Innofocas单点膜厚仪对于目前很火的运用于锂电池中的薄膜测量，微点膜厚仪同样可以通过光学方式进行无接触测量。在保证了测试的安全性的同时加快了检测速度和检测参数的有效性。
Innofocas单点膜厚仪对于膜厚的测量精度可以达到0.2nm，5um微区膜厚仪对于光学镜片的膜厚检测，医疗器械表面涂层，以及半导体制造中各个方面都能有较好的使用效果。微点膜厚仪对单点区域的膜厚或者光学常数的测量时间非常快，5um微区膜厚仪整体的耗时小于0.1s，微区域膜厚仪可以测量的膜厚区域为15nm~100um。微区域膜厚仪自带的平台和位移微分头可以容纳100mm大小的样品。
Innofocas微区薄膜测量仪主要特点：
-膜厚测量仪可选350nm~1000nm和1000~1700nm测试波段。
-快速测量（小于0.1s）
-膜厚测量范围广（15nm~100um）
单点膜厚仪主要应用：
-科研材料测量
-非接触式薄膜测试
-工业生产质量检测
-特殊的科研检测应用
