SCAN plus 300 X 300 显微镜电动载物台/位移台，带集成测量系统，行程范围：300 x 300 毫米，主轴间距：4 毫米
所属品牌： Marzhauser Wetzlar
负责人：孙泽明
联系电话：13692216712 电子邮箱：zmsun@welloptics.cn
晶圆平台SCAN plus 300 X 300 显微镜电动载物台/位移台规格描述：
|
描述 |
SCANplus 300 × 300 |
|
订购型号 |
00-24-126-0000 |
|
行程 |
300 × 300 mm (12“ × 12“) |
|
行程速度 |
max. 240 mm/s (with 4 mm ball screw pitch) |
|
双向重复性 |
< 1 μm |
|
准确性 |
± 1 μm |
|
分辨率 |
0.05 μm（步进） |
|
正交度 |
< 10 arcsec |
|
电机 |
2相步进电机 |
|
重量 |
~ 19.5 kg（不含样品架） |
晶圆平台适用显微镜型号：
|
Leica |
Nikon |
Olympus |
Zeiss |
|
|
|
MX50L |
|
|
|
|
MX51L |
|
|
|
|
MX61L |
|
|
|
|
MX80 |
|
