衍射光栅的种类很多，分为振幅光栅和相位光栅，还可分为反射光栅和透射光栅，平面光栅和凹面光栅等。此文讲述的光学光栅是反射/透射型，锯齿型/台阶型相位光栅，具有精度高，应用广以及可定制等特点。
所属品牌： 维尔克斯光电
负责人：叶高兴
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石英材质衍射相位光栅，线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm
光学相位光栅通过光刻技术制造，有很多种分类，应用也相当广泛，主要应用的还是用于衍射分光和脉冲压缩。维尔克斯光电生产的本款光栅为相位光栅，即利用光的干涉来分光的衍射光栅，分为反射型或投射性，入射面为平面，线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm
位相光栅规格型号表：（光栅的销售方式一般为定制，起订量10片，更多详情，请联系我们。）
|
产品型号 |
周期 |
线宽 |
线对数 |
光栅方向 |
外形尺寸 |
厚度 |
材质 |
设计中心波长 |
位相深度 |
|
MGGP-001 |
50.0μm |
25.0μm |
20 |
平行于边 |
10×10 |
1 |
石英 |
0.65μm |
0.712μm |
|
MGGP-002 |
50.0μm |
25.0μm |
20 |
平行于边 |
20×20 |
1 |
石英 |
0.65μm |
0.712μm |
|
MGGP-003 |
50.0μm |
25.0μm |
20 |
平行于边 |
10×10 |
1 |
石英 |
0.808μm |
0.891μm |
|
MGGP-004 |
50.0μm |
25.0μm |
20 |
平行于边 |
20×20 |
1 |
石英 |
0.808μm |
0.891μm |
|
MGGP-005 |
25.0μm |
12.5μm |
40 |
平行于边 |
10×10 |
1 |
石英 |
0.98μm |
1.087μm |
|
MGGP-006 |
10.0μm |
5.0μm |
100 |
平行于边 |
10×10 |
1 |
石英 |
0.98μm |
1.087μm |
|
MGGP-007 |
100.0μm |
50.0μm |
10 |
平行于边 |
10×10 |
1 |
石英 |
0.65μm |
0.712μm |
|
MGGP-008 |
100.0μm |
50.0μm |
10 |
平行于边 |
20×20 |
1 |
石英 |
0.65μm |
0.712μm |
衍射光栅的种类很多，分为振幅光栅和相位光栅，还可分为反射光栅和透射光栅，平面光栅和凹面光栅等。此文讲述的光学光栅是反射/透射型，锯齿型/台阶型相位光栅，具有精度高，应用广以及可定制等特点。
位相光栅，英文名Phase Grating，是一种利用光的干涉来分光的光学元件，当光波通过光栅后，振幅并没有变化，但是相位有周期性的变化，从而改变光栅的衍射。其中，透射光栅是相位光栅中的一个分类，通常用于激光束分离和可见光多波长激光光谱分离，而且透射光束会衍射成多个不同级次。衍射相位光栅主要是分光，是通过透射或反射光的相位差实现调制和分离的，线宽精度和深度精度分别是±0.2um和≤20nm，通过光刻技术制作，主要应用于衍射分光和脉冲压缩等应用。维尔克斯光电的高精度光栅是一个非常不错的选择，如图1，有锯齿型和台阶型的光栅供用户选择，而且还可根据用户的应用需求定制合适的精密光栅。
图1：锯齿型和台阶型平面图示
衍射相位光栅的特点：
- 高精度
- 应用范围广
- 具有反射/透射型光栅
- 利用光刻技术制作
- 线宽精度±0.2um，深度精度≤20nm
衍射相位光栅的应用：
- 机器视觉
- 摩尔条纹
- 衍射分光
- 激光检测
- 脉冲压缩
- 光通信、光存储、光学成像等
图2：相位光栅示意图
